• Title/Summary/Keyword: 건식 공정

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Mongolia Erden-soum tungsten development (몽골 에르덴솜 텅스텐광 개발을 위한 선별시스템 개발)

  • Kim, Su-Gang;Jeon, Ho-Seok;Baek, Sang-Ho;Kim, Byoung-Gon
    • Mineral and Industry
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    • v.28
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    • pp.1-13
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    • 2015
  • In this study, it was carried out separation process research and development to be able to produce high-grade tungsten concentrate form tungsten taken form Mongolia. In order to reduce treatment cost and increase separation efficiency the jig separation at first was applied for recovering the concentrate. Which reground would make the degree of liberation increase. Which was treated by shaking table to reject the gangue minerals from the first concentrate. Because the heavier product contains not only ferberite but also cassiterite, the product was treated by further dry magnetic separation to obtain the ferberite concentrate. Finally, the high-grade ferberite concentrate of 67.63% $WO_3$ could be obtained with recovery of 86.07% through the separation process developed in this study.

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반도체 및 디스플레이 세정 공정용 $CO_2$ 클러스터 장비의 클러스터 발생 특성 분석

  • Choe, Hu-Mi;Jo, Yu-Jin;Lee, Jong-U;Kim, Tae-Seong
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2013.02a
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    • pp.303-303
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    • 2013
  • 표면에 부착된 나노/마이크로 입자는 다양한 분야에서 오염물질로 작용한다. 특히 형상이 미세하고 공정 단계가 복잡한 반도체 및 디스플레이 등의 전자 소자 공정에서 미치는 영향이 크다. 따라서 입자상 오염물질의 제거에 관하여 상용화된 습식 세정 방법이 다양하게 존재하지만 표면 손상, 화학 반응, 부산물, 세정 효율 등 여러 가지 문제점이 있어 새로운 세정 방법이 요구된다. 이에 건식 세정 방법, 그 중에서도 입자의 충돌을 통해 제거하는 방법인 에어로졸 세정, 필렛 세정 등이 개발되었으나 마이크로 크기로 생성되는 입자로 인하여 형상의 손상이 크다. 따라서 본 연구에서는 나노 단위로 기체/고체 혼합물만 생성하여 세정하는 가스 클러스터 세정 방법을 이용하여 이러한 문제점을 해결하고자 하였다. 클러스터 세정 장비를 이용한 표면 처리는 충돌에 의한 제거에 기반한다. 따라서 생성 및 가속되는 클러스터로부터 대상으로 전달되는 운동량의 정도가 세정 특성에 영향을 미치며 이는 생성되는 클러스터의 크기에 종속적이다. 생성 클러스터의 크기 분포는 분사 거리, 유량, 분사 각도, 노즐 냉각 온도 등의 변수에 관한 함수이다. 따라서 본 연구에서는 $CO_2$ 클러스터를 이용한 세정 특성을 정의 및 제어하기 위하여 생성되는 클러스터 특성에 관하여 이론적, 수치 해석적, 실험적 연구를 수행하였다. 먼저, $CO_2$의 물리적 특성 및 이를 이용한 특정 크기 오염 물질을 제거하는데 요구되는 임계 클러스터 크기 계산을 이론적으로 구하였다. 이는 오염물질의 부착력과 클러스터의 운동량 전달에 의한 제거력의 비교를 통해 이루어졌다. 두 번째로 클러스터 크기분포를 수치 해석적으로 예측하기 위하여 각 조건에 대하여 유동해석을 수행하고 이를 통해 구해진 노즐 내 기체의 냉각 속도를 GDE (General Dynamic Equation) 계산에 대입하여 구하였다. 마지막으로 PBMS(Particle Beam Mass Spectrometer)를 이용하여 실험적으로 클러스터 크기분포를 각 조건에 대하여 구할 수 있었다. 또한 크기 분포 경향에 대한 간접적 확인을 위하여 포토레지스트가 코팅된 웨이퍼에 클러스터의 충격으로 생성된 크레이터 크기의 경향을 분석하였다. 이와 같은 방법에 의하여 생성되는 클러스터는 노즐의 유량 증가, 온도 상승에 각각 비례하여 작아지는 것을 확인할 수 있었다.

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$CO_2$ 클러스터 표면 처리를 이용한 그래핀 특성 향상에 관한 연구

  • Choe, Hu-Mi;Kim, Jang-A;Jo, Yu-Jin;Hwang, Tae-Hyeon;Lee, Jong-U;Kim, Tae-Seong
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2013.02a
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    • pp.655-655
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    • 2013
  • 그래핀은 높은 전자 이동도, 열전도도, 기계적 강도, 유연성 등의 고유한 특성으로 다양한 분야에 응용하기 위한 연구가 수행되고 있으며, 특히 전자 소자에의 적용에 관한 연구가 활발히 이루어지고 있다. 전자 소자에 적용하기 위해서는 성장 및 물성에 관한 규명, 응용 소자에 따른 특성 평가가 필요하다. 이러한 소자 특성은 그래핀 물성에 의한 영향이 기본적이지만 에칭, 전사 등의 공정 중 발생하는 오염, 표면 특성, 잔여물 등에 의한 물성 변화 또한 분석 및 제어에 관한 연구가 필요하다. 열화학증착법(thermal chemical vapor deposition)을 이용한 그래핀 합성은 구리 기판을 사용하며, 합성된 그래핀의 에칭, 박리 및 전사 공정이 있다. 이러한 공정 중 발생하는 오염 입자가 그래핀 표면에 흡착되거나, 제거되지 않은 PMMA 잔여물이 그래핀의 특성에 영향을 미치게 된다. 따라서 본 연구에서는 $CO_2$ 클러스터의 표면 충돌을 이용하여 이러한 오염 물질 및 잔여물을 제거하고 그래핀 표면을 평탄화하는 것에 관한 연구를 수행하였다. 가스 클러스터란 작동기체의 분자가 수십에서 수백 개 뭉쳐 있는 형태를 뜻하며 이렇게 형성된 클러스터는 수 nm 크기를 형성하게 된다. 그리고 짧은 시간의 응축에 의해 수십 nm 크기 까지 성장 하게 된다. 클러스터를 이용한 표면 처리는 충돌에 의한 제거에 기반 한다. 따라서 생성 및 가속되는 클러스터로부터 대상으로 전달되는 운동량의 정도가 세정 특성에 영향을 미치며 이는 생성되는 클러스터의 크기에 종속적이다. 생성 클러스터의 크기 분포는 분사거리, 유량, 분사 각도, 노즐 냉각 온도 등의 변수에 관한 함수이다. 본 연구에서는 이러한 변수들을 제어하여 클러스터를 이용한 그래핀 표면 처리 실험을 수행하였다. 평가는 클러스터 표면 처리 전과 후의 특성 비교에 기반 하였으며, 광학 현미경을 이용한 표면 형상 측정, 라만분광 분석, AFM을 이용한 표면 조도 측정, 그래핀 면저항 측정 결과를 비교하였다. 평가 결과를 통하여 표면 처리를 하지 않은 그래핀에 비하여 면저항과 표면 조도가 낮아지는 것을 확인 할 수 있었다. 또한 클러스터 세정은 300 mm 웨이퍼 크기 이상의 대면적을 짧은 시간에 건식으로 세정할 수 있다는 장점이 있어 향후 최적화를 통해 그래핀 양산 시 특성 향상을 위한 후처리 방법으로 사용될 수 있음을 확인하였다.

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Uranium ingot casting method with Uranium deposit in a Pyroprocessing (사용후핵연료 파이로 공정 중 우라늄 전착물의 잉곳 제조 방법)

  • Lee, Yoon-Sang;Cho, Choon-Ho;Lee, Sung-Ho;Kim, Jeong-Guk;Lee, Han-Soo
    • Journal of Nuclear Fuel Cycle and Waste Technology(JNFCWT)
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    • v.8 no.1
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    • pp.85-89
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    • 2010
  • The uranium ingot casting process is one of the steps which consolidate uranium deposits produced by electrorefiner as an ingot form in a pryprocessing technique. This paper introduces new design concept of the ingot casting equipment and the performance test results of the lab-scale ingot casting equipment fabricated based on the design concept. Casting equipment produces the uranium ingot by pouring an uranium melt into a mold by tilting a melting crucible. Also it is equipped with a cup which is able to continuously feed uranium deposits into a melting crucible. The productivity could be significantly enhanced by introducing the continuous operation concept.

Computer Simulation for Smelting Tretment of Waste Casting Sand (폐주물사의 용융처리에 관한 Computer Simulation)

  • Chung, Won-Sub;Min, Dong-Jun;Kim, Yong-Ha
    • Resources Recycling
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    • v.5 no.3
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    • pp.24-30
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    • 1996
  • The computcr s~mulatiun model in vanaus s~nelllng process for melling waste cashhg sand was developed by using energy and malcrial balance concept. This modcl can prcdict the coal, flux and oxygen conaumptron and thc volume and temperature of off-gas The ~niljor critical varlablcs for smclting process can be crplained by using the analysis of energy and malc~ialb alance. Thc Innst lmportarlt variables lor smelting process were h i ~ hpo st-combust~anr atla, high heat transfer crficiency and refractory pratcclion lechnalogy. For saving encrg), in this smelting proccss, selection of caw marerials i.e coal, flus was important, cspacially ubi~go f low volatile coal was prufitahle.

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A Study on Classification of Limonite and Saprolite from Nickel Laterite Ores (뉴칼레도니아산 니켈라테라이트광의 분급 연구)

  • Seo, Joobeom;Kim, Kee-seok;Bae, In-kook;Lee, Jae-young;Kim, Hyung-seok
    • Resources Recycling
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    • v.25 no.1
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    • pp.40-47
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    • 2016
  • Nickel laterite ore is classified into two principal ore types: saprolite (silicate ore) and limonite (oxide ore). Saprolite-type ore characterized by high magnesia and silica contents is treated by pyrometallurgy process. On the other hand, limonite-type ore is subjected to hydrometallurgy process to produce nickel products. Hydrometallurgy process requires that a raw material to meet the demands that Si+Mg contents lower than 10% and Fe content over than 40%. It is therefore required that separation of saprilite-type ore to use nickel laterite ore as a raw material for hydrometallurgy process. In this study, separation of sparolite-type ore and limonite-type ore from nickel laterite ore from New Caledonia has been tried by dry classification. The results show that -5 mm size fraction and +5 mm size fraction of the nickel laterite ore contains mainly limonite-type ore and saprolite-type ore, respectively. To understand the moisture content of the raw ore on the dry classification, nickel laterite ore with different moisture contents of 23.0% and 9.1% were subjected to the dry classification. The results show that drying of the ore makes the separation more efficient as the amount of the fine product, that can be subjected to hydrometallurgy process without further separation or drying operations, was increased.

A Study on the Analysis of Planning and Management Factors of Finishing Works Using an Analytic Hierarchy Process (계층분석법(AHP)을 이용한 마감공정의 계획 및 관리요인 분석에 관한 연구 - 초고층 주거건축물 공사 건식벽체공법을 대상으로)

  • Lee, Chi-Joo;Kim, Jae-Joon;Lee, Yoon-Su
    • Korean Journal of Construction Engineering and Management
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    • v.8 no.1 s.35
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    • pp.132-140
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    • 2007
  • There is an increase in interest and investment in high-rise housing as it is perceived to be a new value-added market in the construction industry. In constructing a high-rise housing, the finishing works are executed in accompaniment with many other activities that are progressed repeatedly and spontaneously on each floor. It was reported that the duration of finishing works differs according to the management ability of the executing company and has a significant effect on the entire project duration. We suggest a need to concentrate on important management factors by analyzing the factors affecting the productivity of finishing works based on the site characteristics in high-rise housing. There are various complex productivity-affecting factors including the technical factors involved in planning and managing the processes of finishing works. From the viewpoint of planning and management factors, the importance of productivity-affecting factors was analyzed using the Analytic Hierarchy Process (AHP). A continuous examination of the management of high-importance factors will make it possible to improve productivity by enhancing the understanding of productivity-affecting factors of finishing works and suggesting a practical management direction.

Effect of Gas now Modulation on Etch Depth Uniformity for Plasma Etching of 150 mm GaAs Wafers (150 mm GaAs 웨이퍼의 플라즈마 식각에서 식각 깊이의 균일도에 대한 가스 흐름의 최적화 연구)

  • 정필구;임완태;조관식;전민현;임재영;이제원;조국산
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.11 no.2
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    • pp.113-118
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    • 2002
  • We developed engineering methods to control gas flow in a plasma reactor in order to achieve good etch depth uniformity for large area GaAs etching. Finite difference numerical method was found quite useful for simulation of gas flow distribution in the reactor for dry etching of GaAs. The experimental results in $BCl_3/N_2/SF_6/He$ ICP plasmas confirmed that the simulated data fitted very well with real data. It is noticed that a focus ring could help improve both gas flow and etch uniformity for 150 mm diameter GaAs plasma etch processing. The simulation results showed that optimization of clamp configuration could decrease gas flow uniformity as low as $\pm$ 1.5% on an 100 mm(4 inch) GaAs wafer and $\pm$ 3% for a 150 m(6 inch) wafer with the fixed reactor and electrode, respectively. Comparison between simulated gas flow uniformity and real etch depth distribution data concluded that control of gas flow distribution in the chamber would be significantly important in order or achieve excellent dry etch uniformity of large area GaAs wafers.

Performance Evaluation of Stirrers for Preventing Dendrite Growth on Liquid Cathode (액체음극에서의 금속 수지상 성장 억제를 위한 교반기 성능평가)

  • Kim, Si-Hyung;Yoon, Dal-Seong;You, Young-Jae;Paek, Seung-Woo;Shim, Joon-Bo;Ahn, Do-Hee
    • Journal of Nuclear Fuel Cycle and Waste Technology(JNFCWT)
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    • v.7 no.2
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    • pp.125-131
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    • 2009
  • An electrolytic system (zinc anode-gallium cathode) was setup to evaluate the performance of several stirrers prepared for this study, where stirrers have been used to prevent uranium from forming dendrite on the cathode in pyrochemical process. In the case of no-stirring condition, zinc dendrites began to grow on the gallium surface in 1 hour and some dendrite grew out of the cathode crucible around 6 hours. When a rectangular stirrer or a tilt stirrer was rotated, at 40${\sim}$150 rpm, to mix the liquid gallium cathode, dendritic growth of zinc metal was prevented irrespective of revolution speed, but some of the deposits overflowed out of the cathode crucible owing to the large centrifugal forces at 150 rpm. The harrow stirrer did not nearly retard the dendrite growth at 40 rpm, but the dendrite growth was retarded at higher than 100 rpm and the zinc deposits also did not overflow at 150 rpm. Pounder could also prevent the dendrite growth to some extent but it had some difficulties in operation compared with other types of stirrers.

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Synthesis and characterization of perovskite nano-sized (Pb, La)$TiO_3$ powder using mechano chemical process (기계화학공정을 이용한 Perovskite 구조의 (Pb, La)$TiO_3$ 나노 분말 합성 및 특성)

  • Lim, Bo-Ra-Mi;Yang, Jae-Kyo;Lee, Dong-Suk;Noh, Tae-Hyung;Seo, Jung-Hye;Lee, Youn-Seoung;Kim, Hee-Taik;Choa, Yong-Ho
    • Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
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    • v.18 no.5
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    • pp.200-204
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    • 2008
  • Mechano Chemical Process (MCP) skips the calcinations steps at an intermediate temperature that is always required in the conventional solid-state reaction because forming phase from raw powder is activated by mechanical energy. In this study, we prepared (Pb, La)$TiO_3$ nanopowder with perovskite structure by only high energy MCP. Especially, the PLT nanopowder was synthesized without any thermal treatment using oxides, not salts as raw powder. This process is also very simple due to dry milling method, unnecessary to dry of powder. The oxide powder was milled up to 12 hr at intervals of an hour using MCP and the pure PLT phase of perovskite structure was formed after milling time of 3 hr. And the average particle size was 20 nm with narrow distribution after milling time of 3 hr from raw powder of several $\mu m$ with inhomogeneous distribution.