Effect of Gas now Modulation on Etch Depth Uniformity for Plasma Etching of 150 mm GaAs Wafers
![]() |
정필구
(인제대학교 광대역정보통신학과)
임완태 (인제대학교 광대역정보통신학과) 조관식 (인제대학교 광공학과/나노응용기술연구소) 전민현 (인제대학교 광공학과/나노응용기술연구소) 임재영 (인제대학교 광공학과/나노응용기술연구소) 이제원 (인제대학교 광공학과/나노응용기술연구소) 조국산 ((주)클라이오텍) |
1 |
/
DOI ScienceOn |
2 |
/
DOI ScienceOn |
3 |
/
DOI ScienceOn |
4 |
/
|
5 |
/
DOI ScienceOn |
6 |
/
|
7 |
/
|
8 |
/
|
9 |
/
DOI ScienceOn |
10 |
/
|
![]() |