• 제목/요약/키워드: 금 박막

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경사 코팅법으로 제조된 TiN 다층 박막의 특성

  • 송민아;양지훈;박혜선;정재훈;정재인
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2011년도 제41회 하계 정기 학술대회 초록집
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    • pp.270-270
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    • 2011
  • 전이금속(transition metal) 질화물(nitride)은 높은 경도, 내마모성, 부식 저항성 그리고 내열성 등과 같은 우수한 기계적 물성 때문에 많은 연구가 되어 왔다. 이 중 질화 티타늄은 높은 경도, 내식 및 내마모의 우수한 기계적 특성으로 공구(tool)와 같은 제품의 수명 향상을 위한 표면 코팅소재로 사용되어 왔으며, 금(gold)색의 미려한 색상을 이용한 제품의 외관 표면처리와 인체에 무해한 특성을 활용한 정형외과 및 치과용 보형물의 수명 및 안정성 향상 등 다양한 분야에 응용 되고 있다. 본 연구에서는 아크방전을 이용한 경사 코팅법으로 질화 티타늄을 합성하였으며, 경사 코팅에 따른 단층 및 다층 박막(2~3 layer)의 미세조직 변화와 그 물성을 평가하였다. 아크 소스에 장착된 타겟은 120 $mm{\Phi}$, 99.5%의 Ti 타겟을 사용하였고, 시편과 타겟 간의 거리는 약 30 cm이며, 시편은 냉연강판과 SUS를 사용하였다. 시편을 진공용기에 장착하고 ~10-6 Torr까지 진공배기를 실시하고, Ar 가스를 진공용기 내로 공급하여 ~10-4 Torr에서 시편에 bias (Pulse : 400 V)를 인가한 후 아크를 발생시켜 약 5분간 청정을 실시하였다. 플라즈마 청정이 끝나면 시편에 인가된 bias를 차단하고 코팅하였다. 경사 코팅을 위한 시편의 회전각은 45$^{\circ}$, -45$^{\circ}$이며, 질화 티타늄의 두께는 약 3 ${\mu}m$로 동일하게 코팅 하였다. 45$^{\circ}$ 단일층의 경우 0$^{\circ}$ 단일층보다 경도가 감소하나 zigzag 구조의 다층으로 갈수록 45$^{\circ}$ 단일층과 비교하여 확연히 경도가 증가함을 볼 수 있었다. 다층 질화 티타늄의 경사 코팅을 통해 박막의 미세조직 변화를 SEM 이미지를 통해 확인하였으며 증착 방식에 따라 경도, 조도, 반사도 등의 물성 변화가 나타났다. 본 연구에서 얻어진 결과를 이용하여 다양한 형태의 박막구조 제어를 통한 물성변화가 가능할 것으로 예상된다.

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6 MV 광자선과 6 MeV 전자선 하에서 TLD 기판 위에 얹힌 금속 박막의 효과 (The Effects of Metal Plate loaded on TLD chip in 6 MV Photon and 6 MeV Electron Beams)

  • Kim, Sookil;Byungnim Min
    • 한국의학물리학회지:의학물리
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    • 제10권1호
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    • pp.41-46
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    • 1999
  • 본 실험은 의료용 가속기로부터 나오는 6MV 광자선과 6 MeV 전자선을 고체 팬텀위의 LiF 열형광 선량계 (TLD-l00)에 쪼여서 수행하였다. TLD-l00의 방사선 반응감도를 증가시키기 위해 TLD-l00 기판 (표면적 3.2 $\times$ 3.2 $\textrm{mm}^2$) 위에 같은 면적의 금속박막 (주석 혹은 금)을 얹어서 실험하였다. SSD l00cm, 방사선장의 크기 10$\times$10 $\textrm{cm}^2$의 조건 하에서 표면 흡수선량을 측정하였다. 측정결과 각 금속들로 인하여 TLD-l00 의 신호강도가 증강된 것이 관측되었다. 그리고 표면 흡수선량이 방사선량에 따라서 매우 선형적인 값을 가지는 것으로 나타났다 .6 MV 광자선의 경우 1 mm 의 금속박막을 TLD-l00 에 얹은 결과 표면 흡수선량이 각 각 14%, 56% 증가되었다 .6MeV의 전자선의 경우에는 금박막은 TL 반응감도가 13% 증가되었으나 주석의 경우에는 전혀 변화가 없었다. 금속박막을 얹은 TLD-l00의 방사선량 반응감도는 금속박막의 전자 입자밀도에 따라 증가하는 것으로 관측되었다. 이것은 TLD-l00보다 큰 전자밀도를 가진 부가물질(금속박막 )로부터 TLD-l00으로 산란전자가 유입되는 데 기인하는 것으로 보인다. 이 결과로부터 금속박막을 얹은 TL 선량계가 치료광자선용 증폭 선량계로서의 역할을 할 수 있을 것임을 시사한다. 즉 금속박막으로 인해서 TLD-l00 의 방사선 량 반응감도가 증가되었으므로 높은 감도의 보다 작은 TL 선량계의 개발이 가능하게 되었다.

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이송조립기술로 제조된 나노 박막의 기계적인 특성 평가에 관한 연구 (A study on mechanical characterization of nano-thick films fabricated by transfer assembly technique)

  • 최현주;김재현;이상주;이학주
    • 대한기계학회:학술대회논문집
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    • 대한기계학회 2008년도 추계학술대회A
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    • pp.30-34
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    • 2008
  • The transfer assembly (or transfer printing) technique is a promising method for fabricating multi-scale structures on various substrates including semiconductors and polymers, and has been applied to fabrication of flexible devices with superior performance to conventional organic flexible devices. The mechanical behaviors of the structures fabricated by the transfer assembly is a very important information for design and reliability evaluation purpose, but the measurement of the behaviors is difficult since their critical-dimensions are very tiny. In this study, Au films with nano-scale thickness were fabricated on a silicon substrate and their mechanical properties were measured using micro-tensile test. The Au films on the silicon substrate were then transferred to a PDMS substrate using the transfer assembly technique. Self-assembled monolayer (SAM) with a thiol group was used to enhance the transfer of Au films, and the mechanical behaviors were characterized using wrinkle-based test. The test results from micro-tensile and wrinkle-based test are compared to each other, and their implication to the transfer assembly technique is discussed.

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자기조립법을 이용한 전도성고분자 PEDiTT박막의 제조 (Preparation of Conducting Polymer PEDiTT Thin Film Using SAM Method)

  • 손용근;강규식;심창용;최정식;이두연
    • 폴리머
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    • 제26권5호
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    • pp.589-598
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    • 2002
  • 티오펜의 3번과 4번 탄소에 치환기를 보유할 폴리티오펜계 전도성 고분자의 유도체를 얻기위하여 단량체로 ethylenedithiathiophene (EDiTT)을 합성하였다. 생성물을 핵자기 공명법, 적외선 분광법, 자외/가시광선 분광법 등 분광학적인 방법으로 확인하였다. 이 합성의 수율은 29%였다. 이 단량체를 중합하여 전도성 고분자 poly(3,4-ethylenedithiathiophene)(PEDiTT)을 합성하였다. 중합을 위하여 FeCl$_3$를 이용하였으며, 생성물은 매우 짙은 청록색을 나타내었으며 $N_2$H$_4$로 환원시키면 갈색으로 변한다. 이 갈색의 고분자는 몇 가지 유기용매에 대한 용해성이 매우 높았다. 이 고분자의 분광 전기화학 특성을 조사하여 확인하였다. 이 PEDiTT은 NMP에 특히 잘 용해되는 성질을 나타내어, PEDiTT/NMP 용액과 금 전극을 이용하여 단분자성 박막(SAM)을 제조하였다. 전기화학 방법 및 적외선 분광법을 이용하여 이 박막의 형성을 확인할 수 있었다.

표면 플라즈몬 공명 센서에서의 쌍금속 은-금 박막 구조의 광학 특성 (Optical Characteristics of Bimetallic Silver-Gold Film Structure in Surface Plasmon Resonance Sensor Applications)

  • 권혁록;이성혁
    • 전기학회논문지
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    • 제56권1호
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    • pp.156-160
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    • 2007
  • Surface plasmon resonance(SPR) has been widely studied for biological and chemical sensing applications. The present study conducts numerical simulation for the single and bimetallic layer SPR configurations by using the multiple beam interference matrix(MBIM) method to investigate the influence of wave interference and complex refractive indices of materials on optical characteristics such as reflectance and optical phase shift which are used for sensing. First, calculated reflectances are compared with experimental data for validation. In addition, in the single film structures this study finds out the appropriate film thicknesses with minimum reflectance for cases of gold film and silver film. For a bimetallic silver-gold film structure, in particular, the bimetallic film thicknesses that has the minimum reflectance are found 36 nm for silver and 5 nm for gold. From the results, the use of phase shift would be useful compared to reflectance in determining the SPR configuration because the phase shift becomes more sensitive than reflectance.

나노스케일의 금속 나노빔 시험편 제작 및 이를 이용한 금 박막 나노 구조물의 기계적 물성 평가 (Fabrication of Nanoscale Metal Nanobeam Specimens and Evaluation of the Mechanical Properties of Gold Thin Film Nanostructures)

  • 백창욱;현익재
    • 전기학회논문지
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    • 제56권7호
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    • pp.1294-1297
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    • 2007
  • In this paper, fabrication techniques for nanoscale metallic nanobeam specimens have been proposed, and mechanical properties of the fabricated gold nanobeams have been evaluated by nanoindentation techniques and nanobeam bending test. Elastic modulus and hardness of gold nanobeams were measured to be $109.6\;{\pm}\;10\;GPa\;and\;1.73\;{\pm}\;0.3\;GPa$, respectively, from the nanoindentation test, while elastic modulus was $241\;{\pm}\;7\;GPa$ from the nanobeam bending test.

광섬유 표면 플라즈몬 공명 센서를 이용한 스트레인 및 온도 측정 (Measurement of temperature and strain using fiber-optic surface plasmon resonance sensor)

  • 정재훈;김민욱
    • 전기전자학회논문지
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    • 제11권2호
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    • pp.77-82
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    • 2007
  • 본 논문에서는 광섬유 표면 플라즈몬 공명 센서를 이용하여 스트레인 및 온도 변화에 따른 센서를 제시하였다. 광섬유 센서의 구조는 광섬유의 클래딩 일부를 제거하여 크롬, 은, 금을 증착한 다층 박막 구조를 모델로 하였고, dip 파장의 변화가 선형성을 보임으로써 효율적인 센서로의 활용 가능성을 보이고자 한다.

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주사형 마이크로프로브 현미경과 나노테크놀로지 (Nanotechnology and scanning microprobe microscopy)

  • 장상목;;권영수
    • E2M - 전기 전자와 첨단 소재
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    • 제9권6호
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    • pp.616-625
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    • 1996
  • 본 고에서는 최첨단 주사형 마이크로프로브현미경의 최근동향에 대해 기술하고자 한다. SNOAM의 관찰분야에의 응용이라는 관점에서 광학소자, 반도체재료, 유기박막등의 미소영역에의 광학특성의 관찰이외에 생물분야에서는 형광표식한 시료의 형상상과 형광상의 대비에서 세포나 생체고분자의 기능 해명에도 이용 가능하다고 생각된다. 또한 광가공기술에의 응용이나 기억소자 기술에의 응용도 고려되어져 금후의 응용분야에의 발전이 기대된다. 다가오는 21세기 정보화사회에서는 분자.원자를 제어하는 기술이 중심기술이 될 것으로 확신되고 있다. 그러나 현재 우리주변 기술로서 분자. 원자를 단위로 하는 평가, 분석 기술은 거의 찾을 수 없다. 따라서 주사형 마이크로 프로브 현미경은 Nano-technology로서 장래 정보화사회에 중요한 평가.분석기술의 하나로서 정착될것으로 생각된다.

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금/YBCO 박막에서의 quench 저항 발생 (Resistance development in Au/YBCO thin film meander lines during quench)

  • Kim, Hye-Rim;Choi, Hyo-Sang;Lim, Hae-Ryong;Kim, In-Seon;Hyun, Ok-Bae
    • 한국초전도학회:학술대회논문집
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    • 한국초전도학회 2000년도 High Temperature Superconductivity Vol.X
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    • pp.252-256
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    • 2000
  • We investigated resistance development in Au/YBCO thin film meander lines during quench. The meander lines were fabricated by coating YBCO films insitu with a gold layer and patterning them by photolithography. The center stripe quenched fastest even though the flux flow resistance that appeared upon the current passing the critical current was uniform. Quench started at an area of the center stripe and propagate both through the gold layer and the sapphire substrate. Quench propagation speed was uniform and 60 cm/s at 30 V$_{rms}$.

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Zr-Al-Cu계 나노구조 코팅재 설계개발 및 윤활마찰거동 조사 (Development of the coating materials consisting of Zr-Al-Cu for nano structured coating and investigation of their friction behavior)

  • 신승용;문경일;선주현
    • 한국표면공학회:학술대회논문집
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    • 한국표면공학회 2014년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.17-18
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    • 2014
  • 최근 자동차 성능 및 연비향상을 위해서 엔진의 고출력화 및 소형화 경향이 뚜렷해지고 있으며, 이로 인해 엔진내부의 부품이 받는 환경은 더욱 가혹해 지고 있다. 즉, 자동차 엔진 구동부품은 금속간의 접촉가능성이 매우 높은 경계윤활조건에 놓이게 되며, 또한 배기가스 규제로 인한 첨가제를 최소화 하려는 경향에 따라 경계윤활 환경에서 더욱 심한 마모문제에 직면할 것으로 예상되어 내구성 및 내마모성이 높은 코팅기술에 대한 요구가 더욱 증가하고 있다. 본 연구에서는 Zr기지의 비정질 형성능을 갖는 합금계를 이용하여 아르곤 및 질소분위기에서 스퍼터링 함으로써 고경도의 ZrN상과 엔진오일과 반응하여 저마찰 트라이보 필름을 형성시킬 수 있는 금소계 원소가 Tissue phase로 존재하는 질화물 나노박막합성기술을 개발한 후 자동차 구동부품인 벨브트레인계 및 피스톤링/라이너 부품에 적용하여 마찰특성을 평가하였다.

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