• Korean Journal of Optics and Photonics
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• v.8 no.4
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• pp.255-259
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• 1997

In this paper, the result of a performance study on a home-built spinning disk type confocal microscope is presented. The confocal microscope was fabricated with a Nipkow disk made of the made of the microfilm. The throughput of the disk was 0.5%, allowing the observation of specimen with higher reflectivities only. A laser diode at 692.7nm was used as the light source. The topographic structures of a PC ROM and the CD ROM were observed with sufficient reliability, while the effect of the convolution of the beam size with the finite object size was found dominant. Also the shadowing effect by the etched pattern was observed.

• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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• v.14 no.11
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• pp.118-125
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• 1997

Non-contacting optical microscopes are increasingly used in recent industrial applications of probes for coordinate measuring machines. They have been found more efficient than conventional touch trigger porbes with ball tips especially in inspecting small-sized objects. There are two major factors affecting measuring accuracy: (1) geometric relations between coordinate systems, (2) magnification ratios of a microscope. In order to determine the magnification ratios exactly, optical imaging of edge was theroretically analyzed and practically adopted to image processing for edge detection. In addition, this paper proposes a geometric calibration method to obtain exact coordinates of measured points from the relations between the machine coordinate system and the image. In the method, the error according to the squareness between the machine axises was also removed. The method was practically adopted to a real coordinate measuring machine. An ultraprecision measurement of 0.2 um uncertainty can be practically achieved.

• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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• v.22 no.12 s.177
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• pp.7-15
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• 2005

• 한국전자현미경학회:학술대회논문집
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• 2001.05a
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• pp.23-24
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• 2001

• 한국전자현미경학회:학술대회논문집
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• 2001.11a
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• pp.31-32
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• 2001

• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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• 2002.07a
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• pp.124-125
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• 2002

근접장 광학 탐침은 근접장 광학 현미경의 핵심요소이다. 매우 다양한 탐침이 제작되어 사용되고 있지만 이 가운데에서 실제로 널리 사용되는 근접장 탐침은 잡아끌거나 식각하는 방식으로 첨단부를 뽀족하게 한 후 수십 내지 수백 나노미터 직경의 개구 만을 남겨두고 금속 코팅한 광섬유 탐침이다. 그러나 광섬유 근접장 탐침은 잘 알려져 있는 몇가지 단점이 있다. 우선 20~30$^{\circ}$ 의 각도로 뽀족해지는 기하학적인 모양과, 깨지기 쉬운 유리 재질로 제작된 데 기인하여 내구성이 떨어진다. (중략)

• The Optical Journal
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• s.100
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• pp.18-20
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• 2005

오늘날 레이저는 광통신망을 통한 인터넷 전송과 같은 통신분야, 반도체에서의 포토리소 그라피와 같은 제조 및 가공분야, 분광분석 및 원자력간 현미경과 같은 계측분야 등 다양한 영역에서 산업 및 과학기술 발전을 위해 필수불가결한 도구가 되었으며, 레이저의 응용은 앞으로 첨단기술 분야를 중심으로 지속적으로 확대되어 갈 것으로 기대된다. 이와 같이 첨단기술의 핵심요소인 레이저 및 이의 응용에 필요한 기초광학에 대한 이해는 관련기술의 발전과 폭 넓은 응용기술 개발을 위해 필수적인 것으로 사료된다.

• Korean Journal of Optics and Photonics
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• v.18 no.5
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• pp.303-308
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• 2007

We report here on the application of a digital holographic microscope as a metrology tool for the inspection and the micro-topography reconstruction of different micro-structures of phase shift photo-mask (PSM). The lithography by phase shift photo-mask uses the interference and the pattern of the PSM is not imaged by general optical microscope. The technique allows us to obtain digitally a high-fidelity surface topography description of the phase shift photo-mask with only one hologram image acquisition, allowing us to have relatively simple and compact set-ups able to give quantitative information of PSM.

• Journal of the Korean Magnetics Society
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• v.27 no.1
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• pp.35-40
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• 2017

Kerr microscopy was assembled to observe magnetic domain image of ultra thin 3 %Si-Fe by using parts of an optical microscope. Digital images were obtained from CCD camera attached to the microscopy. A method was suggested to decide a boundary between magnetic domain regions in this study. The method was using some operations such as subtraction, integration and least mean square approximation for pixel values in the digital image. The method has a strong point that high priced image processor is not needed in the Kerr microscopy system. From the results that three different domain walls were observed and magnetic flux density of 0.085 [T], this method could be applied in the magnetic domain regions having a straight $180^{\circ}$ domain wall.

• Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology
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• 2006.10a
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• pp.1-4
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• 2006

공초점 자가 간섭 현미경은 측정 광학계에 복굴절 물질을 사용하여 반사된 빛에 대해 간섭 현상을 일으키는 것을 특징으로 한다. 이 간섭을 자가 간섭이라고 부르는데, 이는 시편의 한 점에서 반사되어 나온 빛이 간섭을 일으키기 때문에 붙여진 이름이다. 공초점 자가 간섭 현미경의 점 확산 함수는 종래의 공초점 현미경의 점 확산 함수와 자가 간섭의 곱으로 나타나며, 자가 간섭의 주기가 종래의 공초점 현미경의 점 확산 함수의 중심폭보다 작은 경우 점 확산 함수의 중심폭이 작아져서 수평 방향으로의 분해능이 향상되게 된다. 이러한 분해능 향상 정도를 측정하기 위하여 지름이 100nm 인 금으로 된 비드를 사용하였다. 측정된 결과는 전산모사한 결과와 잘 일치하며 공초점 자가 간섭 현미경에서 2배의 분해능 향상을 보여준다.