• Title/Summary/Keyword: 고밀도화

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고밀도 플라즈마 소스를 적용한 고효율 스퍼터링 공정 개발

  • Kim, Do-Geun;Lee, Seung-Hun;Kim, Jong-Guk
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2011.02a
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    • pp.508-508
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    • 2011
  • 스퍼터링을 이용한 박막 증착기술은 다양한 분야에 걸쳐 적용되어 왔으며, 스퍼터링 타겟 사용효율을 향상시키기 위해 마그네트론 구조 최적화 및 이온 소스 적용 스퍼터링 등의 기술이 연구되어 왔다. 또한 인듐과 같은 희토류 금속의 가격이 최근 상승함에 따라 고효율 스퍼터링기술의 필요성은 더욱 증대되었다. 본 연구에서는 고밀도 플라즈마 소스를 적용한 고효율 스퍼터링 공정을 개발하였다. 동공 음극방전에서 생성된 고밀도 플라즈마는 전자석 코일을 통해 형성된 자기장을 따라 스퍼터링 타겟 표면까지 수송되며, 음전위로 대전된 스퍼터링 타겟 표면에서는 가속되어 입사하는 이온에 의한 스퍼터링이 발생한다. 본 스퍼터링 공정 기술의 경우, 기존 마그네트론 스퍼터링 소스에서 나타나는 약 30%의 타겟 사용 효율을 뛰어넘는 약 80% 이상의 타겟 사용률을 보였다. 또한 고밀도 플라즈마 소스에서 공급되는 이온에 의한 스퍼터링 공정을 개발 함에 따라 스퍼터링 방전전압의 독립적 조절이 가능하다. 이에 따라 200 V 이하의 저전압 스퍼터링 공정을 통해 유연성 폴리머 기판 및 유기소자 상 저에너지 이온 증착이 가능하며, 1 kV 이상의 고전압 스퍼터링을 통해 추가적인 기판 전압 인가 없이 박막 치밀화 구현이 가능하다.

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Electromagnetic properties and attenuation of Mn-Zn ferrite used in the blocking filter application (Blocking filter 자심 재료용 Mn-Zn ferrite 의 전자기적 특성 및 신호 감쇄율)

  • Lee, Hae-Yon;Kim, Hyun-Sik;Kim, Jong-Ryung;Oh, Young-Woo
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 2002.11a
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    • pp.95-98
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    • 2002
  • 전력선 통신 blocking filter용 자심 재료를 개발하기 위해서 MnO 24 mol%, ZnO 25 mol% and $Fe_{2}O_{3}$ 51 mol% 의 기본조성에 $MoO_{3}$, $SiO_{2}$, CaO를 첨가하여 $1350^{\circ}C$에서 대기압 상수 A를 7.8롤 고정하고 소결하여 미세구조를 제어하였으며 기본 조성에 $MoO_{3}$ 400 ppm, $SiO_{2}$ 100 ppm and CaO 200 ppm을 첨가한 경우 평균 입경 $25{\mu}m$ 의 균일한 결정립으로 구성된 미세구조를 얻었고 기공의 감소에 의한 치밀화로 $4.98g/cm^{2}$의 고밀도화가 이루어 졌다. 또한 소결체의 균일한 미세구조와 고밀도화로 인해서 8221(${25^{\circ}C}$, 1 KHz) 의 가장 높은 투자율 특성을 나타냈다. 시편의 온도가 증가함에 따라 투자율이 증가되어 ${110^{\circ}C}$에서 13904의 거대 투자융이 측정되었고, 코일의 인가주파수가 1 KHz에서 1 MHz까지 증가됨에 따라 최고 ${102^{\circ}C}$까지 시편 온도가 상승하였다. 가장 높은 투자율 특성을 나타낸 ferrite 코어를 사용하여 단상 및 3상용 블로킹 필터의 감쇄율을 측정한 결과 현재 국내의 전력선 통신용 주파수 대역으로 규정되어 있는 10 KHz ~ 450 KHz 대역에서 각각 -46.46 dB와 -73.9 dB의 최고 값을 얻었다.

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The Effect of Fluorination on Wettability between Cokes and Binder Pitch for Carbon Block with High Density (고밀도 탄소블럭 제조를 위한 코크스와 바인더피치의 젖음성에 미치는 불소화의 영향)

  • Kim, Kyung Hoon;An, Donghae;Kim, Ji Wook;Lee, Young-Seak
    • Applied Chemistry for Engineering
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    • v.29 no.6
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    • pp.677-681
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    • 2018
  • In this study, the carbon block was prepared using the fluorinated coke and binder pitch by molding compression to increase its density. After fluorination, it is confirmed that the fluorine element on the coke surface was introduced up to 24.14 at% using XPS analysis. The wettability between the fluorinated coke and binder pitch was evaluated according to the reaction temperature. From the result of contact-angle tests, it can be found that the wettability was improved up to 64.7% as more fluorine atoms were introduced on the surface of cokes. Also, the density of the carbon block with the highest amount of fluorine increased with 6.8% compared to that of using the carbon block prepared by the untreated cokes.

군사규격에 의한 전자파 간섭 시험

  • 간종만;이응주;이철수;최태인
    • The Proceeding of the Korean Institute of Electromagnetic Engineering and Science
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    • v.2 no.2
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    • pp.85-90
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    • 1991
  • 군사장비에 대한 EMI문제는 2차 세계대전 이후 전자장비에 대한 의존도가 높아짐에 따라 크게 변화하였다. 2차 세계대전 초기에는 주로 항공기의 엔진점화장치에서 발생되는 3~30MHz 대역의 무선주 파수간섭(RFI)이 통신장비에 문제가 되었으며 간섭현상도 그다지 심각하지 않았다. 그러나 전자공학의 급 속한 발전에 따라 고성능 통신장비 및 레이다가 등장하였으며 각종 전자장비도 고출력화, 고밀도화됨에 따 라 장비자체에서 방사되는 전자파잡음의 세기가 증가하게 되었다. 이에 반해 체계(System)탑재 전자장비 들이 점차 마이크로프로세서화 됨에 따라 제어신호의 수준은 더 낮아져서 전자파간섭에 더욱 취약하게 되 었다. 또한 현대의 전장(Battle Field)은 수많은 전기/전자장비가 동시에 운용됨에 따라 발생되는 전자파로 인해 더욱 복잡한 전자파환경이 형성된다.

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Large-Scale Experiments on the Wave-Induced Liquefaction of Sandbed (파랑작용에 의한 모래지반의 액상화에 관한 대형 수리모형실험)

  • Kang, Yoon-Koo;Suzuki, Kojiro
    • Journal of Ocean Engineering and Technology
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    • v.21 no.3 s.76
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    • pp.26-32
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    • 2007
  • A series of large-scale experiments were carried out in order to examine wave-induced liquefaction in a loosely packed sandbed, its afterward high densification and liquefaction by oscillatory pore pressure. The experiments were conducted in a Large Hydro-Geo Flume that can nearly solve the problems of scale effects of the sandbed, and the 50% sieve diameter of sand was 0.2 mm. The generation of residual pore pressure and its afterward high densification which had observed by Takahashi et al. (1999) in a wave flume experiment using fine sand with the size of 0.08 mm. As a result, the relative density of the sandbed after high densification was increased up to 79% and liquefaction by oscillatory pore pressure was not observed.

자성재료 발달현황

  • Cho, Cheol
    • 전기의세계
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    • v.24 no.6
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    • pp.67-71
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    • 1975
  • 어떤 자성재료에 대해서는 자기특성 이외에 유리부착성, 탄성, 접점에서의 특성 등이 요구되며 이러한 요구들을 한가지 재료로서 만족시키는 것은 곤란하므로 재료의 복합화가 시도되고 있다. Wire memory는 동선상에 permalley를 전착시킨 것이고 이것을 Core에 digit선이 통한 것으로 볼 수 있다. 금후로는 자성재료부품에서도 전자부품에서와 마찬가지로 재료를 복합소형화하여 일괄생산하는 방향으로 나아갈 것이 예상된다. 한편으로는 기억의 고밀도화가 강하게 요구되고 있으며 이에 따라 자성박막의 자벽 그 자체를 기억체로 이용하려는 방향으로 나아가고 있다. 이 경우, 기억체를 자기유도에 의하여 읽어내는 것은 S/N비가 적어서 곤란하고 Faraday효과, Kerr효과 등을 이용한 자기광학적 방법이 유효하다. 요즘 많이 연구되고 있는 초전도현상에 있어서고 재료의 자성이 도전율에 절대적인 영향을 미치므로 이에 관해서는 자성재료연구분야에서도 많은 관심이 모아지고 있다. 따라서 초전도재료에 관하여서도 따로 소개하고자 한다.

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부하에 따른 소형전동기의 선정

  • 이은웅;김일중
    • 전기의세계
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    • v.42 no.12
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    • pp.43-51
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    • 1993
  • 제어기술의 발달과 함께 고기능, 고정밀도의 소형전동기가 출현하게 되었으며 소재기술의 진보는 에너지의 고밀도화 및 고효율화를 가져왔다. 고도산업 사회로 진행하는 과정에서 소형전동기의 수요는 큰 폭으로 증가하고 있으며, 다양한 부하특성에 적합한 소형전동기의 원활한 공급은 산업현장에서 매우 절실한 과제가 되고 있다. 또한 기존 전동기와 크게 다른 정전형 전동기와 같이 새로운 원리의 전동기가 출현하여 관성이 작은 부하에 채용되기 시작하였고, 여러 분야의 요소기술이 결합되어 극소형 마이크로 전동기의 출현이 가능하게 되었다. 그러나 국내에서 소비되고 있는 대부분의 소형전동기는 외국으로 부터의 수입에 의존하고 있기 때문에 외화의 유출과 국내 생산기술 개발에 필요한 기초 설계기술 확보의 어려움을 초래하고 있다. 따라서 낙후된 설계 제작 기술에 더욱 관심을 가지고 새로운 소형전동기를 개발하여야 하겠다. 본고에서는 각종 소형전동기를 분류하고, 특히 제어용 전동기를 중심으로 전동기를 포한한 시스템 전체의 효율화 생산성 향상 측면을 고려하여 동력전달 기계기구를 설계하는데 필요한 실용 계산 방법을 소개하고자 한다.

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특집 : 레이저 기반 초정밀 초고속 가공시스템 - 신개념 레이저 기반 초정밀/초고속 레이저 복합/유연 가공 기술 개발

  • Ryu, Gwang-Hyeon;Nam, Gi-Jung
    • 기계와재료
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    • v.22 no.1
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    • pp.30-35
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    • 2010
  • 전자부품산업이 빠르게 발전하고 있기 때문에 고기능성 PCB의 수요 또한 많이 늘고 있다. 이러한 PCB는 전자제품의 굴곡성(flexibility) 있는 형태로 발전하여 전자제품의 소형화 및 고밀도화가 가능하고, 반복적인 굴곡에 높은 내구성을 갖는 연성(flexible) PCB(FPCB)의 사용이 증가하고 있으며, 이런 시장의 요구에 맞춰 연성 다층 구조의 FPCB에 대한 정밀 고속 가공 기술에 대한 수요도 급격히 확대되고 있다. 따라서 장비 운영의 효율성 극대화 및 설비 투자를 최소화하고 단일 장비로 절단(half cut, full cut), 제거, 트리밍, 리페어 고정 등을 수행할 수 있는 장비 개발을 위한 스캐너/스테이지 고정밀 제어, Z축 스텝가공, 멀티포인트 비전 인식을 통한 왜곡 최소화 등의 요소기술 개발관련 내용을 소개하고자 한다.

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Dielectric Properties with Filler Heat Treatment in PCB for Embedded Capacitor (Embedded Capacitor용 PCB에서 filler 열처리에 따른 유전특성)

  • Lee, Ji-Ae;Shin, Hyo-Soon;Yeo, Dong-Hun;Kim, Jong-Hee;Yoon, Ho-Gyu
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 2007.06a
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    • pp.270-270
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    • 2007
  • 전자 산업의 발달로 인해 전자기기에 소형화, 경량화 및 다기능화가 요구되면서 민쇄회로기판(PCB)에도 고밀도화, 고집적회가 필요하게 되었다. 이에 따라 embedded passive 기술을 이용하여 기판 내부에 가능한 많은 수동소자들을 실장시키려는 노력이 진행되어지고 있다. 가장 수요가 많은 capacitor의 경우 부피와 전기적 특성 측면에서 내장 효과가 가장 큰 passive 소자에 해당한다. 본 연구에서는 내장형 capacitor의 유전재료로서 중요한 $BaTiO_3$ powder를 filler로 사용하여 epoxy/BT 복합체에서 filler의 분율에 따른 유전상수률 측정하고, filler의 열처리에 따른 유전상수의 변화를 관찰하였다. 그러고 이들 복합체의 mixing rule과 미세구조 관찰을 통하여 기판용 RCC 소재로서의 적용성을 평가하고자 하였다.

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