• Title/Summary/Keyword: 결함밀도

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양전자 소멸 측정에 의한 n, p형 실리콘에서의 결함 측정

  • Lee, Gwon-Hui;Jeong, Ui-Chan;Park, Seong-Min;Lee, Jong-Yong
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2012.08a
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    • pp.336-336
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    • 2012
  • 수명 측정법과 동시 계수 도플러 넓어짐 양전자 소멸 분광법으로 p형과 n형 실리콘 시료에 0, 3.98 MeV 에너지를 가진 $0.0{\sim}20.0{\times}10^{13}$ protons/$cm^2$ 양성자 빔 조사에 의한 결함을 측정하여 실리콘 결함 특성에 대하여 조사하였다. 양전자와 전자의 쌍소멸로 발생하는 감마선 스펙트럼의 전자 밀도 에너지를 수리적 해석 방법인 S-변수와 열린 부피 결함에 대한 측정법으로서 양전자 수명 ${\tau}1$${\tau}2$, 이에 따른 밀도 I1과 I2를 사용하여, 시료의 구조 변화를 측정하였다. 본 연구에서 측정된 S-변수와 양전자 수명은 시료에 조사된 양성자의 빔 에너지에 따라 변화하기보다 양성자 조사량의 변화에 따라 결함이 증가하였으며, 양전자 수명 측정과 같은 경향을 보여준다. SRIM의 결과로써, 양성자 조사 에너지에 따른 Bragg 피크 때문에 양성자는 시료의 특정 깊이에 주로 결함을 형성하여 시료 전체에는 결함으로 잘 나타나지 않기 때문이다. 빔의 조사량에 따른 결함의 영향이 더 큰 것으로 나타났다.

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TFT-LCD Defect Detection Using Multi-level Threshold and Probability Density Function (다단계 임계화와 확률 밀도 함수를 이용한 TFT-LCD 결함 검출)

  • Kim, Se-Yun;Jung, Chang-Do;Yun, Byoung-Ju;Joo, Young-Bok;Choi, Byung-Jae;Park, Kil-Houm
    • Journal of the Korean Institute of Intelligent Systems
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    • v.19 no.5
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    • pp.615-621
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    • 2009
  • TFT-LCD image consists of ununiform background, random noises and target defect signal components. Defects in TFT-LCD have some intensity variations compared to background region. It is sometimes difficult for human inspectors to figure out. In this paper, we propose multi-level threshold scheme for detection of the real defect using probability density function with Parzen Window. The experimental results show that the proposed algorithms produce promising results and can be applied to automated inspection systems for finding defects in the TFT-LCD image.

A Study on Classical Software Reliability Growth Model (소프트웨어의 고전적 신뢰도 성장에 관한 연구)

  • Che, Gyu-Shik;Kim, Jong-Ki
    • Proceedings of the Korea Information Processing Society Conference
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    • 2001.04b
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    • pp.973-976
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    • 2001
  • 소프트웨어신뢰도의 일반적인 이론에서 소프트웨어의 고장율은 소프트웨어결함의 평균크기, 겉보기 결함밀도, 작업량의 곱인 것으로 제안한다. 고전적인 소프트웨어신뢰도모델들의 가정에 부합되는 이런 인자를 가진 모델들을 개발하였다. 선형, 기하학적, Rayleigh 모델들이 이에 해당된다. 선형신뢰도모델은 잔여결함의 평균크기와 작업량이 일정하고 겉보기 결함밀도가 실제 결함밀도와 동일하다는 가정 하에 유도된다. 기하학적모델은 결함을 수정함에 따라 평균결함크기가 기하학적으로 감소한다는 가정에 있어서 차이가 있다. 한편, Rayleigh 모델은 잔여 결함의 평균크기가 시간에 따라 선형적으로 감소한다는 가정에 있어서 차이가 있다. 본 논문에서는 소프트웨어의 신뢰도 요인의 거동을 가정하여 이러한 다양성을 수용하기 위한 모델링을 하였다.

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Investigation of Proton Irradiated Effect on n, p type Silicon by Positron Annihilation Method (양전자 소멸 측정에 의한 n, p형 실리콘 구조 특성)

  • Lee, C.Y.
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.21 no.5
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    • pp.225-232
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    • 2012
  • It is described that the proton beam induceds micro-size defects and electronic deep levels in n or p type single crystal silicon. Positron lifetime and Coincidence Doppler Broadening Positron Annihilation Spectroscopy were applied to study of characteristics of p type and n type silicon samples. In this investigation the numerical analysis of the Doppler spectra was employed to the determination of the shape parameter, S, defined as the ratio between the amount of counts in a central portion of the spectrum and the total counts of whole spectrum. The samples were exposed by 3.98 MeV proton beams ranging between 0 to ${\sim}10^{14}$ particles. The S-parameter values strongly depend on the irradiated proton beam, that indicated the defects generate more. Positron lifetime shows that positrons trapped in vacancies and lifetime ${\tau}_2$ increased according to proton irradiation.

Extraction of Average Interface Trap Density using Capacitance-Voltage Characteristic at SiGe p-FinFET and Verification using Terman's Method (SiGe p-FinFET의 C-V 특성을 이용한 평균 계면 결함 밀도 추출과 Terman의 방법을 이용한 검증)

  • Kim, Hyunsoo;Seo, Youngsoo;Shin, Hyungcheol
    • Journal of the Institute of Electronics and Information Engineers
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    • v.52 no.4
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    • pp.56-61
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    • 2015
  • Ideal and stretch-out C-V curve were shown at high frequency using SiGe p-FinFET simulation. Average interface trap density can be extracted by the difference of voltage axis on ideal and stretch-out C-V curve. Also, interface trap density(Dit) was extracted by Terman's method that uses the same stretch-out of C-V curve with interface trap characteristic, and average interface trap density was calculated at same energy level. Comparing the average interface trap density, which was found by method using difference of voltage, with Terman's method, it was verified that the two methods almost had the same average interface trap density.

Influence of the interface defect density on silicon heterojunction solar cells (실리콘 이종접합 태양전지에서 계면 결함 밀도의 영향)

  • Kim, Chan Seok;Lee, Seunghun;Tak, Sung Ju;Choi, Suyoung;Boo, Hyun Pil;Lee, Jeong Chul;Kim, Donghwan
    • 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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    • 2011.05a
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    • pp.103.1-103.1
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    • 2011
  • 실리콘 이종접합 태양전지에서 계면 결함 밀도는 효율을 결정하는데 가장 중요한 요인으로 작용한다. 계면 결함은 캐리어의 재결합 위치로 작용하여, 계면 결함 밀도가 증가하면 재결합 속도가 증가하게 된다. 흡수층으로 사용되는 실리콘 웨이퍼 (결정질 실리콘)를 가능한 깨끗하게 세정함으로써, 또한 emitter로 쓰이는 비정질 실리콘을 낮은 데미지로 증착하여 계면 결함 밀도를 감소 시킬 수 있다. 이러한 계면 결함 밀도의 감소가 어떠한 변화로 인해 태양전지 특성에 영향을 주는지 시물레이션을 통해 알아보았다. n-type 웨이퍼에 p-type 비정질 실리콘을 emitter로 하여 TCO/p/i/n-type wafer/i/n/TCO/metal의 구조를 적용했고, wafer 전면과 i로 쓰인 무첨가된 비정질 실리콘 간의 계면 결함 밀도를 변수로 적용했다. 그 결과, 계면 결함 밀도가 감소함에 따라 재결합이 감소하여 태양전지 특성이 증가하는 측면도 있지만, 흡수층의 장벽 (barrier height)이 높아져 재결합을 더욱 감소시킴으로 인해 태양전지 특성이 증가함을 알 수 있었다.

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Reaction Mechanism of Photo-Induced Etching of Single-Layer MoS2

  • Choe, Yu-Na;An, Gwang-Hyeon;Ryu, Sun-Min
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2014.02a
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    • pp.194.1-194.1
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    • 2014
  • 기저면에 구조적 결함을 도입함으로써 그래핀과 $MoS_2$와 같은 이차원 결정의 물리, 화학, 전기 및 기계적 성질을 제어하려는 연구가 폭넓게 수행되고 있다. 본 연구에서는 플라즈마 속의 산소 래디컬을 이용하여 기계적 박리법으로 만들어진 단일층 그래핀과 $MoS_2$ 표면에 구조적 결함을 유도하고 제어하는 방법을 개발하였다. 라만 및 광발광 분광법을 통해 생성된 결함 밀도를 측정하고 전하 밀도 등의 화학적 변화를 추적하였다. 그래핀의 경우 산소 플라즈마 처리 시간에 따라 결함(defect)의 정도를 보여주는 라만 D-봉우리의 높이와 넓이가 커짐을 확인하였고 이를 G-봉우리의 높이와 비교하여 정량하였다. $MoS_2$의 경우 $E{^1}_{2g}$$A_{1g}$-봉우리의 높이가 점점 감소하고 광발광의 세기 또한 감소함을 확인하였다. 또한 본 연구에서는 기판의 편평도가 결함 생성 속도에 미치는 영향을 비교 및 분석하여 반응 메커니즘을 제시하고자 한다.

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