• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
• /
• v.20 no.5
• /
• pp.39-39
• /
• 2003

As the design rules in semiconductor manufacturing process become more and more stringent, the higher degree of planarization of device surface is required for a following lithography process. Also, it is great challenge for chemical mechanical polishing to achieve global planarization of 12” wafer or beyond. To meet such requirements, it is essential to understand the CMP equipment and process itself. In this paper, authors suggest the velocity distribution on the wafer, direction of friction force and the uniformity of velocity distribution of conventional rotary CMP equipment in an analytical method for an intuitive understanding of variation of kinematic variables. To this end, a novel dimensionless variable defined as “kinematic number” is derived. Also, it is shown that the kinematic number could consistently express the velocity distribution and other kinematic characteristics of rotary CMP equipment.

• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
• /
• v.20 no.5
• /
• pp.29-38
• /
• 2003

As the design rules in semiconductor manufacturing process become more and more stringent, the higher degree of planarization of device surface is required for a following lithography process. Also, it is great challenge for chemical mechanical polishing to achieve global planarization of 12” wafer or beyond. To meet such requirements, it is essential to understand the CMP equipment and process itself. In this paper, authors suggest the velocity distribution on the wafer, direction of friction force and the uniformity of velocity distribution of conventional rotary CMP equipment in an analytical method for an intuitive understanding of variation of kinematic variables. To this end, a novel dimensionless variable defined as “kinematic number” is derived. Also, it is shown that the kinematic number could consistently express the velocity distribution and other kinematic characteristics of rotary CMP equipment.

• Journal of the korean Society of Automotive Engineers
• /
• v.24 no.5
• /
• pp.98-103
• /
• 2002

이제 카트 정렬과 휠 셋업에 필요한 최적의 변수들을 알아보았다. 실제 세팅은 위에서 언급한 내용 이외에도 많은 것들을 고려하여야 한다. 타이어 접지력의 세팅은 경기장, 날씨, 제품의 불 균일성 등을 고려하여 야 한다. 즉, 어떤 경기장은 코너의 반경이 다른 경기 장 보다 크며 어떤 경기장은 코너가 매우 많기도 하여 세팅을 상황에 맞게 하여야 하는 것이다. 각각의 변수를 세팅할 경우는 중간 값을 취하는 것이 바람직하여 이 중간 값을 취하는 것이 바람직하며 이 중간 값을 각각의 경기장의 특성에 맞추어 변화시키면 되는 것이다. 예를 들면, 접지력이 작게 발생되는 경기장(혹은 매우 추운날씨) 에서는 캐스터를 코기 하여 초기 회전 발생이 용이하게 할 수도 있다. 또한 토우인 값을 크게 하여 타이어가 마찰을 더욱 많이 발생하여 타이어의 온도가 급격히 상승하여 원하는 접지력의 수준에 용이하게 도달할 수 있게 하는 것이다. 그러나 이러한 세팅은 다른 핸들링 문제를 야기할 수 있다는 것을 이해하여야 하며 이러한 문제를 해결하는 또 다른 노력이 필요하게 되는 것이다. 가장 중요한 것은 후륜 내측으로부터는 조종 성능을 향상시키는데 필요한 접지력을 거의 기대하지 못한다는 것이며 마찰이 적게 발생하여 손쉽게 동력 손실을 초래하고 있다는 것이다. 그러므로 회전을 할 경우에도 속도를 낮추어서는 안되며 이렇게 하이야 핸들링이 매우 용이하게 되는 것이다. 그러나 위의 설명에서도 보았듯이 일부 세팅을 변경하면 여러 곳이 그 효과가 나타난다. 예를 들어 후륜의 간격을 변화시키면 카트에서 무게이동 뿐만 아니라 회전 시에 가속이나 감속에 의한 회전 토크의 효과도 달라지게 된다. 특정한 세팅의 변화가 어떻게 작용할 것이라는 확신을 가지고 있다고 할지라도 세팅에서 가장 중요한 것은 주행 기록이다. 여기서 설명되어진 많은 내용이 주행 기록을 향상시키기를 바라는 바이다.간이 육색과 총육색소 함량에는 영향을 미치지 않는 것으로 나타났다. 관능적 특성평가 중 육색과 육즙참출은 대조구와 비교하여 CLA급여 처리구가 유의적인 차이가 없었으나, 근내지방 축적 정도와 전체적인 기호성은 대조구에 비하여 CLA 급여 처리구가 유의적으로 높은 평가를 받았다(p<0.05). 간격은 술 후 1년 후까지도 지속적으로 감소하는 경향을 보였다. 따라서 이 기간동안에는 추적관찰이 필요한 것으로 생각된다.경미하게 나타났으며, 이는 2% 흥국 첨가식이의 섭취로 인한 bromobenzene 대사 및 유해산소 해독의 촉진에 기인되기 때문일 것으로 생각된다.다.과 및 지질과산화억제효과의 순과 일치하였다. 총 flavonoid 함량은 DPPH 라디칼 제거효과에 대한 $IC_{50}$/ 값과 높은 상관관계(r=-0.9924, p<0.01)를 나타내었다.이 우수한 심근보호 효과를 나타내나, 허혈시간이 2시간을 초과하면 심근의 혈역학적 기능과 미세구조의 변화는 중등도의 저온(22∼24$^{\circ}C$)에서 유의하게 악화되었다. 이 같은 결과로 볼 때 심근 허혈시간이 2시간을 초과한다면 심근 온도를 낮추어야 할 것으로 판단된다. 7.2, with 64.0% of office workers having an average level between 6- and 9. The degree of stress was higher for females than males, for unmarried salaried and hot-tempered persons. Those not doing exercise were subject to the highest levels of stress, and those a having sufficient sleep were found to be subject to less stress.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
• /
• 2012.02a
• /
• pp.95-95
• /
• 2012

스터퍼링 기술이 1852년 Grove에 의해서 최초 발견되어 1979년 Chapin에 의해서 planar magnetron cathode 개발로 진공코팅기술의 새로운 영역을 열게 되어 현재까지 디스플레이, 반도체, 태양전지, 광학산업 및 전자부품 등 나노 산업에 필수적으로 적용되고 있다. 스퍼터링 입자는 운동량 전달에 의한 것으로 운동량을 갖는 나노 스퍼터링 입자는 기판에 대한 박막의 부착력이 우수하고 대면적에 균일하고 재현성 있게 성막되는 특징을 갖고 있다. 마그네트론 스퍼터링 기술이 산업에 응용되면서 주로 4분야에서 많은 연구, 개발이 되어져 왔다. 첫째는 타겟의 고순도 및 고밀도화와 더불어 가격이 고가로 됨에 따라 타겟 사용효율의 향상이다. 플라즈마를 발생시키는 캐소드의 자기회로를 1차원, 2차원 및 회전운동을 통해서 사용효율을 향상시키고 있다. 둘째는 기판에 대해서 박막특성이 균일하도록 코팅하는 것이다. 디스플레이에서는 글래스 기판이 대면적으로 됨에 따라서 핸들링이 어려워져 여러 개의 캐소드 자기회로를 선형적으로 이동시켜 박막두께분포를 최적화하며 반응성 가스를 사용해서 균일한 특성의 박막을 제작하는 경우에는 가스분사관과 배기펌프계의 기하학적 위치 및 가스 유동학적 해석이 필요하다. 셋째는 스퍼터링 입자의 이온화로 의한 박막의 특성향상과 반도체 trench의 높은 aspect ratio hole을 채우는 것이다. 이온화 방법으로는 inductively coupled plasma (ICP), microwave amplified (MA), high power impulse (HIPI), hollow cathode magnetron (HCM), self-sustained sputtering 등이 사용되어져 왔으며 최근에는(neutral beam-assisted sputtering (NBAS)에 의한 박막특성향상 방법이 발표되고 있다. 넷째는 플라즈마 및 박막두께 시뮬레이션에 대해서 많은 발표가 되고 있다. 본 발표에서는 상기의 4 분야를 포함한 향후 개발방향에 대해서 소개할 예정이다.

• Journal of Korean Ophthalmic Optics Society
• /
• v.7 no.2
• /
• pp.1-11
• /
• 2002

A mathematical model is proposed to analyze the force; acting on the hard contact lens fitted on the cornea. The model incorporates the nonlinear equations and their numerical solution program, based on the formulations of surface tension force arising from the capillary action in the tear-film layer between the lens and cornea. The model simulates how the adhesion between lens and cornea varies according to the base curves and diameters of the lenses. When the spherical lens is fitted on the spherical cornea it is to rotate downward due to the weight of lens itself until it reaches an equilibrium position along the cornea where the counter(upward) moment caused by net force between the upper and lower portion of the periphery of lens. It is found that both the adhesion and displacement of lens along the cornea, where the gravity of lens balances the capillary-induced upward force, increases rapidly as the base curve of lens increases, i.e., as the lens gets flatter, while the increase in the diameter of lenses has resulted in the less increase in the rotation and adhesion. With the base curve and diameters of lenses being remained constant the increase in surface tension of tear film yields the increase in the adhesion between the cornea and lens while the initial rotation of lens is inversely proportional to the surface tension of the tear film.

• Clinics in Shoulder and Elbow
• /
• v.13 no.1
• /
• pp.53-57
• /
• 2010

Purpose: The goal of this study was to evaluate differences in strength deficits between (i) patients with stage 1 or 2 impingement syndrome and (ii) patients with rotator cuff tears. Materials and Methods: We enrolled 43 patients with stage 1 or 2 impingement syndrome (group 1) and 21 patients with rotator cuff tears (group 2). The isokinetic strength of both groups was evaluated at $60^{\circ}/sec$ for external rotation, internal rotation, adduction and abduction. We measured the peak torque, total work, average power of bilateral sides, peak torque relationship to body weight, and the ratio between unilateral agonist and antagonist. Results: The isokinetic strength deficits assessed in ratio of peak torque to body weight for group 1 and group 2 respectively were; $28.48{\pm}23.76%$ and $29.12{\pm}32.81%$ for abduction (p=0.929), $7.20{\pm}13.98%$ and $18.94{\pm}19.52%$; for adduction (p=0.021), $16.88{\pm}13.76%$ and $25.80{\pm}24.07%$; for external rotation (p=0.221), and $14.1{\pm}25.67%$ and $29.02{\pm}35.06%$ for internal rotation (p=0.059). For average power and total work, group 2 showed a significantly greater deficit for adduction and internal rotation than group 1. Conclusion: Those with rotator cuff tears have more isokinetic muscle strength deficits than those with stage 1 or 2 impingement syndrome. Progression from stage 1 and 2 impingement syndrome to stage 3 may result in greatest changes in strength deficits for internal rotation and adduction.

• Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
• /
• v.4 no.1
• /
• pp.46-56
• /
• 1994

The characteristics of flows, temperatures, concentrations of the boron are numerically studied when uniform axial magnetic fields are applied in the Czechralski crucible. The to governing factors to the flow regimes are buoyancy, thermocapillarity, centrifugal forces, magnetic forces, diffusion coefficient and segregation coefficient of the boron. Since the concentration of the boron is so low that buoyancy effects are negligible, it cannot affect the flow and temperature fields. From the fact that the flow fields are rotationally symmetric, two velocity components in the meridional plane and the circumferential velocity are calculated together with the temperature in the steady state. Based on the known velocity and temperature distributions the unsteady concentration distributions of the boron are calculated. As the strength of the magnetic is increased, the flow velocities are decreased. Circumferential velocities are large near the crucible side-wall and in the region below the rotating crystal. Steep temperatures gradient near the edge of the rotating crystal causes the Marangoni convection. It has been found out that the convection characteristics affects the unsteady transport phenomena of the boron.

• The Sea:JOURNAL OF THE KOREAN SOCIETY OF OCEANOGRAPHY
• /
• v.5 no.2
• /
• pp.77-85
• /
• 2000

Simulation of local external forcing and its response in the rotation table experiment has been investigated. Spatially-uniform external forcings have been applied in many experimental studies, however, based on the fact that the north-south distribution of the wind-stress curl and the existence of local maximum of the sea surface heat loss in the northern part of the East Sea, new method of combined effects of local forcings has been employed in separate experiments. Carefully designed local source or sink at the bottom of the cylindrical container can produce horizontal pressure gradient within the Ekman layer, and consequently the interior also attains the same pressure gradient that produces geostrophic interior circulation. In order to keep free surface during the local-surface cooling, a side-wall cooling method is suggested. For the various type of local forcing including the effects local cooling and the periodic change of local wind-stress curl, western-boundary flow in terms of its strength, position of separation from the boundary have been observed.

• Proceedings of the Korean Society for Emotion and Sensibility Conference
• /
• 2001.05a
• /
• pp.82-87
• /
• 2001

본 연구에서는 PET 직물의 물성개선과 품질의 향상을 위해 직물 제조 공정 중 제직준비공정인 1TY, P/W, 2-FOR-1공정에서 여러 가지 공정인자의 변화를 주어 염색·가공 공정을 거친 최종 11가지 직물의 역학적 특성치 및 각 공정별 시료의 물성을 측정하여 의류의 감성특성은 Handle, 의복성능 및 봉제성을 평가하여 직물 제조 공정특성이 의류 감성에 미치는 영향에 대해 분석하였다. 그 결과 1TY, P/W, 2-for-1공정에서 균일하고, 안정된 장력으로 제조한 직물은 신축성 및 drape성이 장력이 과다하게 주어진 직물보다 우수하고, 의류봉제시 신장성이 양호한 봉제 범위를 가져 의복 착용시 감성면에서 부드럽고 쾌적한 성능을 가진다. 그리고 공정에서 고장력, 고속의 spindle 회전은 사물성 및 직물의 물성변화를 야기시키고 교략강도의 불안정성으로 최종 직물에서 유연성과 탄력성 및 volume감이 떨어지는 의류촉감을 가지며 또 stiff한 의류 감성을 나타냄으로서 의류용 소재로는 부적당함을 확인하였다.

• Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea SD
• /
• v.45 no.2
• /
• pp.13-20
• /
• 2008

This paper describes the methods of spacer-fabrication for wafer-level CIS(CMOS Image Sensor) assembly. We propose three methods using SU-8, PDMS and Si-interposer for the spacer-fabrication. For SU-8 spacer, novel wafer rotating system is developed and for PDMS(poly-dimethyl siloxane) spacer, new fabrication-method is used to bond with alignment of glass/PDMS/glass structure. And for Si-interposer, DFR(Dry Film Resist) is used as adhesive layer. The spacer using Si-interposer has the strongest bonding strength and the strength is 32.3MPa with shear.