Dependence of Ferroelectric Performance of Sol-Gel Derived $Pb(Zr,Ti)O_3$ Thin Films upon Pt Bottom Electrode Thickness
(Sol-Gel 법으로 증착된 $Pb(Zr,Ti)O_3$ 박막의 강유전 특성에 미치는 Pt 하부전극 두께 영향)
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- Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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- 2002.11a
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- pp.78-78
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- 2002