• Title/Summary/Keyword: 광결정 소자

Search Result 218, Processing Time 0.033 seconds

MOCVD growth of GaN and InGaN in a rotating-disk reactor

  • 문용태;김동준;김준형
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
    • /
    • 1998.02a
    • /
    • pp.109-109
    • /
    • 1998
  • 최근 들어 MOCVD 법으로 성장시킨 GaN, InGaN, AIGaN를 이용한 광소자 ( (LED, LD)와 전자소자(FET, MODFET)에 대한 관심이 고조되면서, MOCVD 법 을 이용한 GaN 중심의 질화물 반도체 성장에 관심이 집중되고 있다. 금번 실험에 사용된 MOCVD 장비는 수직형 MOCVD 장비이다. 특히, wafer c carner를 1$\alpha$)() rpm이상의 고속으로 회전시킬 수 있는 장치로서 원료 가스의 반웅 기 내에서의 흐름을 균일하게 하여 uniformity가 높은 질화물 반도체를 성장시킬 수 있다 .. GaN 에피충은 c-plane 사파이어를 기판으로 하여 11 00 "C 이상의 고온 에서 수소를 이용하여 기판을 cleaning하고, 500 "C 부근에서 핵생성충올 성장시 킨 후 1050 "C에서 trimethylgallium(TMGa)과 NI-h를 이용하여 성장시켰다. n n -GaN를 성장시키기 위해서는 SiH4을 사용하였으며, InGaN의 경우는 t trimethylindium(TMIn)을 In원 료 가스로 하여 635 - 725 "C 범 위 에 서 성 장시 켰 다. 성 장된 undoped GaN, n-GaN, InGaN는 X -ray di잔raction(XRD), H떠l m measurement, Photoluminescence(PU동올 이용하여 결정성과 전기적 및 광학적 특성올 고찰하였다 .. 2ttm 두께로 성장된 undoped G값V박막의 경우 Hall 측정결과 6 6 X lOI6/e며 정도의 낮은 도핑 농도를 보였으며, V!lII ratio(2500 - 5000)증가에 따라 결정성이 향상됨을 GaN (102)면의 X -ray e -rocking분석올 통하여 확인하 였다 .. n-GaN의 경우 SiH4양올 3 - 13 sccm으로 증가시킴에 따라 n -type 도명농 도가 선형적으로 증가하였고, 1017/c며 범위 내로 도평이 된 경우 상온에서 300 e마 N Ns 이상의 high mobility를 얻올 수 있었다 .. PL 관측 결과로부터 Si 도핑으로 인 하여 GaN bandedge emission이 강화됨을 알 수 있었다 .. InGaN 박막의 경우 성 장온도를 낮춤에 따라서 m의 양을 증가시킬 수 있었다. 또한 유량비(TMIn I T TMGa)가 1에 가까운 경 우에서도 온도를 635 "C 정도로 낮훈 경우 410 nm정도에 서 PL bandedge peak올 얻을 수 있었으며, 이 때의 반치폭은 50 meV정도의 낮 은 값을 보였다. 반치폭은 50 meV정도의 낮 은 값을 보였다.

  • PDF

Development of Pore-filled Polymer Electrolyte Membranes for Flexible Electrochromic Devices (유연한 전기변색 소자를 위한 세공충진 고분자 전해질 멤브레인의 개발)

  • Park, Hyeon-Jung;Lee, Ji-Hyeon;Kang, Moon-Sung
    • Membrane Journal
    • /
    • v.31 no.5
    • /
    • pp.333-342
    • /
    • 2021
  • A flexible electrochromic device (ECD) is a promising technology that is expected to be applied in various fields such as smart windows. Polymer electrolyte is an important component that determines the bleaching-coloration performance and physical stability of flexible ECDs. In this study, a pore-filled polymer electrolyte membrane (PFPEM) with excellent dimensional stability was developed to effectively fabricate flexible ECDs and improve durability. Polyvinyl acetate, which has excellent adhesion, and polyethylene glycol, which can improve ionic conductivity, were filled in the pores of a porous substrate made of polyethylene, which is inexpensive and has excellent physical and chemical stability. The optimal lithium salt (LiTFSI) content of the prepared PFPEM was determined at about 27 wt%, and it was confirmed to possess excellent dimensional stability, adhesive strength, and ion conductivity close to that of conventional polymer electrolytes. Although the visible light transmittance was lowered by the use of the porous substrate, it was expected to act as an advantage in the colored state.

Synthesis of all-inorganic halide perovskite nanocrystal and film fabrication for application in highly efficient optoelectronic device (고효율 광전자 소자 응용을 위한 전 무기 할라이드 페로브스카이트 나노결정 합 성 및 필름 제작)

  • Choi, Seung Hee;Kim, Hyun Bin;Yoo, Jung Hyeon;Kwon, Seok Bin;Jeong, Seong Guk;Song, Young Hyun;Yoon, Dae Ho
    • Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
    • /
    • v.28 no.3
    • /
    • pp.106-111
    • /
    • 2018
  • Halide perovskite nanocrystals have become attractive for LED applications due to their high color purity and excellent luminescent properties. $CsPbX_3$ (X = I, Br, and Cl) nanocrystals were synthesized by hot-injection method and the emission wavelength was controlled by changing the composition of halide ion. Green- and red-emitting films were fabricated using a polymer binder. The outstanding optical properties of the synthesized nanocrystals and fabricated films were confirmed. The wLED designed by green- and red-emitting perovskite nanocrystal films on blue InGaN LED was characterized.

Nano stamp fabrication for photonic crystal waveguides (나노 광소자용 나노스탬프 제조공정 연구)

  • Jeong, Myung-Yung;Jung, Une-Teak;Kim, Chang-Seok
    • Journal of the Korean Society for Precision Engineering
    • /
    • v.22 no.12 s.177
    • /
    • pp.16-21
    • /
    • 2005
  • Photonic crystals, periodic structure with a high refractive index contrast modulation, have recently become very interesting platform for the manipulation of light. The existence of a photonic bandgap, a frequency range in which the propagation of light is prevented in all directions, makes photonic crystal very useful in application where the spatial localization of light is required, for example waveguide, beam splitter, and cavity. However, the fabrication of 3 dimensional photonic crystals is still difficult process. A concept that has recently attracted a lot of attention is a planar photonic crystal based on a dielectric membrane, suspended in the air and perforated with two dimensional lattice of hole. The fabrication of Si master with pillar structure using hot embossing process is investigated for two dimensional, low-index-contrast photonic crystal waveguide. From our research we show that the multiple stamp copy process proved to be feasible and useful.

Morphological Transitions of MOCVD-Grown ZnO Thin Films (MOCVD로 성장된 ZnO 박막의 미세구조 변화)

  • 박재영;이동주;이병택;김상섭
    • Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
    • /
    • 2003.11a
    • /
    • pp.59-59
    • /
    • 2003
  • ZnO는 상온에서 3.37 eV의 넓은 밴드갭을 가지는 직접천이형 반도체이다. 상온에서 60 meV의 큰 엑시톤 결합에너지를 가짐으로 인해 엑시톤 재결합에 의한 강한 UV 레이저 발진효과를 기대할 수 있다. 이러한 장점을 갖는 ZnO 박막을 이용하여 광소자 등에 응용하기 위하여 양질의 ZnO 박막성장이 필수적이며, 이를 위해 MBE, MOCVD, PLD, rf magnetron sputtering 등 다양한 증착방법을 통한 연구결과가 보고되고 있다. 또한 p형 불순물인 As과 N 도핑 및 Ga과 N의 co-doping 방법 등을 통하여 p형 ZnO 박막을 제조하였음이 보고되고 있으나 재현성 문제 등으로 인해 계속적인 연구가 진행되고 있다. 본 연구에서는 MOCVD를 이용하여 A1$_2$O$_3$(0001) 기판 위에 ZnO 박막을 성장시켰다. Zn 전구체로 DEZn을 사용하였으며, 산소 source로 $O_2$를 사용하였다. 증착온도, Ⅵ/II 비율, 반응기 압력 등 MOCVD의 중요한 공정변수들의 체계적인 변화에 따른 박막성장 양상을 조사하였다. 증착 조건에 따라 ZnO 입자의 모양이 주상(column), nano-rod, nano-needle, nano-wire 등으로 급격하게 변화됨을 확인하였으며, 이러한 입자의 모양과 결정성장 방향 및 광학적 특성과의 상관관계의 해석을 시도하였다.

  • PDF

Design and Fabrication of Hard X-ray Zone Plate (경 엑스선 존 플레이트(Zone Plate) 설계 및 제작)

  • Chon, Kwon-Su
    • Journal of the Korean Society of Radiology
    • /
    • v.4 no.3
    • /
    • pp.27-31
    • /
    • 2010
  • Spatial resolution is determined by the performance of x-ray optics used in the x-ray imaging system. A zone plate was designed for obtaining a high spatial resolution image at x-ray energy of 8.5keV. A spatial resolution of 80 nm was estimated by the ray tracing when an x-ray tube of tungsten targe was used instead of synchrotron radiation. The designed zone plate of outermost zone width of 40nm was successfully fabricated by the electron-beam lithography.

Spectroscopic Analysis of Silica Soot for Planar Waveguide by FHD(Flame Hydrolysis Deposition) Method (FHD(Flame Hydrolysis Deposition)법으로 제작된 광도파막용 실리카 soot의 분광학적 분석)

  • 류형래;김재선;신동욱
    • Journal of the Korean Ceramic Society
    • /
    • v.38 no.1
    • /
    • pp.74-83
    • /
    • 2001
  • FHD(Flame Hydrolysis Deposition) 공정은 광통신에서 사용되는 수동형 집적광학소자를 제작하는 공정으로서, SiCl$_4$를 형성하는 방법이다. 이 FHD 공정은 화염 형성에 관여하는 장비의 조건에 따른 매우 다양한 공정인자에 의하여 박막의 조성이 결정되므로, 박막의 조성을 예측하는 것이 용이하지 않았다. 본 연구에서는 FHD 공정에서 첨가가스의 유량을 제어하여 박막의 조성 및 광학적 특성을 예측할 수 있는 공정 분석의 기초자료를 제공하기 위하여 FTIR과 ICP-AES를 이용하여 실리카 soot의 조성분석에 대한 연구를 수행하였다. FTIR 흡수스펙트럼을 통해 실리카 soot에 존재하는 Si-O, B-O, OH($H_2O$) 농도의 변화를 관찰할 수 있었으며, ICP-AES를 통해 B-O의 흡수스펙트럼의 변화를 B의 농도와 정량적으로 연관지을 수 있었다.

  • PDF

Crystallinity and Internal Defect Observation of the ZnTe Thin Film Used by Opto-Electronic Sensor Material (광소자로 사용되는 ZnTe박박의 결정성에 따른 결함 관찰)

  • Kim, B.J.
    • Journal of the Korean institute of surface engineering
    • /
    • v.35 no.5
    • /
    • pp.289-294
    • /
    • 2002
  • ZnTe films have been grown on (100) GaAs substrate with two representative problems. The one is lattice mismatch, the other is thermal expansion coefficients mismatch of ZnTe /GaAs. It claims here, the relationship of film thickness and defects distribution with (100) ZnTe/GaAs using hot wall epitaxy (HWE) growth was investigated by transmission electron microscopy (TEM). It analyzed on the two-sort side using TEM with cross-sectional transmission electron microscopy (XTEM) and high-resolution electron microscopy (HREM). Investigation into the nature and behavior of dislocations with dependence-thickness in (100) ZnTe/ (100) GaAs hetero-structures grown by transmission electron microscopy (TEM). This defects range from interface to 0.7 $\mu\textrm{m}$ was high density, due to the large lattice mismatch and thermal expansion coefficients. The defects of low density was range 0.7$\mu\textrm{m}$~1.8$\mu\textrm{m}$. In the thicker range than 1.8$\mu\textrm{m}$ was measured hardly defects.

Optical neural-net analog-to-digital converter (광 신경망 아날로그-디지탈 변환기)

  • Jang, Ju-Seog;Shin, Sang-Yung;Lee, Soo-Young
    • Proceedings of the KIEE Conference
    • /
    • 1988.07a
    • /
    • pp.414-417
    • /
    • 1988
  • 신경회로를 모방한 병렬 아날로그-디지탈 변환기를 설계하고 광학적으로 구현하였다. 이 회로의 동작 원리는 주어진 입력 아날로그 값에 대해 출력 bit 들의 디지털 값을 동시에 추정하는 것으로 $2^{N}$ 단계의 구분을 위해서 N개의 단위 소자가 필요하다. 에너지 최소화 방법에 의해 설계된 신경망 아날로그-디지털 변환기와 비교해 볼 때 회로의 구조가 단순하고 출력이 회로의 초기 상태에 관계없이 주어진 입력에 의해 결정된다.

  • PDF

Bi-Directional Buck-Boost Forward Converter for Photovolatic Module type Power Conditioning System (태양광 모듈형 전력조절기를 위한 양방향 벅-부스트 포워드 컨버터)

  • Kim, Kyoung-Tak;Park, Joung-Hu
    • Proceedings of the KIPE Conference
    • /
    • 2015.11a
    • /
    • pp.50-51
    • /
    • 2015
  • 본 논문에서는 다수의 PV-부스트 컨버터를 입력으로 하는 계통연계형 풀브리지 인버터의 DC링크 커패시터간 전압 균등화 방법을 제안한다. 다수의 PV가 입력으로 연결된 인버터의 경우 각 PV의 부분 그늘짐 현상과 같은 조건에 따라서 최대 전력점이 달라질 수 있다. 각각의 PV와 연결된 부스트 컨버터의 출력 은 인버터의 DC링크 커패시터로서 각각이 직렬로 연결되는데 각 전압 분배는 PV의 입력에 따라 결정되게 된다. PV의 발전조건이 바뀌어 부스트 출력전압 편차가 극심해져서 더 이상 부스트 컨버터로서의 역할을 할 수 없는 조건이 갖춰진다면 PV에서의 안정적인 발전을 기대할 수 없을 것이다. 또한 DC링크 커패시터 간 전압의 불균형은 시스템을 설계함에 있어서 소자의 더 넓은 범위에서의 동작조건을 만족시켜야 하기 때문에 효율 면에서 나쁜 영향을 미치게 된다. 시뮬레이션을 통해서 DC링크 커패시터 간 전압 균등화 방법을 검증하였다.

  • PDF