• 한국광학회:학술대회논문집
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• 한국광학회 2000년도 제11회 정기총회 및 00년 동계학술발표회 논문집
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• pp.266-267
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• 2000

최근에 Stranski-Krastanov 방법을 이용한 나노미터 크기의 변형된 섬 구조 제작에 많은 관심을 보이고있다.$^{(1)}$ 이는 결함이 적고, 균일한 저차원의 반도체 구조가 광전자 장치에 지대한 발전을 가져올 것으로 기대되기 때문이다. 예를들어 양자 선이나 양자 점은 반도체 레이저의 이득 영역으로 좋은 특성을 가지는 것으로 알려졌다.$^{(2)}$ 이 논문에서 우리는 Chemical Beam Epitaxy (CBE)를 이용하여 InP 기판 위에 격자상수가 맞지 않는 InAs 층의 성장과 Photoluminescence (PL) 측정을 통해 이 구조의 특성에 대해서 알아보고자 한다. (중략)

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2009년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.103-105
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• 2009

본 연구에서 우리는 single walled carbon nanotube(SWNT) 용액 속의 TEOS와 VTMS 바인더가 나노튜브 센서의 감도의 증가와 선택성을 가지는 것에 대해서 조사하였다. 일반적으로 혼합된 SWNT 용액 속의 유기 화합물인 바인더는 기판에 잘 부착된다. 그리고 가수분해 된 바인더의 표면에는 바인더가 경화 되었을 때 기능화 된 하나의 그룹이 형성된다. 그것은 SWNT의 표면에 가수분해 된 TEOS와 VTMS의 -OH와 $-CH=CH_2$ 같이 기능화된 그룹이다. 그러므로 전하는 carbon nanotube와 흡착된 분자 사이에서 이동되고 그에 대한 영향으로 전기적인 전도성이 변화한다. 이 실험에서 증가되어지는 알콜 농도에 따라 TEOS 바인더를 사용한 센서의 저항은 감소하는 반면 VTMS 바인더를 사용한 센서의 저항은 증가한다.

• 대한기계학회:학술대회논문집
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• 대한기계학회 2008년도 추계학술대회A
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• pp.1553-1555
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• 2008

Super-hydrophobic treated Polyimide film was used as a flexible substrate for developing a new method of metallization. Hydrophilic patterns were fabricated by IN irradiation through shadow mask. Patterned super-hydrophobic substrate was dipped into a bath containing silver nano ink Silver ink was only coated on hydrophilic patterned area. Metal lines of $600{\mu}m$ pitch were fabricated successfully. However, their thickness was too thin to serve as interconnection. To overcome this problem, iterative dipping was conducted. After repeating five times, the thickness of silver metal lines were increased to over than $2{\mu}$. After heat treatment of silver lines, their resistivities were reduced to order of $30{\mu}{\Omega}$-cm the similar level of values reported in other literatures. So, a new method of metallization has high potential for application of RFID antenna and flexible electronics substrates.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2014년도 제46회 동계 정기학술대회 초록집
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• pp.216.2-216.2
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• 2014

플라즈마의 연속 운전 조건은 플라즈마 발생원의 기하적, 전기적 특성에 의한 공정 특성을 갖는다. RF power를 pulsing하는 경우 off시간에 하전 입자와 중성 라디칼의 소멸 특성의 차이로 인하여 나노 미세 구조의 식각에 유리한 측면이 있다. 유도 결합 플라즈마원을 주발생원으로 이용하는 건식 식각장비의 기판 바이어스를 rf pulsing하는 경우 유체 모델을 이용한 계산 방법에서 rf off 시간 중의 2차 전자 발생 계수를 rf on time시와 동일 하게 계산하거나 입사 이온의 에너지와 무관하게 0.05 등의 상수로 처리하는 경우가 많은데 본 연구에서는 rf bias off 시간 동안의 SEC(secondary electron coefficient)를 변화시키는 조건이 플라즈마의 특성에 어떤 영향을 미치는지 CFD-ACE+에 user subroutine을 이용하여 조사하였다.

• 한국표면공학회지
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• 제41권6호
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• pp.331-334
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• 2008

The replica of highly ordered nano-sphere array patterns were fabricated using hot embossing method. First, silica nano-sphere array on Si substrate was transferred to PVC film at $130^{\circ}C$ and 7 bar using hot embossing process. Then, silica nano-sphere array on PVC template was removed by soaking the PVC film in buffered oxide etcher. In order to form anti-stiction layer, the PVC template was coated with silicon dioxide layer and self-assembled monolayer. Through UV nanoimprint lithography with the fabricated flexible PVC template, highly ordered nano-sphere array pattern was imprinted on curved substrates with high fidelity.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2006년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.671-672
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• 2006

We have investigated the behavior of the ultrafast laser ablation of chromium films (200nm) on the silicon and pyrex-glass(corning 7740) substrate with respect to the laser fluence and the number of laser pulses. In addition, several experiments about ITO thin film were carried out with femto-second Ti:Sapphire laser (150fs). Finally, we introduce the ablation characteristic in accordance with materials of thin film and substrate.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2011년도 제41회 하계 정기 학술대회 초록집
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• pp.275-275
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• 2011

전극에 응용할 수 있는 소재 중 탄소나노소재는 구리와 비슷한 전기 전도성을 가지며 박막 코팅 시 투명성이 보장되고 코팅력이 매우 우수하다. 하지만 현재 다양한 분야에 응용되고 있는 투명전극 소재인 Indium tin oxide (ITO)를 대체하기에는 아직 이른 실정이다. 또 다른 투명전극 응용 소재인 silver nanowire는 전기 전도성이 우수한 반면 투명 전극으로서 두께가 두꺼워질수록 Haze 발생과 기판과의 부착력, 박막형성 뒤의 내구성 문제가 있다. 본 연구에서는 상기 두 재료를 결합하여 복합 전극을 만들어 두 재료의 복합 비율에 따른 투명성과 전기 전도성을 비교하였다.

• 한국전기전자재료학회논문지
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• 제16권12S호
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• pp.1157-1164
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• 2003

This paper shows the results of atomistic modeling for the interaction between spherical nano abrasive and substrate in chemical mechanical polishing processes. Atomistic modeling was achieved from 2-dimensional molecular dynamics simulations using the Lennard-Jones 12-6 potentials. The abrasive dynamics was modeled by three cases, such as slipping, rolling, and rotating. Simulation results showed that the different dynamics of the abrasive results the different features of surfaces. This model can be extended to investigate the 3-dimensional chemical mechanical polishing processes.

• 한국세라믹학회지
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• 제42권12호
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• pp.865-871
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• 2005

Submicron thick solid electrolyte membrane is essential to the implementation of low temperature solid oxide fuel cell, and, therefore, development of new electrode structures is necessary for the submicron thick solid electrolyte deposition while providing functions as current collector and fuel transport channel. In this research, a nickel membrane with multi-stage nano hole array has been produced via modified two step replication process. The obtained membrane has practical size of 12mm diameter and $50{\mu}m$ thickness. The multi-stage nature provides 20nm pores on one side and 200nm on the other side. The 20nm side provides catalyst layer and $30\~40\%$ planar porosity was measured. The successful deposition of submicron thick yttria stabilized zirconia membrane on the substrate shows the possibility of achieving a low temperature solid oxide fuel cell.

• 반도체디스플레이기술학회지
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• 제11권1호
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• pp.61-65
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• 2012

In this study, for use of carbon nanotubes (CNTs) as a cold cathode of x-ray tubes, we examine the effects of selective growth of CNTs on their field emission properties and long-term stability. The selective growth of CNTs was performed by selectively etching the catalyst layer which was used for CNTs' nucleation. CNTs were grown on conical-type tungsten substrates using an inductively-coupled plasma chemical vapor deposition system. For all the grown CNTs, their morphologies and microstructures were analyzed by field-emission scanning electron microscope and Raman spectroscopy. The electron-emission properties of CNTs and the long-term stability of emission currents were measured and characterized according to the CNTs' growth position on the substrate.