• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
• /
• 2003.07a
• /
• pp.178-179
• /
• 2003

가스 상태의 반응 공정을 이용하는 반도체, 플라즈마, 연소 및 촉매를 이용한 유해가스처리와 대기환경 등에서는 반응을 주도하는 활성기(radical)의 역할 그리고 극미량(sub-ppm 수준)으로 존재하는 유해가스 성분등을 실시간으로 추적하는 것은 매우 중요하다. 현재 사용되고 있는 비 광학적 미량 가스 측정 장비들은 측정 대상 가스성분과 측정 장치의 프로브 사이의 물리적인 접촉이 요구되므로 감지시간이 늦고, 프로브 오염에 따른 hysteresis, 회복시간(recovery time)의 지연, 활성(부식성) 가스 샘플에 의한 감지기능 저하 등을 유발한다. (중략)

• Korean Journal of Optics and Photonics
• /
• v.19 no.2
• /
• pp.103-107
• /
• 2008

Unlike conventional optical coherence tomography systems based on Michelson interferometer, we suggest a common-path OCT system, which does not include a separated configuration between reference signal and sample signal. We optimize the refractive index of partial reflecting probe to induce a balanced intensity of the reference signal. At the end of the probe, convex lens was optimally fabricated to get images of biological samples in the position of focus. Using the experimental system, we could get 2-D images of various biological samples.

• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
• /
• 2001.08a
• /
• pp.148-149
• /
• 2001

• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
• /
• 2005.07a
• /
• pp.302-303
• /
• 2005

• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
• /
• 2009.02a
• /
• pp.313-314
• /
• 2009

• The Optical Journal
• /
• s.103
• /
• pp.62-70
• /
• 2006

본고에서는 근접장 분광분석을 중심으로 측정원리나 개요를, 특히 다른 고공간분해측정 방법과 비교하면서 정리한 후 근접장광을 발생시키는 광학소자인 근접장 프로브와 근접장 분광측정을 하기 위한 시스템을 소개하겠다. 그리고 그 측정예로써 액정 등에 이용되고 있는 컬러 필터의 분석예 및 반도체 등의 제조과정에서 문제가 되는 매우 작은 유기계 이물의 측정예를 나타냈다.

• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
• /
• 2007.02a
• /
• pp.104-105
• /
• 2007

• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
• /
• 2008.02a
• /
• pp.269-270
• /
• 2008

• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
• /
• 2008.07a
• /
• pp.293-294
• /
• 2008

• Korean Journal of Optics and Photonics
• /
• v.13 no.4
• /
• pp.314-318
• /
• 2002

We examine the adjustment of the semiconvergent angle and current for the miniaturized micro column working at low voltage but producing maximized current. Our study shows that the minimum electron beam sizes are 10 ㎚ for the cold field emitter (CFE) and 20 ㎚ for the thermal field emitter (TFE) at a given condition.