• Title/Summary/Keyword: 나노측정학

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Nanometrological Application of X-ray Interferometry (엑스선 간섭계를 이용한 초정밀측정)

  • 엄천일
    • Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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    • v.17 no.6
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    • pp.40-45
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    • 2000
  • 교정은 모든 측정분야에서 어렵고 까다로운 주제인데, 특히 정전센서, 레이저간섭계, AFM, STM 등을 포함하는 나노메트롤로지(nanometrology : 나노측정) 분야에서는 그러하다. 나노측정에서는 전체 측정범위가 센서들의 한계분해능 값과 비슷한데, 이러한 측정에서 높은 소급성을 유지하기는 매우 어렵기 때문이다.(중략)

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나노트라이볼로지를 이용한 박막 및 표면의 물성 분석

  • Lee, Chang-U
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2010.08a
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    • pp.4-4
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    • 2010
  • 박막의 물성을 분석하는 방법에는 광학을 이용한 분광학 분석법과 나노크기의 tip을 이용한 나노트라이볼로지 분석법이 대표적이라 할 수 있다. 분광학 분석법에는 주로 X-ray 회절분석, Raman 분광기, IR 분광기 등등이 가장 대표적으로 사용되어지는 분석 장치들이다. 이러한 분광학 분석은 광학을 시료에 조사하여 이로부터 획득되는 강도(intensity)를 분석하는 방법으로 간접적인 분석이라 할 수 있다. 이에 반하여 나노트라이볼로지는 나노크기의 tip을 이용하여 시료 표면을 직접적인 방법으로 분석하여 시료의 형상, 탄성, 강도, 마찰력 등의 정보를 제공하며, tip에의 전기적 신호를 부과하여 시료 표면의 국부적인 potential, electric current를 측정하게 된다. 이에 해당되는 대표적인 분석 장치로는 nano-indenter system과 SPM (Scanning Probe Microscopy)이 있다. 따라서, 이 논문에서는 나노트라이볼로지의 대표적인 장치인 nano-indenter system과 SPM에 대한 간단한 원리를 소개하고 다양한 분야에 대한 실제적인 분석을 사례를 통하여 나노트라이볼로지의 가치를 확인하고자 한다.

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The preparation of TiO2 nanotubes with a doping of Mo by potential shock (전기충격법을 통한 몰리브덴이 도핑된 타이타니아 나노튜브)

  • Ha, Dong-Heun;Choe, Jin-Seop
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2017.05a
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    • pp.145-145
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    • 2017
  • 음극재에 사용되는 타이타니아 나노튜브($TiO_2$ nanotubes)는 높은 종횡비를 가지고 있으며, 기계적인 강도가 우수하고 화학적인 안정성이 높다. 그러나 낮은 전기전도도와 상대적으로 넓은 밴드갭(bandgap)은 다양한 활용 분야에 이 물질이 활용되는 것을 제한하고 있는 상황이다. 전기 화학적 분야에서 광화학 반응 또는 과전압에서 밴드갭을 줄이기 위한 타이타니아 나노튜브의 나노 구조 변형에 대한 많은 연구가 있어왔다. 본 연구에서는 산화 몰리브덴(Molybdenum oxide)을 촉매로 사용하여 타이타니아 나노튜브에 전기충격법을 이용하여 도핑했다. 생성된 타이타니아 나노튜브를 $450^{\circ}C$에서 1시간 30분 동안 가열하여 타이타니아 나노구조를 아나타제(anatase) 구조로 변형켰다. 타이타니아 나노튜브의 구조적인 변화를 scanning electron microscopy(SEM), energy-dispersive X-ray spectroscopy(EDS) 등을 통해 측정했고 UV-Visiblespectroscopy를 통해 도핑된 타이타니아 나노튜브의 밴드갭을 측정하였다. 몰리브덴이 도핑된 타이타니아 나노튜브는 기존의 타이타니아 나노튜브가 가지는 밴드갭인 3.0 ~ 3.2eV 범위보다 더 낮아진 2.6 ~ 2.8eV의 범위를 가지는 것을 확인하였다. 몰리브덴이 도핑된 타이타니아 나노튜브는 다양한 광촉매 분야에 적용될 수 있을 것으로 예상된다.

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압입속도의 변화에 따른 탄성계수와 경도의 오차 연구

  • Lee, Gyu-Yeong;Lee, Chan-Bin;Kim, Su-In;Lee, Chang-U
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2010.08a
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    • pp.182-182
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    • 2010
  • 나노 소재의 물성을 측정하기 위하여 대부분의 연구 구룹에서는 크게 두 가지 분석 기법인 분광학을 이용한 분석과 나노트라이볼로지를 이용한 분석을 사용하고 있다. 분광학을 이용한 분석에는 NMR, IR, Raman, SEM, TEM 등이 대표적이라 할 수 있고, 나노트라이볼로지를 이용한 분석에는 AFM, EFM, KFM, Nano-indenter 등의 탐침을 이용한 측정 기법이 대표적이다. Nano-indenter는 물질의 탄성 및 경도를 측정 할 수 있으며 이를 통해 물질의 특성을 연구하는데에 사용된다. 그러나 이런 Nano-indenter의 압입 실험에서는 그 결과값이 압입 조건 등의 통제변수의 함수가 될 것이다. 이를 확인하고 변화값의 parameter를 추출하기 위하여 본 실험에서는 이런 압입 조건 중 Load - Hold - Unload force의 속도 및 시간을 변화시켜 물질의 탄성계수와 경도가 어떻게 변하는지에 대한 역학관계를 연구하였다.

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Single Crystalline InxGa1-xAs Nanowires on Si (111) via VLS Method (VLS 방법을 이용한 단결정 InxGa1-xAs 나노와이어 성장과 조성비 변화에 대한 특성측정)

  • Shin, Hyun Wook;Shin, Jae Cheol;Choe, Jeong-Woo
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.22 no.2
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    • pp.105-110
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    • 2013
  • Single crystalline $In_xGa_{1-x}As$ nanowires are grown on Si (111) substrate via Vapor-Liquid-Solid growth mode using metal-organic chemical vapor deposition. The ternary nanowires have been grown with various growth conditions and examined by electron microscopy. The alloy compositions of the nanowires has been investigated using Energy-dispersive X-ray spectroscopy. We have found that the composition gradient of the nanowire becomes larger with growth temperature and V/III ratio.

Magnetic Properties of Ni Nanostructures Made by using Nanoporous Anodic Alumina (AAO를 이용한 Ni 나노구조체의 자기적 특징)

  • Lee, S.G.;Shin, S.W.;Lee, J.;Lee, J.H.;Kim, T.G.;Song, J.H.
    • Journal of the Korean Magnetics Society
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    • v.14 no.3
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    • pp.105-108
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    • 2004
  • Array of magnetic Ni nanostructures has been fabricated on Si substrate by using nanoporous alumina film as a mask during deposition. The nanostructures are truncated cone-shape and the lateral sizes are comparable to height. While the continuous film shows well-defined in-plane magnetization, the nanostructure shows perpendicular component of magnetization at remanence. The hysterectic behavior of nanostructures is dominated by the demagnetizing field instead of interaction among them.

Annealing Effects on Electron Transport properties of Nanostructured Thin Film (Annealing에 의한 나노구조 박막의 전기적 특성 연구)

  • Kouh, Tae-Joon
    • Journal of the Korean Magnetics Society
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    • v.16 no.1
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    • pp.98-101
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    • 2006
  • Electron transport properties of nanostructured Pb thin film, consisting of grains, have been studied. Nanostructured thin films were fabricated on a substrate held at low temperature and their thicknesses were less than 10nm. While temperature of the film increased from 1.3 K to room temperature, the change in normal state sheet resistance has been measured. As the annealing temperature varies, the normal state sheet resistance shows a non-monotonic and irreversible change. Such behavior can be understood with the Pb grain growth due to annealing of the film.

Measurement of Optical Properties of Nano-Cement Using THz Electromagnetic Waves (THz 전자기파를 이용한 나노시멘트 광학물성 측정)

  • Kim, Heonyoung;Kang, Donghoon;Oh, Seung Jae;Joo, Chulmin
    • Journal of the Korean Society for Nondestructive Testing
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    • v.36 no.5
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    • pp.363-369
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    • 2016
  • Enhancing mechanical strength of concrete has been fascinated using carbon-based nanomaterials such as CNT and graphene. The key to improving strength is a dispersion of nanomaterials. A novel method is required to investigate the dispersion inner concrete nondestructively. In this study, the optical optical properties such as refractive index and absorption coefficient are measured in nano-cement mortar specimens containing MWCNT and GO using THz electro-magnetic waves. From the results, the properties of nano-cement mortar are confirmed to be 1.0% to 2.5% higher in refractive index, and -14% to 28% higher in absorption coefficient than those of cement mortar at the average values. Using these characteristics, visualizing the dispersion of nano-concrete structures seems possible in future.

Effects of Morphology on Nanostructured Superconducting Thin Film (나노구조 박막의 Morphology에 따른 초전도 특성 변화에 관한 연구)

  • Kouh, Tae-Joon
    • Journal of the Korean Magnetics Society
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    • v.16 no.1
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    • pp.71-74
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    • 2006
  • Transport and tunneling measurements of nanostructured superconducting thin films are presented. To understand the effects of film morphology on their superconducting properties, thermal annealing experiments have been performed. The transition temperature increases with thermal annealing temperature towards the bulk value. Also, thermal annealing results in a shift of transverse phonon mode. These can be understood with changes in film morphology and suggest its importance on the superconducting state properties.

Microstructure and Electromagnetic Characteristics of MWNT-filled Plain-Weave Glass/Epoxy Composites (다중벽 탄소나노튜브가 첨가된 평직 유리섬유/에폭시 복합재료의 미세구조 및 전자기적 특성)

  • Lee, Sang-Eui;Park, Ki-Yeon;Lee, Won-Jun;Kim, Chun-Gon;Han, Jae-Hung
    • Composites Research
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    • v.19 no.1
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    • pp.36-42
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    • 2006
  • MWNT(multi-walled carbon nanotube)-filled plain-weave glass/epoxy composites were fabricated and electromagnetic characteristics of the composites were investigated. The observation of the microstructures of the composites revealed that MWNTs are mostly distributed in matrix rich region and the interface between glass fiber yarns in warp and fill direction. The permittivity of the composites, measured in X-band (8.2-12.4 GHz) frequency range, increased with weight fraction of MWNTs and remained almost constant with frequency. The measured permittivity was used to investigate the reflection loss of radar absorbing structures (RAS) composed of MWNT-filled composites according to thickness and a RAS were constructed with 10 dB absorbing bandwidth 4.2 GHz and 3.3 mm in thickness.