• Korean Journal of Optics and Photonics
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• v.3 no.1
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• pp.16-19
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• 1992

The Fourier transform spectra of a grating have been employed to determine the refractive index of a simple lens. The shearing interferometric technique is used for collimation testing of the expanded laser beam and for determining the exact focal plane. The slit attached to micro X-Y translator has been used to measure the distance between two sucessive diffraction orders in the back focal plane of the test lens. The experimental equipment is described and results are presented.

• Korean Journal of Optics and Photonics
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• v.23 no.4
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• pp.135-142
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• 2012

We have developed a measurement method of the refractive index profile of an optical fiber by using diffraction phase microscopy. In the microscope system, the reference light was extracted directly from the probe light that passed through the sample by means of pinhole filtering with a diffraction grating. The spatial interference pattern produced by the probe light and the reference light was processed to generate the phase image of the sample fiber. The index profile was obtained by the inverse Abel transform of the phase profile. In order to remove the background phase that originated from the index difference between the cladding and the surrounding medium, the background phase was calculated from the phase data of the cladding to make a core phase profile that can be directly transformed to the index profile of the core without the full phase image that includes the entire cladding part.

• Korean Journal of Optics and Photonics
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• v.28 no.6
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• pp.334-338
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• 2017

This research aims at investigating science teachers' perception of the refractive index of materials, and thus achieving proper information transmission and teaching of refractive index. Specifically, we have made questionnaires on what physical factors influence the refractive index of a liquid easily available in secondary schools. It was found that 80.0% of science teachers perceived that the density has the greatest influence on the refractive index, among a variety of factors such as molecular structure, the number of molecules per unit volume, mass of each molecule, and the wavelength of light, to mention just a few. This may be due to the fact that current textbooks deal with the refraction of light based on analogy to a mechanical wave. Such a misunderstanding may lead to confusion and misunderstanding for students.

• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2009.06a
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• pp.148-148
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• 2009

반도체 소자의 크기가 45 nm 이하로 감소함에 따라 최소 선폭에 따른 다층 배선 연결 구조가 요구되고 있다. 그러나 고집적화 구조는 기생 저항과 정전 용량에 의한 신호지연증가 및 혼선 전력 소모의 문제가 발생한다. 이런 문제를 해결하기 위한 방법 중의 하나는 저저항 배선연결물질과 층간 절연막으로 저유전 상수를 갖는 물질을 사용하는 것이다. 본 연구는 DEMS $(H-Si(CH_3)(OC_2H_5)_2)$ 전구체를 이용하여 저유전막을 증착할 때 사용되는 PECVD (plasma enhanced chemical vapor deposition) 장비를 국내 기술로 개발하고 개발된 장비로 저유전박막을 평가한 것에 관한 것이다. 본 연구에서 평가 및 박막 종확 시 사용한 장비는 MAHA hp 1 type ((주)아토)로서 양산용 PECVD 장비이다. 변수는 C-He의 유랑, 300 mm Si 웨이퍼와 shower head 사이의 거리, 증착 압력, 구동 전력이고, 증착된 저유전막의 두께, 두께의 균일성, 굴절률, 굴절률의 균일성를 평가하였다. 구동 전력이 500W 일 때, C-He의 유량과 진공의 크기를 감소시키면 박막의 두께가 감소하고 박막의 균일성은 증가하였다. C-He의 유량을 증가시키고 shower head 와 Si 웨이퍼 사이의 거리 및 구동 압력을 감소시키면 굴절률과 굴절률의 균일성이 모두 저하되었다. 구동 전력이 700W 일 때, 박막 두께의 경우, 구동 전력이 500W 일 때의 결과와 유사하지만, 박막의 균일성, 굴절률, 굴절률의 균일성은 모든 조건에서 저하되었다.

• Korean Journal of Optics and Photonics
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• v.33 no.4
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• pp.159-166
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• 2022

We measured the thickness and refractive index of a thin film using a double-slit diffraction experiment. The amount of phase step in the transmitted light generated by the thin film on the transparent substrate was measured by analyzing the diffraction pattern from the double slits. Experiments were conducted not only in air but also in distilled water, to determine thickness and refractive index simultaneously. To verify the validity of this method, we compared our values for thickness and refractive index to those measured using the well-established waveguide-coupling method. The suggested method is expected to be applied as a new method to simultaneously measure the thickness and refractive index of thin films, along with existing methods.

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2009.10a
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• pp.233-234
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• 2009

증착된 silicon nitride (Sin) 박막의 수명 시간을 예측하는 신경망 모델을 개발하였다. SiN 박막은 플라즈마 화학기상 증착방식을 이용하여 증착되었다. 증착 공정은 통계적인 실험계획표를 이용하여 수행되었고, 신경망 모델의 예측 성능은 유전자 알고리즘을 이용하여 최적화하였다. 수명시간은 다른 박막특성 (굴절률, 증착률, 전하밀도)의 영향을 상당히 받았으며, 특히 굴절률과 전하밀도는 높은 증착률에서 증가시킬 때 수명시간을 최대화할 수 있었다.

• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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• 2001.02a
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• pp.254-255
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• 2001

매질의 공진주파수 근처에서는 주파수가 커짐에 따라 매질의 굴절률이 감소하는 비정상 분산 특성을 나타낸다. 본 실험에서는 세슘원자의 비정상 분산 특성을 실험적으로 관측할 수 있는 방법을 연구하였다. 가열된 세슘원자셀(16$0^{\circ}C$)에 CS D$_2$ 전이선에 공진되는 레이저빔을 입사하여 레이저의 주파수에 따른 레이저빔의 굴절각도를 측정하였다(그림1) 레이저빔의 굴절각의 변화를 용이하게 측정하기 위해 원자셀 벽에 굴절률이 1.5 인 프리즘을 장착하고 원자빔을 전반사의 임계각보다 조금 작은 각도로 입사하여 투과광의 굴절각을 측정하였다. (중략)

• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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• 2000.02a
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• pp.312-313
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• 2000

공간솔리톤(spatial soliton)은 빔이 매질을 진행할 때 자기집속 효과(self-focusing effect) 와 자기확산 효과(self-defocusing effect)에 의해서 회절이 보상되어 형성된다. Kerr 매질에서는 굴절률의 변화가 빔의 세기에 비례하하므로 솔리톤을 발생시키기 위해서는 수 MW/$ extrm{cm}^2$ 이상인 빔의 세기가 요구된다. 광굴절 매질은 광굴절효과에 의해서 굴절률의 변화로 공간솔리톤을 발생시킨다. 비균일한 빔이 매질에 입사되면 전도대로 여기된 free carrier가 분포 차이에 의해서 확산이 일어나게 된다. 그리고 외부에서 걸어준 전기장 및 광기전력 효과로 인한 drift가 일어나게 되고 이것에 의해 생긴 공간 전하장(space charge field)에 의하여 굴절률의 변화가 생긴다. (중략)

• Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology
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• 2006.05a
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• pp.211-215
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• 2006

평면 광도파로 코어로 사용되는 SiON (Silicon oxynitride)과 클래딩으로 사용되는 $SiO_2$ (Silicon oxide)의 굴절률 차이가 2.5 %인 고굴절률차 평면 광도파로용 SiON 박막을 PECVD (plasma enhanced chemical vapor deposition)로 제작하였다. PECVD에 사용된 가스는 $SiH_4,\;NH_3,\;N_{2}O$이고, Si 기판의 $SiO_2$ 막은 100 nm이다. 가스의 비율에 따라 SiON 막의 굴절률은 633 nm의 파장에서 1.476에서 1.777까지 변화하였다. 코어로 사용되는 SiON의 두께는 $2.5{\mu}m$이고 클래딩과의 굴절률 차이는 2.5 %였다.

• Electrical & Electronic Materials
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• v.6 no.5
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• pp.428-434
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• 1993

유기물 중에서 광기능성을 가지는 벤젠, 비닐 피리딘 및 스티렌 단량체를 채택하였다. 내정전결합 유동가스형 중합장치를 사용하여 플라즈마 박막을 제조하였으며 이들의 광학특성을 분석하였다. 중합시간, 압력 및 단량체 유량을 일정하게 유지하고 방전전력을 증가시키면 스티렌 박막의 중합률은 선형적으로 증가하나 벤젠 및 비닐 피리딘 박막의 증합률은 비선형적으로 증가한다. 그리고 파장이 변화에 따른 굴절률은 1.55~1.65 정도를 나타냈다. 박막의 굴절률은 방전전력의 증가에 따라 감소하게 된다. 또한 굴절률의 변화에 대한 소멸계수(K)의 계산이 $10^{-3}$정도의 범위에 있으므로 측정 결과가 타당함을 알 수 있다.