• 제목/요약/키워드: 고주파 경화

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고효율 파워 반도체 소자를 위한 Mg-doped AlN 에피층의 HVPE 성장 (HVPE growth of Mg-doped AlN epilayers for high-performance power-semiconductor devices)

  • 배숭근;전인준;양민;이삼녕;안형수;전헌수;김경화;김석환
    • 한국결정성장학회지
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    • 제27권6호
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    • pp.275-281
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    • 2017
  • AlN는 넓은 밴드 갭 및 높은 열전도율로 인해 넓은 밴드 갭 및 고주파 전자 소자로 유망한 재료이다. AlN은 전력 반도체의 재료로서 더 큰 항복전압과 고전압에서의 더 작은 특성저항의 장점을 가지고 있다. 높은 전도도를 갖는 p형 AlN 에피층의 성장은 AlN 기반 응용 제품 제조에 중요하다. 본 논문에서는 Mg이 도핑된 AlN 에피층을 혼합 소스 HVPE에 의해 성장하였다. Al 및 Mg 혼합 금속은 Mg-doped AlN 에피 층의 성장을 위한 소스 물질로 사용하였다. AlN 내의 Mg 농도는 혼합 소스에서 Mg 첨가 질량의 양을 조절함으로써 제어되었다. 다양한 Mg 농도를 갖는 AlN 에피 층의 표면 형태 및 결정 구조는 FE-SEM 및 HR-XRD에 의해 조사하였다. Mg-doped AlN 에피 층의 XPS 스펙트럼으로 부터 혼합 소스 HVPE에 의해 Mg을 AlN 에피 층에 도핑할 수 있음을 증명하였다.

회전기기 진동의 Order Tracking을 위한 재합성 필터의 설계 (The Design of Reconstruction Filter for the Order Tracking of the Rotating Machinery)

  • 정승호;박영필;이상조
    • 한국소음진동공학회:학술대회논문집
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    • 한국소음진동공학회 1991년도 춘계학술대회논문집; 한국해사기술연구소, 대전; 1 Jun. 1991
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    • pp.95-98
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    • 1991
  • 회전 기기의 이상으로 인하여 발생하는 진동은 축 회전속도의 고주파 성분 (super-harmonic)이나 또는 분수조파 성분(sub-harmonic)으로 나타나는 경 우가 대부분이기 때문에 회전기기의 진동을 주파수 영역에서 해석함에 있어 파워 스펙트럼의 주파수 축을 Hz로 나타내기보다는 축 회전속도의 order로 써 나타내는 것이 매우 유용하다. 스펙트럼을 order로써 나타내기 위해서는 샘플링 시간을 축 회전속도와 동기(synchronization)시켜야 하는데 이 방법으 로는 회전축에 엔코더(encorder)를 부착하여 엔코더에서 발생하는 펄스 신호 를 이용하여 샘플링하는 방법과 order tracking 필터를 이용하는 방법이 있 다. 그러나 전자의 방법은 원하는 회전축마다 엔코더를 부착하여야 하며 경 우에 따라서는 엔코더를 부착하기가 어려운 경우도 있으며, 회전기기의 운전 개시나 종료시처럼 회전속도가 급격히 변화하는 경우에는 낮은 주파수에서 중첩(aliasig)에 의한 오차가 수반될 수도 있다. 후자의 방법은 order tracking 필터 이외에도 여러 부수장비가 필요하며 기준 주파수(즉 회전속 도)가 급격히 변화하는 경우 PLL(phase locked loop)에서 tracking 오차가 발생된다. 최근에 발표된 논문에서 일정한 시간간격으로 샘플링한 데이터들 로부터 신호를 재합성하여 회전축의 속도와 동기가 되도록 재 샘플링함으로 서 스펙트럼의 주파수를 회전속도의 order로써 나타내는 방법을 제시하였다. 그러나 위 논문에서는 신호의 재합성에 필요한 재합성 필터(reconstruction filter)의 설계 방법에 대하여 구체적인 언급이 없이 다만 결과만을 논하였다. 따라서 본 논문에서는 재합성 필터의 설계 방법에 대하여 구체적인 방법을 제시하고 또한 동기화 샘플링의 장점 및 고려 사항에 대하여 고찰하였다. 고려한 능동 소음제어 에 대해 연구하였다. 경량화 추세에 따라 지반이나 케이싱이 경량이거나 유연하여 회전축과 동적으로 연성된 경우 회전축-베어링-지반으로 이루어진 2중구조의 회전축 계 동특성을 해석할 수 있는 프로그램을 개발하므로서 회전 기계류의 진동 전반에 걸친 문제점에 대한 그 원인과 현상을 명확히 분석하여 국내의 전기 계류의 보다 신뢰성있는 설계 및 제작자료를 확보하는데 기여할 수 있게 하 였다.존의 small molecular Gd-chelate에 비해 매우 큼을 알 수 있었다. MnPC는 간세포에 흡수된 후 담도계로 배출되는 간특이성 조영제임을 확인하였다. 장비 내에서 반복 시행한 평균값의 차이는 대체적으로 유의한 차이가 없었으나, 다른 장비에서 반복 시행한 장비간의 사이에는 유의한 차이가 있는 경우가 더 많았다. 따라서 , MRS 검사를 소뇌나 뇌교의 어떤 절환에 적용하기 전에 각 장비 마다 정상 기준치를 반드시 얻은 후에 이상여부를 판 정하는 것이 필수적이라고 생각된다.EX> 이상이 적절한 진단기준으로 생각되었다. $0.4{\;}\textrm{cm}^3$ 이상의 좌우 부피차를 보이는 모든 증례에서 육안적으로도 해마위축이 뚜렷이 나타났다. 결론 : MR영상을 이용한 해마의 부피측정은 해마경화증 환자의 진단에 있어 육안적인 MR 진단이 어려운 제한된 경우에만 실제적 도움을 줄 수 있는 보조적인 방법으로 생각된다.ofile whereas relaxivity at high field is not affected by τS. On the other hand, the change in τV does not affect low field profile but strongly in fluences on both inflection fie이 and the maximum relaxivity value. The re

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Fe93.5Si6.5 자성분말/에폭시 복합재 필름의 고주파 특성 (High Frequency Properties of Fe93.5Si6.5 Magnetic Powder/Epoxy Composite Film)

  • 홍성민;김철기
    • 한국자기학회지
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    • 제18권5호
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    • pp.195-199
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    • 2008
  • $Fe_{93.5}Si_{6.5}$ 분말/에폭시 복합재 필름은 열경화과정을 이용하여 준비되었다. 자성분말/에폭시 복합재의 구조와 전자기적 특성 및 전자파 흡수특성을 분석하기 위하여 주사전자현미경(scanning electron microscpoe, SEM), 시료진동형 자력계(vibrating sample magnetometer, VSM), 네트워크 어날라이져(network analyzer) 등을 이용하였다. 분석결과, 포화자속밀도는 복합재 내의 $Fe_{93.5}Si_{6.5}$ 분말이 차지하는 양에 의존하며, 이는 초기투자율에 영향을 미친다. 결과적으로 1 GHz 이상의 주파수에서는 와전류 손실(eddy current loss)이 주요한 인자이며, 자성분말/에폭시 복합재의 공명주파수(resonance frequency)는 복합재 내의 $Fe_{93.5}Si_{6.5}$ 분말의 양이 증가함에 따라 감소한다. 반사손실(reflection loss)은 자성분말/에폭시 복합재의 투자율(permeability)과 유전율(permittivity)로부터 계산에 의해 구해진다. 50 wt% $Fe_{93.5}Si_{6.5}$ 분말의 양과 5 mm 두께를 가진 자성분말/에폭시 복합재는 3.66 GHz와 4.16 GHz 사이에서 -20 dB 이하의 값을 보인다. 따라서 Fe-Si/에폭시 박형 복합재는 마이크로파 흡수체로서 좋은 후보물질이 될 수 있을 것으로 판단된다.

폴리페닐렌에테르계 고분자 기판 소재의 유전특성에 대한 가교제 및 난연제의 영향 (Effects of Crosslinking Agent and Flame Retardant on the Dielectric Properties of Poly(phenylene ether)-based Polymer Substrate Material)

  • 김동국;박성대;유명재;이우성;강남기;임진규;경진범
    • 폴리머
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    • 제33권1호
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    • pp.39-44
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    • 2009
  • 폴리페닐렌에테르[PPE, poly(phenylene ether)]를 기저수지로 사용하고, 가교제로 N,N'-m-phenylene-dimaleimide(PDMI), 난연제로 decabromodiphenylethane을 첨가하여 고분자 기판을 제작하였으며, 가교제와 난연제가 기판소재의 유전특성 등 물리적 특성에 미치는 영향을 고찰하였다. 개시제의 유무에 따른 PDMI의 열경화 특성을 DSC를 이용하여 분석하였으며, 이를 바탕으로 PPE-PDMI 테스트 조성을 설계하였다. 복합물 시트를 필름 코터로 성형한 후, 진공가압적층하여 테스트 기판을 제작하고, FDMI와 난연제의 함량에 따른 유전율, 유전손실, peel 강도, 납 내열성 및 난연성을 평가하였다. 유전율과 유전손실은 PDMI와 난연제의 함량에 따라 대체로 증가하는 경향을 나타내었으나, 납 내열성과 난연성은 개선된 결과를 나타내었다. Peel 강도는 PDMI가 10 wt% 이상 첨가되면 1 kN/m 이상의 높은 값을 나타내었지만, 난연제의 첨가량에 따라서는 소폭 감소하는 경향을 보였다. Gel content 측정결과로부터, PPE-PDMI의 반응 메카니즘은 semi-IPN 구조의 형성보다는 PPE와 PDMI의 crosslinking에 의한 망상구조 형성에 더 가까운 것으로 판단되었다. 최종적으로 1 GHz에서 유전율이 2.52$\sim$2.65, 유전손실이 0.002 미만으로 작은 고주파 대역용 고분자 복합체 기판소재를 얻을 수 있었다.

유도가열식 저온용융로를 이용한 혼합모의 방사성폐기물의 유리화 공정 특성 (Characteristics of Vitrification Process for Mixture of Simulated Radioactive Waste Using Induction Cold Crucible Melter)

  • 김천우;양경화;박병철;박승철;황태원;박종길;신상운;하종현;송명재
    • 방사성폐기물학회지
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    • 제2권3호
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    • pp.165-174
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    • 2004
  • 원자력발전소에서 발생하는 이온교환수지와 가연성잡고체 혼합폐기물을 유리화하기 위하여 유도 가열식 저온용융로를 이용한 실증시험을 수행하였다. 금속 티타늄 고리(Ti-ring)를 이용한 유리의 초기점화에 필요한 에너지는 약 290 kWh로 평가되었다. 혼합폐기물의 투입 중 고주파발생기의 출력은 160∼190 kW로 임피던스는 0.55∼0.65 $\Omega$ 범위 내에서 안정적으로 유지되었다. 이온교환수지 단독투입 시 보다 가연성잡고체와 혼합 할 경우 CO 발생농도는 1/40 정도로 낮아졌는데, 이는 1.8배 정도 높은 연소에너지를 갖는 가연성잡고체가 혼합폐기물의 완전연소를 유도한 것으로 평가되었다. 혼합폐기물의 공급량에 적당한 최적 산소 버블링에 의해 유리 용탕 내부로의 미연폐기물의 함침은 발생하지 않았으며 유리 용탕은 지속적으로 공정 건전성을 유지하였다. 유리 용탕의 부피가 증가하는 팽창(swelling) 현상 때와 정상 일 때 발생가스를 측정, 비교한 결과 swelling 현상 때는 NO와 같이 환원성 가스의 농도 보다 산화성 기체인 $NO_2$의 농도가 높은 것으로 나타났다. 실증시험에 사용된 이온교환 수지와 가연성잡고체의 각각 투입량은 368kg과 751kg 이었으며, 74 정도의 감용비를 달성하였다.

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