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우수저류시설의 운영효과 모의 (Simulation of Operation Effects of Stormwater Retention Facility)

  • 이길성;정은성;신문주
    • 한국수자원학회:학술대회논문집
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    • 한국수자원학회 2006년도 학술발표회 논문집
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    • pp.809-813
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    • 2006
  • 현재 대도시 인근지역의 농업용 저수지는 도시화로 인해 농경지가 많이 줄어들어 존재의의를 잃어가고 있으며 관리주체 또한 운영과 관리를 적극적으로 하지 않고 있다. 하지만 이러한 저수지를 효과적으로 운영할 경우 도시화로 인한 건기의 유지용수 부족을 해결하는데 유용하게 활용할 수 있다. 본 연구에서는 안양천 중상류 유역에 대해 SWAT 모형을 이용하여 우수저류시설에 대한 운영효과를 분석하였다. 현존하는 오전 $(57,000m^3)$, 백운$(160,000m^3)$, 삼성$(40,000m^3)$ 저수지에 대해 존재하지 않을 경우와 존재할 경우의 유황곡선을 비교하여 저류시설로 인한 수문현황의 변화를 제시하였다. 오전저수지의 경우 오전천 하류 기준으로 갈수량이 0.00002 CMS에서 0.00052 CMS로, 저수량은 0.00369 CMS에서 0.00419 CMS로 증가하였으며, 백운저수지의 경우 학의천 하류기준으로 갈수량이 0.057 CMS에서 0.060 CMS로, 저수량은 0.102 CMS에서 0.105 CMS로 증가하였으며, 삼성저수지의 경우 삼성천 하류기준으로 갈수량이 0 CMS에서 0.001 CMS로, 저수량은 0 CMS에서 0.003 CMS로 증가하였다. 또한 각각의 저수지에 대해 건기의 유지용수를 위해 일정량 방류를 할 경우 어떻게 변화하는지 비교하였다. 운영을 개선할 경우 오전 저수지의 경우 갈수량이 0.00052 CMS에서 0.01002 CMS, 백운저수지의 경우 0.060 CMS에서 0.160 CMS, 삼성저수지의 경우 0.001 CMS에서 0.007 CMS로 증가하였다. 따라서 하천의 유지유량 확보를 위해 저수지를 신설하거나 기존 농업용 저수지의 저수용량 확장 및 수문설치 등 재개발을 할 경우 유역의 갈수 시 물순환이 보다 향상될 것이다.>에서 $0.0190m^3/s$로, 갈수량$(Q_{355})$$0.0176m^3/s$에서 $0.0189m^3/s$로 약 7%가 증가하는 것으로 분석되었다. 결과로부터 침투 트렌치는 저수량 및 갈수량을 증가시키는 보조수단이 될 수 있다.해 보았다. 뿐만 아니라 이와 관련된 수문요소기술을 확보할 수 있을 것이다.역의 물순환 과정을 보다 명확히 규명하고자 노력하였다.으로 추정되었다.면으로의 월류량을 산정하고 유입된 지표유량에 대해서 배수시스템에서의 흐름해석을 수행하였다. 그리고, 침수해석을 위해서는 2차원 침수해석을 위한 DEM기반 침수해석모형을 개발하였고, 건물의 영향을 고려할 수 있도록 구성하였다. 본 연구결과 지표류 유출 해석의 물리적 특성을 잘 반영하며, 도시지역의 복잡한 배수시스템 해석모형과 지표범람 모형을 통합한 모형 개발로 인해 더욱 정교한 도시지역에서의 홍수 범람 해석을 실시할 수 있을 것으로 판단된다. 본 모형의 개발로 침수상황의 시간별 진행과정을 분석함으로써 도시홍수에 대한 침수위험 지점 파악 및 주민대피지도 구축 등에 활용될 수 있을 것으로 판단된다. 있을 것으로 판단되었다.4일간의 기상변화가 자발성 기흉 발생에 영향을 미친다고 추론할 수 있었다. 향후 본 연구에서 추론된 기상변화와 기흉 발생과의 인과관계를 확인하고 좀 더 구체화하기 위한 연구가 필요할 것이다.게 이루어질 수 있을 것으로 기대된다.는 초과수익률이 상승하지만, 이후로는 감소하므로, 반전거래전략을 활용하는 경우 주식투자기간은 24개월이하의 중단기가 적합함을 발견하였다. 이상의 행태적 측면과 투자성과측면의 실증결과를 통하여 한국주식시장에 있어서 시장수익률을 평균적으로 초과할 수 있는 거래전략은 존재하므로 이러한 전략을 개발 및 활용할 수 있으며, 특히, 한국주식시

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유출성분 분석에 의한 제어지점의 유출량 산정 (Stream Discharge Estimation by Runoff Component Analysis on the Control Point)

  • 이상진;황만하;이배성;박주성
    • 한국수자원학회:학술대회논문집
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    • 한국수자원학회 2006년도 학술발표회 논문집
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    • pp.785-789
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    • 2006
  • 유역 수자원의 효율적인 관리 및 배분을 위해서는 세밀한 강우-유출관계의 규명이 무엇보다 중요하다. 이를 위해서는 먼저 하천 유출지점의 정확한 유량정보가 획득되어야 하며, 장기간에 걸쳐 신뢰성 있는 유량자료의 확보는 더욱 중요한 사항이다. 본 연구에서는 하천에서 관측된 유량자료를 장기간(1983년${\sim}$2004년)에 걸친 유출성분으로 분리하는 기법을 활용하여 제어지점의 유출량을 검증하였다. 유량자료를 출구지점의 관측유량$(Q_{ob})$을 회귀수$({\alpha}Q_e)$, 상류유입량$(Q_{up})$ 및 관측강우-유출량$({\beta}Q_{Rain})$의 성분으로 구분하여 산정하는 방식으로 유출량을 추정하였다. 여기서, 회귀수$({\alpha}Q_e)$란 유역 및 하도내 용수이용량의 회귀수, 상류유입량$(Q_{up})$은 상류 유출 제어지점의 관측유량으로 대청댐 방류량, 관측강우-유출량$({\beta}Q_{Rain})$은 유역내 강우에 의한 자연유출량이다. 여기서 사용된 수문기초자료는 대청댐 방류량, 대전 및 청주권 취수량, 강우에 의한 자연유출량, 공주관측유량 등으로 각 성분별로 생성된 일자료를 이용하여 공주지점의 월별, 분기별, 년도별 유출량을 산정하였다. 이 결과는 금강유역에 이미 구축되어있는 SSARR모형을 기반으로 한 RRFS(Rainfall Runoff Forecasting System, 유출예측 시스템)의 결과 및 관측치와 비교되었다. 계산결과 RRFS에 의한 유출량과 대청-공주구간의 유출성분분리에 의한 유출량은 관측값과 전반적으로 근사함을 확인하였으며, 검증지점의 정확한 유출율을 산정할 수 있다면, 관측자료의 연속성 및 신뢰도를 파악하는 척도를 제공할 수 있을 것으로 판단된다.측결과 있는 대상유역에 대한 적용이 요구된다.-Moment 방법에 의해 추정된 매개변수를 사용한 Power 분포를 적용하였으며 이들 분포의 적합도를 PPCC Test를 사용하여 평가해봄으로써 낙동강 유역에서의 저수시의 유출량 추정에 대한 Power 분포의 적용성을 판단해 보았다. 뿐만 아니라 이와 관련된 수문요소기술을 확보할 수 있을 것이다.역의 물순환 과정을 보다 명확히 규명하고자 노력하였다.으로 추정되었다.면으로의 월류량을 산정하고 유입된 지표유량에 대해서 배수시스템에서의 흐름해석을 수행하였다. 그리고, 침수해석을 위해서는 2차원 침수해석을 위한 DEM기반 침수해석모형을 개발하였고, 건물의 영향을 고려할 수 있도록 구성하였다. 본 연구결과 지표류 유출 해석의 물리적 특성을 잘 반영하며, 도시지역의 복잡한 배수시스템 해석모형과 지표범람 모형을 통합한 모형 개발로 인해 더욱 정교한 도시지역에서의 홍수 범람 해석을 실시할 수 있을 것으로 판단된다. 본 모형의 개발로 침수상황의 시간별 진행과정을 분석함으로써 도시홍수에 대한 침수위험 지점 파악 및 주민대피지도 구축 등에 활용될 수 있을 것으로 판단된다. 있을 것으로 판단되었다.4일간의 기상변화가 자발성 기흉 발생에 영향을 미친다고 추론할 수 있었다. 향후 본 연구에서 추론된 기상변화와 기흉 발생과의 인과관계를 확인하고 좀 더 구체화하기 위한 연구가 필요할 것이다.게 이루어질 수 있을 것으로 기대된다.는 초과수익률이 상승하지만, 이후로는 감소하므로, 반전거래전략을 활용하는 경우 주식투자기간은 24개월이하의 중단기가 적합함을 발견하였다. 이상의 행태적 측면과 투자성과측면의 실증결과를 통하여 한국주식시장에 있어서 시장수익률을 평균적으로 초과할 수 있는 거래전략은 존재하므로 이러한 전략을 개발 및 활용할 수 있으며, 특히, 한국주식시장에 적합한 거래전략은 반전거래전략이고, 이 전략의 유용성은 투자자가 설정한 투자기간보다 더욱 긴

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잎들깨 수경재배에서 배지 종류에 따른 식물 생육 및 수량의 반응 (Growth and Yield Response of Perilla Plants Grown under Different Substrates in Hydroponic System)

  • 신민주;정호정;노미영;김진현;송관정
    • 생물환경조절학회지
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    • 제31권4호
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    • pp.292-299
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    • 2022
  • 잎들깨 수경재배 시 적합한 고형배지를 선발하기 위하여 본 연구를 수행하였다. '남천'과 '소미랑' 2품종에 대해 코이어(chip:dust = 5:5), 펄라이트, 입상 암면, 원예용 상토(cocopeat: peatmoss:vermiculite:perlite:zeolite = 50:25:10:10:5) 등 4종의 배지에 따른 배지의 물리화학적 특성 및 생육반응을 분석하였다. 배지 간의 EC와 pH의 차이는 보이지 않았으나, 용기용수량 측정 결과 입상 암면이 가장 높고 원예용 상토와 코이어가 적절한 수준을 유지하였다. 배지의 기상률은 코이어와 펄라이트가 30% 이상으로 높은 경향을 보였으며 가비중은 코이어 배지를 제외한 모든 배지가 기준을 충족하였다. 잎의 크기는 품종 간에 배지에 따른 반응이 다르게 나타났는데 '남천' 품종은 원예용 상토에서 엽장, 엽폭이 가장 컸고 '소미랑'의 경우 코이어에서 재배하였을 때 가장 컸다. 엽중은 두 품종 모두 원예용 상토에서 재배한 것이 가장 높았고, 코이어와 펄라이트에서 재배한 것이 상대적으로 낮았다. 총 생산량을 조사한 결과 수량이 높은 원예용 상토 및 입상 암면과 수량이 낮은 코이어, 펄라이트로 두 그룹으로 구분되는 형태를 보였으며 그룹 간에 최대 28% 차이를 보였다. 따라서 근권에 충분한 수분 공급이 필요한 잎들깨를 수경재배하기 위해서는 보수력이 좋은 원예용 상토와 입상 암면을 이용하는 것이 적합할 것으로 판단한다.

Spreader Row Technique을 이용한 옥수수 노균병 검정 (Evaluation of Maize Downy Mildew using Spreader Row Technique)

  • 김경희;문준철;김재윤;김효철;신승호;송기태;백성범;이병무
    • 한국작물학회지
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    • 제61권1호
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    • pp.41-49
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    • 2016
  • 옥수수 노균병에 대한 저항성 및 감수성을 확인하기 위하여 캄보디아 현지에서 노균병을 수집 및 채집하였으며, spreader row technique을 이용하여 봄/여름과 늦여름/가을동안 시험포장에 노균병을 접종한 후 4주차와 6주차에 노균병 발병률을 확인하였다. 국내 품종 7개와 육성 품종 7개는 노균병 접종 후 6주차에서 노균병에 대하여 대부분 highly susceptible (HS)의 등급을 확인하였으며, 발병률은 80~100%로 NAM parent계통보다 높게 나타났다. 이것은 국내 품종과 육성 품종 모두는 노균병에 대한 감수성이 있는 품종으로 확인하였다. 반면, Ki3, Ki11, CML228 계통은 봄/여름 시즌에서는 0~5%의 발병률과 highly resistant (HR) 또는 resistant (R)의 등급을 확인할 수 있었고, 늦여름/가을 시즌에는 22.2~25%의 발병률 및 moderately resistant (MR)의 발병 등급이 나타났다. 효율적인 노균병 접종을 위해서 기상 조건 및 습도, 그리고 온도를 중요시하며, 접종 방법 또한 간단하면서 손쉽게 관리할 수 있는 방법이 가장 중요하다. 본 연구에서 사용한 spreader row technique은 다양한 병징 연구에 활용이 가능하며, 저항성 및 감수성 품종을 효율적으로 확인 및 선발할 수 있다.

제주도 기온과 주변해역 해수면 온도와의 상관관계에 관한 연구 (A Study of Correlations between Air-Temperature of Jeju and SST around Jeju Island)

  • 장승민;김성수;최영찬;김수강
    • 한국해양환경ㆍ에너지학회지
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    • 제9권1호
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    • pp.55-62
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    • 2006
  • 본 연구에서는 1971년부터 2000년까지의 국립수산과학원(NFRDI) 정선관측자료와 1924년부터 2004년까지의 제주지방기상청(JRMO) 기온자료를 이용하여 제주도 주변해역의 해수면 온도 변동성과 제주도 기온변동성의 상관관계를 살펴보았다. 그 결과, 기온은 80년 동안 $0.020^{circ}C/year$ 정도의 상승률을 보이고 있었으며 최근 30년 동안 $0.035^{circ}C/year$의 상승률을 보여 비교적 높은 상승추세를 보이고 있었다. 해수면 온도는 $0.024^{circ}C/year$의 상승률을 보이고 있고 특히 겨울철인 12월에 $0.047^{circ}C/year$로 가장 높은 상승률을 보이고 있었다. 해수면 온도와 기온 사이에는 양의 상관 관계를 가지며 시계열자료를 분석한 결과 두 변수의 위상이 일치하고 있음을 알 수 있었으며 해수면 온도 아노말리와 기온 아노말리에서도 유사하게 나타나고 있다. 즉, 제주도 주변해역의 해면 온도 변동은 제주도 기온변화와 큰 연관이 있음을 알 수 있었다.

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유럽표준분석법에 의한 원예용 상토의 이화학성 및 안정성 평가 (Evaluation of physio-chemical properties and stability of some commercial horticultural substrates by the European Standard Methods)

  • 김혁수;김계훈
    • 한국토양비료학회지
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    • 제43권1호
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    • pp.44-50
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    • 2010
  • 본 연구는 현재 유통 중에 있는 원예용 상토에 대해 이화학적 특성 및 안정도를 조사하여 상토이용의 최적화를 도모하기 위하여 수행하였다. 이를 위하여 12개 업체에서 생산하는 19 종류 원예용 상토를 수집하여 유럽표준분석법에 준해 상토의 이화학성을 분석하였다. 또한 이 결과를 이용하여 유럽에서 사용 중인 산소호흡률 측정방법에 따라 상토의 안정도를 평가하였다. 원예용 상토의 이화학성은 건물함량 39.33~69.00%, 수분함량 31.00~60.67%, 유기물함량 25.05~39.14%, 회분함량 60.86~74.95%, 실험실가밀도 227.38~391.20$g{\cdot}L^{-1}$ pH 4.75~6.10 EC 0.41~0.85 $dS{\cdot}m^{-1}$ T-N 0.19~1.29%, $P_2O_5$ 0.73~18.95 $mg{\cdot}L^{-1}$로 각각 조사되었다. 양이온 K, Mg, Ca, Na은 각각 49.72~306.74 $mg{\cdot}L^{-1}$, 9.97~91.17 $mg{\cdot}L^{-1}$, 6.90~283.32 $mg{\cdot}L^{-1}$, 80.68~295.83 $mg{\cdot}L^{-1}$의 범위를 나타내었다. 또한 가밀도 124.48~243.16 $kg{\cdot}m^{-3}$, 진밀도 2073.94~2249.99 $kg{\cdot}m^{-3}$, 총공극률 89.19~94.05%, 액상 57.14~78.35%, 기상 12.19~35.62%로 조사되었다. 원예용 상토의 산소호흡률은 2.03~5.63 mmol $O_2{\cdot}kg$ OM $hour^{-1}$로 선행연구를 통해 설정된 유기물질의 안정도 평가기준과 비교시 19점의 원예용 상토 중 17점의 상토에서 '매우 안정'의 단계로 조사되었으며, 나머지 2점의 상토에 대해서도 '안정' 단계로 평가되었다. 향후 상토의 산소호흡률을 이용한 안정도 평가를 통해 최적조건의 상토가 지속적으로 관리될 수 있을 것으로 판단된다.

무선 인터넷 서비스를 위한 트랜잭션 프로토콜의 구현과 성능평가 (Implementation and Performance Evaluation of Transaction Protocol for Wireless Internet Services)

  • 최윤석;임경식
    • 한국정보과학회논문지:정보통신
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    • 제29권4호
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    • pp.447-458
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    • 2002
  • 본 연구에서는 무선 인터넷 서비스를 위한 전송계층 프로토콜인 TCP, T/TCP와 WTP의 특징을 비교.분석한다. 우선 무선구간에 가장 적합한 WTP를 제한된 자원을 가진 무선 단말기상에 탑재하기 용이하도록 코루틴 모델을 기반으로 하나의 쓰레드로 구현하고 이를 Nokia, Kannel 그리고, WinWAP 의 기존 구현물과 상호 동작시켜 호환성을 검사한다. 그리고, 무선환경에서의 패킷손실을 잘 표현할 수 있는 길버트(Gilbert) 모델을 기반으로 구현물의 트랜잭션 성공률(throughput) 및 수행시간(system response time)을 측정하여 기존의 TCP, T/TCP와 비교한다. 그 결과, WTP는 트랜잭션 성공률과 수행 시간에 있어서 기존의 프로토콜에 비해 높은 성능을 보였다. 특히, 연속적인 에러가 발생하며 패킷손실률이 비교적 높을 때, WTP는 T/TCP와 TCP에 비해 매우 높은 트랜잭션 성공률을 나타냈으며, 10배 이상 빠른 수행 시간을 보였다. 이는 WTP가 다른 프로토콜에 비해 적은 개수의 패킷으로 하나의 트랜잭션을 수행하고 패킷 손실로 인한 타임아웃 발생 시, 타이머 값을 exponential backoff를 적용하지 않고 일정한 값을 유지하기 때문이다. 또한, 무선환경에 최적화된 WTP의 재전송 횟수를 결정하기 위한 실험을 통해, 가장 적절한 재전송 횟수가 5~6회임을 알 수 있었다.

중부지역 답전윤환에 적합한 전작물 윤환년수와 논작부체계 (Crop Combinations and Rotation Years for Paddy-Upland Cropping System in Middle Part of Korea)

  • 김정일;이경희;오용비;오윤진;이정기
    • 한국작물학회지
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    • 제38권4호
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    • pp.304-311
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    • 1993
  • 답전윤환에 의한 논 고도이용과 이에 적합한 작목선정 및 작부양식을 검토하기 위하여 1989년부터 4년간 수도, 콩, 옥수수, 율무를 1년, 2년, 3녀 윤환의 작부양식으로 시험한 결과는 다음과 같다. 1. 수도수량은 윤환재배에 의하여 7~12% 중수되었으며 밭1년윤환답보다 밭2년대두답의 증수복이 더 컸으며, 윤환형태별로는 대두2년윤환답이 가장 유양시 되었으며, 미질은 윤환재배에 dlm하여 저하되는 경향이었다. 2. 대두는 밭연작기간이 길어질수록 수량도 크게 감소되는 경향이었으며 1년 윤환 및 매년윤환의 작부양식이 가장 유이하였다. 3. 식용옥수수 GCB70은 3년윤환재배에서, 사료용옥수수 수원19호는 2년윤환재배에서 가장 수량이 많았다. 4. 율무는 밭연작기간이 길어질수록 감수되었으며 1년윤환재배가 가장 수량이 많았다. 5. 담전윤환재배에 의하여 논ㆍ밭상태 모두 잡초발생량 및 초종수가 감소하였고 밭상태 보다 논상태에서의 잡초감소효과가 더 컸으며, 윤환작물별 우점잡초양상도 달라서 콩 3년연작 재배에서는 광엽잡초 명아주가 36%나 발생하였다. . 토양물리성은 답전윤환에 의하여 논ㆍ밭토양 모두 기상율 및 공극율 등 전반적읜 토양물리성이 개선되었고, 밭 작물기간이 길수록 기상률은 증가하는 경향이었으며 매년윤환 밭토양에서 보다 2년간 밭 전역이 있는 논토양의 심토에서 3.4% 증가하는 효과를 보였다.

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서울지역의 지속시간 및 재현기간별 확률강우량의 경년변화 분석 (The Rainfall Quantile Change Analysis of the Different Duration and Return Period in Seoul)

  • 안상현;박인찬;조원철
    • 한국수자원학회:학술대회논문집
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    • 한국수자원학회 2006년도 학술발표회 논문집
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    • pp.764-769
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    • 2006
  • 본 연구에서는 최근에 빈번히 발생하는 단시간 집중호우양상의 변화와 자료기간의 누적에 따른 지속시간 및 재현기간별로 확률강우량의 변화양상을 분석하였다. 분석 대상 지점으로는 서울지점을 선정하였다. 강우자료는 기상청 산하의 강우관측소 자료를 이용하였으며 확률강우량 산정을 위한 강우지속시간은 10분, 20분, 30분, 40분, 50분 60분, 120분, 180분, 360분, 720분, 1440분을 지속시간으로 선정하였고 재현기간은 5년, 10년, 15년, 20년, 25년, 30년, 50년, 80년, 100년, 200년으로 수공구조물 설계시 많이 고려되어지는 재현기간을 선정하였다. 먼저 최근의 강우양상의 변화와 확률강우량의 경년변화 양상을 비교 분석하기 위하여 서울지점의 강우자료에 대한 장기 변동성을 분석하였고, 연강우량과 지속시간별 연 최대 강우량의 상관성을 분석하였다. 다음으로 통계적 분석을 통하여 확률강우량의 경년변화 양상을 지속시간 및 재현기간별로 분석하였다. 연강우량과 지속시간별 연최대강우량의 상관성 분석은 상호상관분석과 회귀분석을 실시하여 분석하였다. 확률강우량의 경년변화 분석 방법은 기본자료기간을 20년으로 산정하여 매해 강우자료를 추가하면서 확률강우량을 산정하여 경년변화를 살펴보았다. 확률강우량의 산정은 국립방재연구소와 연세대학교가 공동으로 제작한 FARD모형을 사용하였다. 분석결과 최근 강우량이 증가 추세에 있는 것을 확인 할 수 있었으며, 연강우량과 지속시간별 연 최대 강우량의 상관성은 없는 것으로 나타났다. 또한 확률강우량의 분석결과에서는 자료의 누적에 따른 확률강우량의 지속시간 및 재현기간에 따라 차이가 상이하며, 변동폭은 20% 내외로 나타났다. 토양수분 계산에도 영향을 준 것으로 보인다. 본 연구는 WEP 모형의 토양수분 해석능력에 대한 시험적용에 그 의의가 있으며, 향후 토양 및 지표하 매개변수 정보가 충분히 갖추어지고, 토양수분 관측결과 있는 대상유역에 대한 적용이 요구된다.-Moment 방법에 의해 추정된 매개변수를 사용한 Power 분포를 적용하였으며 이들 분포의 적합도를 PPCC Test를 사용하여 평가해봄으로써 낙동강 유역에서의 저수시의 유출량 추정에 대한 Power 분포의 적용성을 판단해 보았다. 뿐만 아니라 이와 관련된 수문요소기술을 확보할 수 있을 것이다.역의 물순환 과정을 보다 명확히 규명하고자 노력하였다.으로 추정되었다.면으로의 월류량을 산정하고 유입된 지표유량에 대해서 배수시스템에서의 흐름해석을 수행하였다. 그리고, 침수해석을 위해서는 2차원 침수해석을 위한 DEM기반 침수해석모형을 개발하였고, 건물의 영향을 고려할 수 있도록 구성하였다. 본 연구결과 지표류 유출 해석의 물리적 특성을 잘 반영하며, 도시지역의 복잡한 배수시스템 해석모형과 지표범람 모형을 통합한 모형 개발로 인해 더욱 정교한 도시지역에서의 홍수 범람 해석을 실시할 수 있을 것으로 판단된다. 본 모형의 개발로 침수상황의 시간별 진행과정을 분석함으로써 도시홍수에 대한 침수위험 지점 파악 및 주민대피지도 구축 등에 활용될 수 있을 것으로 판단된다. 있을 것으로 판단되었다.4일간의 기상변화가 자발성 기흉 발생에 영향을 미친다고 추론할 수 있었다. 향후 본 연구에서 추론된 기상변화와 기흉 발생과의 인과관계를 확인하고 좀 더 구체화하기 위한 연구가 필요할 것이다.게 이루어질 수 있을 것으로 기대된다.는 초과수익률이 상승하지만, 이후로는 감

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LPCVD로 성장된 텅스텐 게이트의 물리.전기적 특성 분석

  • 노관종;윤선필;황성민;노용한
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 1999년도 제17회 학술발표회 논문개요집
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    • pp.151-151
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    • 1999
  • 금속-산화막-반도체(MOS) 소자를 이용하는 집적회로의 발전은 게이트 금속의 규격 감소를 필요로 한다. 규격감소에 따른 저항 증가가 중요한 문제점으로 대두되었으며, 그동안 여러 연구자들에 의하여 금속 게이트에 관련된 연구가 진행되어 왔다. 특히 저항이 낮으며 녹는점이 매우 높은 내화성금속(refractory metal)인 텅스텐(tungsten, W)이 차세대 MOS 소자의 유력한 대체 게이트 금속으로 제안되었다. 텅스텐은 스퍼터링(sputtering)과 화학기상 증착(CVD) 방식을 이용하여 성장시킬 수 있다. 스퍼터링에 의한 텅스텐 증착은 산화막과의 접착성은 우수한 반면에 증착과정 동안에 게이트 산화막(SiO2)에 손상을 주어 게이트 산화막의 특성을 열화시킬 수 있다. 반면, 화학기상 증차에 의한 텅스텐 성장은 스퍼터링보다 증착막의 저항이 상대적으로 낮으나 산화막과의 접착성이 좋지 않은 문제를 해결하여야 한다. 본 연구에서는 감압 화학기상 증착(LPCVD)방식을 이용하여 텅스텐 게이트 금속을 100~150$\AA$ 두께의 게이트 산화막(SiO2 또는 N2O 질화막)위에 증착하여 물리 및 전기적 특성을 분석하였다. 물리적 분석을 위하여 XRD, SEM 및 저항등이 증착 조건에 따라서 측정되었으며, 텅스텐 게이트로 구성된 MOS 캐패시터를 제작하여 절연 파괴 강도, 전하 포획 메커니즘 등과 같은 전기적 특성 분석을 실시하였다. 특히 텅스텐의 접착성을 증착조건의 변화에 따라서 분석하였다. 텅스텐 박막의 SiO2와의 접착성은 스카치 테이프 테스트를 실시하여 조사되었고, 증착시의 기판의 온도에 민감하게 반응하는 것을 알 수 있었다. 또한, 40$0^{\circ}C$ 이상에서 안정한 것을 볼 수 있었다. 텅스텐 박막은 $\alpha$$\beta$-W 구조를 가질 수 있으나 본 연구에서 성장된 텅스텐은 $\alpha$-W 구조를 가지는 것을 XRD 측정으로 확인하였다. 성장된 텅스텐 박막의 저항은 구조에 따라서 변화되는 것으로 알려져 있다. 증착조건에 따른 저항의 변화는 SiH4 대 WF6의 가스비, 증착온도에 따라서 변화하였다. 특히 온도가 40$0^{\circ}C$ 이상, SiH4/WF6의 비가 0.2일 경우 텅스텐을 증착시킨 후에 열처리를 거치지 않은 경우에도 기존에 발표된 저항률인 10$\mu$$\Omega$.cm 대의 값을 얻을 수 있었다. 본 연구를 통하여 산화막과의 접착성 문제를 해결하고 낮은 저항을 얻을 수 있었으나, 텅스텐 박막의 성장과정에 의한 게이트 산화막의 열화는 심각학 문제를 야기하였다. 즉, LPCVD 과정에서 발생한 불소 또는 불소 화합물이 게이트의 산화막에 결함을 발생시킴을 확인하였다. 향후, 불소에 의한 게이트 산화막의 열화를 최소화시킬 수 있는 공정 조건의 최저고하 또는 대체게이트 산화막이 적용될 경우, 개발된 연구 결과를 산업체로 이전할 수 있는 가능성이 높을 것을 기대된다.

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