• 제목/요약/키워드: 고정층

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RF Magnetron Sputtering으로 증착된 PTO/PZO 초격자 박막의 유전 특성 (Dielectric properties of PTO/PZO superlattices prepared by RF Magnetron Sputterring)

  • 한현자;이병수
    • 한국재료학회:학술대회논문집
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    • 한국재료학회 2003년도 춘계학술발표강연 및 논문개요집
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    • pp.38-38
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    • 2003
  • PTO/PZO 초격자 박막은 박막 계면에 응력이 발생하여 기존의 박막처럼 size effect가 적용되지 않고 두께가 감소해도 높은 유전상수를 갖는다. Antiferroelectric PbZrO$_3$(PZO)와 ferroelectric PbTiO$_3$(PTO)를 적층 성장시킨 초격자는 400도에서 성장한 (100) Pt/SiO$_2$기판 위에 rf magnetron sputtering으로 증착하였다. PTO/PZO의 증착 주기는 30(PTO $_{4unti cells}$/PZO $_{4unti cells}$) 에서 1(PTO $_{125unti cells}$/PZO $_{125unti cells}$)까지 두께의 변화를 주어 준비했고 초격자 박막의 전체두께는 100nm로 고정시켰다. XRD결과, PTO/PZO는 주기에 따라 초격자의 특성인 main peak과 satellite peak을 관찰 할 수 있었다. 초격자의 주기가 감소함에 따라 2$\theta$값이 증가하고 평균 d 값이 감소되면서 PTO층에 뒤틀림이 증가하였다. PTO층의 뒤틀림 증가로 인해 superlattice의 주기가 증가함에 따라 초격자의 유전율이 증가하였고 강유전성이 향상되었다.향상되었다.

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점탄성층을 갖는 내다지보형 동흡진기의 최적설계 (Optimal Viscoelastic Layered Dynamic Vibration Absorber)

  • 임성대;이시복
    • 한국음향학회지
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    • 제8권1호
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    • pp.31-37
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    • 1989
  • 구속 점탄성 층을 갖는 복합보를 동흡진기로 이용하는 문제를 다루었다. 이 동흡진기의 효과를 조사하기 위해 양단고정 주진동 보에 설치했을 때의 변위전달율을 구하여 기존 균일 재질보 동흡진기 효과와 비교했다. 해석결과 최적 동흡진기를 구성하는 패러매터 값이 현재 활용되는 재질 측면에서 의미있는 범위내에 존재하고 있고 둘이상의 공진 진동수에서 전달율을 동시에 줄일 수 있었다. 이점으로 기존 제시된 비해 점탄성을 복합보가 유리하게 이용될 수 있음을 확인했다.

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고온고압 합성다이아몬드 공정에서 인산칼슘 첨가의 영향 (The Effect of Calcium Phosphate Addition in HPHT Synthetic Diamond Process)

  • 신운;이봉;송오성
    • 한국산학기술학회:학술대회논문집
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    • 한국산학기술학회 2011년도 춘계학술논문집 2부
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    • pp.854-857
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    • 2011
  • 육방정프레스 $420{\phi}$를 활용한 고온고압(high pressure high temperature: HPHT) 방법으로 금속촉매층 ($Ni_{77}Fe_{11}Mn_9Co_3$)과 카본디스크가 순차적으로 적층된 셀에 인산칼슘을 첨가함에 따라 합성다이아몬드 성장에 미치는 변화를 확인하였다. HPHT 공정의 압력, 온도, 시간을 각각 8 GPa, $1500^{\circ}C$, 280s로 고정하고, 카본과 금속촉매 층 사이에 인산칼슘을 각각 0, 0.08, 0.20, 0.28 mg씩 첨가하여 고온고압 합성을 수행하였다. 합성공정 후 적층셀의 중간부 셀 수직단면을 광학현미경과 마이크로 라만분광기로 분석하였다. 결과적으로 인산칼슘을 0.08 mg 도포하여 첨가하면 다이아몬드의 생성이 향상되었다. 반면 0.20 mg 이상에서는 도포되는 양이 증가 할수록 다이아몬드 생성이 억제되다가 0.28 mg 이상 첨가에서는 다이아몬드가 거의 생성되지 않는 특징을 보였다.

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차세대 CMOS 소자의 래치업 전류 최소화를 위한 모의 모델 해석 (An analysis on the simulation model for minimization of latch-up current of advanced CMOS devices)

  • 조소행;강효영;노병규;강희원;홍성표;오환술
    • 대한전자공학회:학술대회논문집
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    • 대한전자공학회 1998년도 하계종합학술대회논문집
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    • pp.347-350
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    • 1998
  • 차세대 CMOS 구조에서 래치업 최소화를 위하여 고에너지 이온주입을 이용한 retrograde well 과 매몰층의 최적 공정 설계 변수 값들을 설정하였다. 본 논문에서는 두 가지의 모듸 모델 구조를 제안하고 silvaco 틀에 의한 시뮬레이션 결과를 비교 분석하엿다. 첫 번째 모델은 매몰층과 retrograde well을 조합한 구조이며, p+ injection trigger current가 600.mu.A/.mu.m 이상의 결과를 얻었고, 두번째 모델은 twin retrograde well을 이용하여 p+ injection 유지전류가 2500.mu.A/.mu.m이상의 결과를 얻었다. 시뮬레이션 결과, 두 모델 모두 도즈량이 많을수록 래치업 면역 특성이 좋아짐을 보았다. 시뮬레이션 조건에서 두 모델 모두 n+/p+ 간격은 2..mu.m 로 고정하였다.

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태양전지 패시베이션층을 위한 스퍼터링 되어진 DLC:Ti 박막의 물리적, 전기적 특성

  • 박용섭;이수호;이재형
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2014년도 제46회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.446-446
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    • 2014
  • 흑연(graphite)과 티타늄(titanum; Ti) 타겟이 양쪽에 부착되어 있는 비대칭 마그네트론 스퍼터링 장치를 이용하여 Ti이 도핑되어진 다이아몬드상 탄소박막(Ti doped Diamond-like carbon, DLC:Ti)을 증착하였다. 흑연과 티타늄 타겟의 파워는 고정하고 기판에 음의 DC 바이어스를 인가하여 DC 바이어스 변화에 따른 DLC:Ti 박막을 증착하였다. 증착되어진 박막의 음의 DC 바이어스의 변화에 따라 변화되어지는 경도와 마찰계수, 표면의 거칠기, 접촉각 등의 물리적 특성들을 분석하였으며, XPS와 라만등의 분석법을 이용하여 박막의 구조적 특성을 분석하였으며, 패시베이션 층을 위한 전기적 특성등을 평가하여 이들 특성들간에 관계를 고찰하였다.

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비정질질화실리콘 박막의 대면적 증착 (Large Area Deposition of Amorphous Silicon Nitride Thin Film)

  • 허창우
    • 한국정보통신학회:학술대회논문집
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    • 한국해양정보통신학회 2007년도 추계종합학술대회
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    • pp.743-746
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    • 2007
  • 본 연구에서는 LCD, 이미지 센서 등의 개별 소자인 비정질 실리콘 박막 트랜지스터에서 게이트 유전층 및 절연층으로 사용되는 비정질 질화 실리콘 박막을 사일렌$(SiH_4)$ 및 암모니아가스를 사용해서 PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 진공 증착장비로 최적의 비정질질화실리콘 박막 증착 조건을 확립한다. 먼저 반응실의 진공도, rf 전력 , $SiH_4$ 및 질소 그리고 암모니아가스의 flow rate를 변화시키면서 형성된 박막의 특성을 조사한다. 계속해서 다른 변수를 고정시킨 상태에서 rf 전력을 변화시키고 다음에는 반응실의 진공도 등을 변화시켜 최적의 증착조건을 확립한다. 이렇게 확립된 증착조건을 사용하여 비정질질화실리콘박막을 제작하여 특성을 측정한결과 우수한 성능을 나타냈음을 확인하였다.

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펠레트 충전층 전극 반응기의 특성 -흑연 펠레트 전극- (The Behavior of Pellet Packed-bed Electrodes Reactor -Graphite Pellet Electrode-)

  • 김학준
    • 공업화학
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    • 제3권4호
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    • pp.657-662
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    • 1992
  • 흑연 펠레트 전극으로 채워진 복극성 고정상 충전층 전극 반응기에 대하여 등가회로 모델을 적용하여 반응기에 가해진 전류에 대한 복극성 전극에 흐른 Faradaic 전류의 비를 전해액의 전도도와 순환속도에 대하여 검토하였다. 전전류에 대한 Faradaic 전류의 비는 인가전류(전압)에 따라 증가하며, 전해액 전도도와 액 순환속도의 증가에 따라 감소하였다.

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부분구조법에 의한 건축물의 국부진동해석 (Substrucuring Technique for Local Vibration of Building Structures)

  • 이동근;안상경;김진구
    • 한국전산구조공학회논문집
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    • 제12권1호
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    • pp.57-66
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    • 1999
  • 국부진동에 의하여 영향을 받는 일부 부재를 분석하기 위하여 구조물 전체의 대하여 동적해석을 수행하는 것은 비경제적일 수 있다. 본 논문에서는 국부진동의 효율적인 해석을 위하여 부분구조법을 사용하였다. 선택된 부재의 해석에 사용할 경계조건을 구하기 위하여 자유도를 응축하는 행렬응축기법을 사용하였다. 해석의 정당성을 검토하기 위하여 경계조건을 고정지지와 단순지지한 경우와 비교하였다. 본 연구에서 제시한 부분구조기법을 이용하면 가진층에 대해서는 효율적으로 매우 정확한 거동을 예측할 수 있지만, 가진층에서 멀리 떨어진 곳에 대한 거동 예측 시에는 다소 오차가 발생한다.

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GNSS 실시간 서비스를 위한 파일럿 프로젝트 동향 조사

  • 노경민;조정호;조성기
    • 한국우주과학회:학술대회논문집(한국우주과학회보)
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    • 한국우주과학회 2010년도 한국우주과학회보 제19권1호
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    • pp.37.1-37.1
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    • 2010
  • 이 연구는 국제항법서비스(IGS)에서 진행 중인 실시간 IGS 산출물 서비스 구축을 위한 실시간 파일럿 프로젝트(Real-Time Pilot Project; RTPP)의 진행 현황의 파악을 위한 것이다. 본 동향조사에서는 RTPP의 구성요소 별 진행현황과 현재 기술 수준 및 해결해야 할 이슈 등에 대해 분석하였다. 조사결과 현재 4개의 분석센터의 실시간 산출물이 예비 서비스를 하고 있으며, 이를 활용한 연구도 활발히 진행되고 있는 현황이다. 하지만, 실시간 자료 전송을 위한 자료형식과 전송방식의 표준이 정해지지 않았고, 이온층과 대류층 정보의 경우도 아직 논의가 진행 중이다. IGS가 목표로 하는 실시간 서비스는 고정밀 위치결정, 우주환경, 자연재해 감시, 기상 및 기후 연구 등의 분야에 매우 활용도가 높은 서비스로 본 동향 조사를 통해 이를 활용하기 위한 관련 연구와 기술 개발에 있어 참고자료가 될 것으로 기대된다.

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점성을 가진 음질이 입혀진 원형평판으로부터 의 음악복사 (A Study on the Sound Radiation from a Clamped Circular Plate with Viscoelastic layer by Impact Force)

  • 전재진;이병호
    • 한국음향학회지
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    • 제6권3호
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    • pp.5-16
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    • 1987
  • 본 논문에서는 충격으로 인한 점탄성층을 가진 경계가 고정된 원형 평판으로부터의 음압복사에 대해 이론적, 실험적으로 연구한다. 층을 가진 평판의 운동을 모우드 해석법과 회전 관성효과와 전단력에 의한 변형을 고려한 Mindlin 의 평판이론으로부터 구한 고유치를 이용하여 구한다. 탄성구와 평판사이의 접촉력은 Hertz 이론으로 구하고 평판의 진동으로부터 복사되는 음압은 Rayleigh integral에 의해 구한다. 또한 층을 가진 평판으로부터 복사되는 음의 파형과 발생되는 음을 감소시키는 방법을 예측한다.

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