• 월간경쟁저널
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• 제143호
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• pp.76-88
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• 2009

• 월간경쟁저널
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• 108호
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• pp.40-47
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• 2004

• 월간경쟁저널
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• 제162호
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• pp.56-67
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• 2012

• 월간경쟁저널
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• 제151호
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• pp.28-39
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• 2010

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2012년도 제42회 동계 정기 학술대회 초록집
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• pp.176-176
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• 2012

다수 홀 전극을 이용한 RF Capcitively Coupled Plasma는, 평판 전극을 이용할 때에 비해, 전자 밀도를 향상시키는 것으로 알려져 있다. 이와 같은 전자 밀도의 증가는 일반적으로 공정의 속도를 증가시키며, 박막 태양전지의 Microcrystalline Silicon 증착 공정등 공정의 속도가 중요시되는 공정에서는 공정속도를 향상 시키는 것이 중요한 공정의 요구사항으로, 이와 같은 방법으로 전자 밀도를 향상시켜 공정의 속도를 향상시키는 연구가 진행되어 왔다. 그러나 공정에 사용하는 RF 전력의 파장의 유한성으로 인해, 공정의 면적을 증가시킬 경우, 방전의 균일도가 하락하게 되며 넓은 면적에 일정한 공정이 이루어지지 않게 되어 공정의 품질이 하락하게 된다. 이러한 문제에 대한 해결책의 하나로 본 발표에서는 다중 Multi-hole 전극을 이용한 방전을 제시하고자 한다. 다중 Multi-hole 전극은, 복수의 구획으로 나뉘어진 다수의 홀이 있는 전극으로 각각의 구획은 분리되어, 각 구획 별로 서로 다른 복수의 홀이 10 mm 깊이로 뚫린 전극 구획으로 나누어지며, 각 구획을 결합하여 하나의 전극을 이루도록 한 전극이며 이를 이용하여 위치 별 플라즈마 밀도를 제어하고자 하는 목적으로 설계되어진 전극 구조이다. 본 학회에서 발표하는 실험에서는 가장 단순한 형태인, 두 개의 구획으로 나뉘어진 전극을 이용하여 내부와 외부에, 평 전극 구획 혹은 5 mm 지름의 다수 홀이 존재하는 전극 구획을 조합하여 다양한 전극 구조를 만들었으며 이를 통해, 다중 Multi-hole 전극을 이용하는 위치 별 플라즈마 밀도의 제어 방법의 가능성을 확인하고자 하였다. 위치 별 플라즈마 밀도의 측정을 위해, 전극에 대해 수평하게 이동하는 RF compensated Single Langmuir Probe를 이용하여, 전자 밀도를 측정하였으며 50 mTorr의 낮은 압력 범위 및 500 mTorr의 높은 압력 범위에서 위치 별 플라즈마 밀도를 측정하여, 압력에 따라 달라지는 홀 방전의 특성을 이용하고자 하였다.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2009년도 제38회 동계학술대회 초록집
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• pp.338-338
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• 2010

공정 중 발생하는 입자는 반도체 생산 수율에 가장 큰 영향을 끼치는 원인으로 파악되며, 생산 수율을 저하시키는 원인 중 70% 가량이 이와 관련된 것으로 알려져 있다. 현재 반도체 공정에서 입자를 계측하는데 사용하는 PWP (Particle per Wafer Pass) 방법은 표준 측정방법으로 널리 쓰이고 있으나, 실시간으로 입자의 양을 측정할 수 없고, Test wafer 사용에 따른 비용증가의 단점이 있어 공정 중에 입자를 실시간으로 측정할 수 있는 대안기술이 필요한 실정이다. ISPM (In-Situ Particle Monitoring)은 레이저 산란방식을 이용한 실시간 입자측정 장비로서 오염원 발생에 대한 즉각적인 대처와 조치가 가능하고 부가적인 추가 비용이 발생하지 않기 때문에 실시간 모니터링 장비가 없는 현재의 반도체 공정에 충분히 적용될 가능성이 있다. 특히 CVD 공정은 반도체 공정의 약 30%를 차지할 만큼 중요한 단계로 생성되는 오염입자 모니터링을 통해 공정 불량 유무를 판단할 수 있을 것으로 기대된다. 본 연구에서는 Silane 가스를 이용한 PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 공정 중 발생되는 오염입자를 ISPM을 이용하여 실시간으로 측정하였다. 챔버 배기구에 두 가지 타입의 ISPM을 설치하고 공정압력, 유량, 플라즈마 파워를 공정변수로 하여 각각의 조건에서 발생되는 오염입자의 분포 변화를 실시간으로 측정하였으며 결과를 비교 분석하였다.

• 한국건설순환자원학회논문집
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• 제6권3호
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• pp.167-173
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• 2018

일반적으로 고로슬래그 미분말 및 플라이애시의 반응에는 칼슘이 필요하게 된다. 순환골재를 생산하는 과정에서 발생하는 공정부산물은 파쇄단계에 따라 칼슘 함량이 다르며, 공정부산물의 콘크리트 혼합재로서의 활용 가능성도 다르게 된다. 본 연구에서는 공정부산물의 칼슘 함량이 압축강도에 미치는 영향을 확인하고, 이를 활용한 블록을 제작하였다. 공정부산물을 혼합재로 활용하기 위해 칼슘 함량을 분석하였으며 저류블록의 형상에 따른 휨강도 및 표면온도를 측정하였다. 연구 수행을 통해 순환골재 공정부산물을 활용한 블록 제작 가능성을 검증하였으며, 저류량 및 휨강도 확보를 위해 아치형의 저류블록을 제작하였다. 또한, 저류블록의 표면온도는 일반투수블록보다 $9^{\circ}C$ 이상 저감되는 것을 확인하였다.

• 중소기업연구
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• 제40권1호
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• pp.25-52
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• 2018

본 연구는 공급사슬 지속가능성 선행요인, 공급사슬 역량, 공급사슬 지속가능성 간의 구조적 관계를 규명하는 것으로 공급사슬 지속가능성 선행 요인과 공급사슬 역량 간의 관계, 공급사슬 역량과 공급사슬 지속가능성 간의 관계를 규명하고, 기업규모에 따른 지속가능성 선행요인, 역량, 지속가능성 간의 차이를 규명하는 것이다. 이를 위하여 각 연구가설을 수립하고 검정한 결과는 다음과 같다. 먼저 환경규제준수, NGO 대응활동, CSR 활동, 거래공정성은 제조 민첩성, 환경경영, 사회적 자본에 대부분 정(+)의 유의한 영향을 미치는 것으로 검정되었으며, 제조민첩성, 환경경영, 사회적 자본 역시 경제적·환경적·사회적 지속가능성에 대부분 정(+)의 유의한 영향을 미치는 것으로 검정되었다. 그리고 기업규모에 따라 공급사슬 지속가능성 선행요인, 역량, 지속가능성에 차이가 있는 것으로 검정되었다. 연구결과에 따른 시사점을 정리하면 공급사슬 지속가능성 선행요인들로 선정한 환경 규제 준수, NGO 대응활동, CSR 활동, 거래공정성 요인들은 지속가능성의 달성을 위한 공급사슬 역량에 기본적인 선행요인들로서 역할을 수행한다는 것을 확인하였다. 제조 민첩성, 환경경영, 사회적 자본의 형성은 경제적·환경적·사회적 지속가능성의 수준을 제고할 수 있다는 것을 확인하였다. 따라서 공급사슬 지속가능성 선행요인들의 제고는 공급사슬 역량의 제고로 이어질 수 있고, 나아가 공급사슬 지속가능성까지 제고할 수 있다는 것을 규명하였다. 그리고 대기업과 비교 시 중소기업의 공급사슬 지속가능성 선행요인, 역량, 지속가능성의 수준을 더욱 제고하는 것 요구된다.

• 대한환경공학회지
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• 제22권10호
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• pp.1893-1904
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• 2000

질소제거를 위한 처리기술은 아직까지는 주로 생물학적인 처리기술에 의존하고 있는 실정이다. 그러나 생물학적인 처리기술은 하수 등과 같은 저농도 암모니아성 질소성분을 함유한 폐수에 대해서는 비교적 광범위하게 정립되어 있는 반면, 질소성분외에 난분해성 및 독성물질을 고농도로 함유하고 있는 침출수 및 산업폐수에 생물학적 처리기술을 적용하는 방법은 처리효율면에서 한계가 있다. 따라서 본 연구에서는 질소 처리기술이 비교적 정립되어 있지 않은 고농도의 암모니아성 질소 성분을 함유한 침출수를 대상으로 생물학적 처리공정의 이전에 질소제거를 위한 암모니아 탈기공정의 적용가능성을 타진하고 자원 재활용 측면을 고려하여 처리된 질소성분의 회수 가능성을 조사하는 데 목적을 두었다. 실험결과 암모니아 탈기공정을 위하여 pH를 조정하기 위해서는 NaOH보다 $Ca(OH)_2$를 사용하는 것이 적정한 것으로 조사되었다. 암모니아 탈기에 적정한 pH는 10.5로 조사되었으며, 목표치인 500 mg/L를 만족시키기 위하여 소요되는 반응시간은 $35^{\circ}C$, 10 L/L/min의 조건에서는 2시간, $55^{\circ}C$, 10.0 L/L/min의 조건에서는 1시간이 소요되는 것으로 조사되었다. 이에 따라 생물학적 처리공정의 전단에 air diffused system을 이용한 암모니아 탈기공정의 적용은 고농도의 암모니아성 질소를 함유한 침출수의 처리에 매우 효과적인 것으로 결론지울 수 있었다. 그러나 생물학적 처리공정인 MLE 공정(T-N 최대 제거율: 78%, 암모니아성 질소 제거율: 98~99%)과 혐기성 소화조, 폭기식 라군산화조에서 질소성분을 완전히 제거하기 위하여 이들 공정전에 적용한 암모니아 탈기공정의 운전에 소요되는 약품비를 각각 산출하여 비교한 결과 암모니아 탈기공정이 MLE 공정에 비해 약품 소모비가 약 16% 정도 더 많이 소요되는 것으로 조사되었으므로 암모니아 탈기공정의 경제성을 높이기 위하여 슬러지를 재이용하는 방안 등을 검토하여야 할 것으로 판단되었다.

• 공업화학
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• 제16권3호
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• pp.305-311
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• 2005

열플라즈마 공정은 고온, 고활성, 초급냉 등의 탁월한 특징을 갖고 있으며, 다양한 분야에 적용되고 있다. 본 총설에서는 열플라즈마 공정의 특징과 초미립 분말의 제조를 위한 시스템의 구성을 기술한다. 여기에는 금속, 세라믹, 복합 초미립 분말이 포함되며, 공정의 개발을 위하여 요구되는 핵심기술에 대하여 논의한다. 저자 등은 열플라즈마를 이용하여 다양한 형태의 고품질 초미립 분말을 제조하는 공정의 가능성을 제시하고자 하였다.