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대면적 Transformer coupled Plasma Source에서 파워결합에 관한 실험적 연구

  • 김희준;손명근;황용석
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 1998년도 제14회 학술발표회 논문개요집
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    • pp.166-166
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    • 1998
  • 반도체 공정에서 기존보다 큰 30cm 웨이퍼훌 이용하기 위해서 기존의 ECR, Helicon, ICP, 등 공정용 고 밀도 플라즈마 원들의 대면적화에 대한 연구가 세계적으로 진행되고 있다 현 상황에서는 평판형 안테 나룰 이용한 TCP가 대면적용 폴라즈마 원의 가장 유력한 후보로 여겨지고 있다 TCP롤 대면적화 하는 데 있어서 중요한 문제점으로는 대면적에서의 큰 안테나 인되턴스로 인한 임피던스 정합과 대면적에서 의 유전울질의 기계적 강도이다. 앓은 유전물질올 사용힐 수 있도록 대면적 TCP 플라즈마 원올 실계 저l작하였고 이차원 가열이론올 이용한 TCPRP code 률 이용하여 안테나의 반경옳 결정하였디 안테나의 인덕턴스 값올 줄이기 위해서는 주m수는 13.56MHz 보다 낮은 4-5MHz 부근에서 작동하는 RF 파워룰 선택하였다 이 파워 서플라이는 보통 사용되는 50n 흩력 입묘$\mid$던스훌 갖는 형태가 Of니라 LC 공진현상 올 이용하여 부하에 파워률 전달하는 형태이다 .. TCP 장치에 사용할 수 있도록 파워 서플라이 흩력 단에 안테나와 직혈로 가변 콘덴서를 달아서 임11I던스 정합올 힐 수 있게 하였다 안테나에 직훌로 달Of줌으 로써 안테니의 인덕턴스훌 훌여주는 효과훌 얻올 수 있다 안테나에 흐르는 전류룰 측정하기 위해서 사 각형 루프로 전류 픽업 코일을 만들었고 진공상태에서 RF 파워률 인가하고 안테나의 전류와 전압을 측정하여 픽업 코일걸과훌 조정하였다. 발생기체로는 헬륨올 사용하였고 1-100mTorr 의 압력범위에서 실험을 하였다 플라즈마롤 빌샘시키고 파워를 증가 시킴에 따라 E-H mode transition 현상이 관찰되었고 그 때의 임계 전류 값을 측정하였다. 압력이 낮올수록 모드 변화가 일어나는 전류의 값이 작았다 임계 전류는 압력에 대해서 선형적인 특성을 보였다 이는 압력이 낮을수록 유도걸힘이 더 잘 된다는 것을 의미한다 1 1 mTorr에서는 H-mode에서 안테나의 전류가 파워훌 증가시킴에 따라 계속 증가하였으니, 압력이 올라 갈수록 조금씩 증가하는 정도가 줄어들고. 100mTorr에서는 포화된 값을 나타냈다 H-mode로 넘어간 후 에는 파워가 증가황에 따라 안테나의 임피던스 값이 모든 압력영역에서 줄어드는 경황을 보였고, 이는 플라즈마의 인덕턴스에 의해서 안테나의 인덕턴스 기 감소되기 때문이다, 파워가 증가할수록 안테U오} 플라즈마 루프사이의 상호걸합이 증가하는 걸로 해석힐 수 있다 안테나의 인되턴스 변화보다는 저항.성 분의 변화가 컸다 하지만 전체 임피던스로 볼 때 저항성분이 상대적으로 작기 때문에 인덕턴스의 감소 가 더 큰 영향을 미치는 걸로 볼 수 있다. 하지만 플라즈마로의 파워 전달에는 저항성분만이 영향올 미 치므로 저항성분의 큰 변화는 파워가 많이 전달될올 의미한다 피워전달 효율을 계산해 본 결과 수 r mTorr 부근이 80-90% 정도의 높은 효율올 보였고 5mTorr 일 때가 가장 좋았다.

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Multi-locus sequence typing을 이용한 한국에서 분리한 Candida glabrata 임상균주의 유전자 유형 분석 (Genetic Variations of Candida glabrata Clinical Isolates from Korea using Multi-locus Sequence Typing)

  • 강민지;이경은;진현우
    • 생명과학회지
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    • 제30권2호
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    • pp.122-128
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    • 2020
  • Candida albicans가 칸디다 혈증의 주요 원인 균으로 알려져 있지만, 최근에는 non-albicans Candida (NAC)에 의한 심각한 감염이 증가하고 있다. NAC 중에서 C. glabrata는 두 번째로 병원성을 나타내는 원인 균이지만 C. glabrata의 구조, 역학 등의 기본적인 연구는 거의 없는 실정이다. 따라서 본 연구에서는 다양한 유형의 임상 표본으로부터 분리된 총 102개의 C. glabrata균주로 multi-locus sequence typing (MLST)을 수행하였다. FKS, LEU2, NMT1, TRP1, UGP1 및 URA3을 포함한 6개의 하우스키핑 유전자를 증폭하여 염기서열을 분석하였다. 총 3,345개의 DNA 염기서열 중 49개의 가변 염기서열 부위가 발견되었으며, 그 결과 102개의 균주에서 총 12개의 상이한 서열 유형을 확인하였고, 알려지지 않은 서열 유형(USTs) 중 UST1이 가장 많이 나타났다. 이 연구의 결과는 국내 C. glabrata 항생제 처방에 도움이 될 것으로 사료되며, 한국에서 유행하는 C. glabrata에 대한 추가 연구를 위한 기본 역학자료로 사용될 것으로 기대한다.

도심의 휴식공간 및 시설물 디자인 사례연구 (The Case Study for the Designing of the Resting Places in the Urban and the Street Furniture)

  • 호수진;이정현;임은정;최선미;박영순
    • 디자인학연구
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    • 제14권3호
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    • pp.87-96
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    • 2001
  • 우리 나라의 도시 발전을 살펴보면 60년대 이후 개별적인 건물은 발전을 보였으나, 인간을 위한 휴식공간은 거의 도외시 되어왔다. 또한, 기계화·정보화가 심화되면서 사람들은 인간 소외를 느끼게 되는데, 도심지 네 휴식 공간은 새로운 공동체 형성의 기반이 될 수 있다 따라서, 현재 빌딩 술인 도심지 내에 인간이 중심이 되는 휴식 공간에 대한 연구와 개발이 필요하다. 본 연구는 새로운 휴식공간 및 가로시설물의 디자인 제안을 위해 문헌 고찰과 인터넷 검색방법으로 도시민들의 휴식공간 사용 행태와 가로 시설물을 조사하였다. 또한, 이를 바탕으로 인간·자연·환경 기술이 고려된 도심지 내의 휴식공간을 디자인 하고자 하였다. 본 연구의 결과물로 제시되는 도심지 내 휴식공간은 사용자가 공간 내 환경과 상호 작용할 수 있고, 사무에 지친 오피스 워커들을 실외로 유도할 수 있도록 계획되었다. 따라서, 도시민들은 도심지 내에서 뜻밖의 자연환경을 즐길 수 있고, 재충전의 기회를 가질 수 있다 이 공간은 진입유도공간, 휴식공간, 단체공간, 정보탐색 공간, 문화생활공간과 같이 다섯 영역으로 구성되었으며, 각 영역은 그 특성에 맞는 디자인 모티브를 가지고 있어, 가로시설물 및 조경계획은 통일성을 갖도록 하였다. 본 연구에서 특정 대지를 대상으로 하여 계획된 휴식공간은 하나의 프로토 타입으로써 대지 조건에 따라 가변적으로 재배치될 수 있다.

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2차원 확산을 사용하는 다중전송률 MC-DS/CDMA 시스템 (Multirate Multicarrier DS/CDMA with 2-Domain Spreading)

  • 김남선
    • 한국산업정보학회논문지
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    • 제16권4호
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    • pp.27-35
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    • 2011
  • 직교 주파수분할 다중(OFDM)시스템과 직접확산 코드분할다중접속(DS/CDMA)시스템이 결합된 다중반송파(MC) DS/CDMA 시스템은 대역폭 효율, 고 전송률과 페이딩에 강한 특성으로 많은 주목을 받고 있다. 본 논문에서는 시간영역과 주파수영역에서 확산을 수행하는 다중전송률 MC-DS/CDMA 시스템에서 복잡성이 감소된 다중사용자 검출기를 살펴본다. 여기서 시간영역과 주파수영역의 확산부호로는 2차원 직교 가변확산부호(OVSF)로부터 만들어진 1차원 OVSF 코드를 사용한다. 제안된 시스템에서는 다중사용자간섭(MUI)을 감소시키기 위해 코드그룹 간섭제거(CGIC) 수신기를 사용하는데, 이 CGIC 수신기는 1차원 OVSF 코드들의 상관특성을 이용하여 코드 그룹이라는 개념을 사용하여 다른 사용자들의 정보 없이도 사용자 선호를 검출할 수 있는 수신기이다. CGIC를 갖는 다중사용자 검출기가 시간 및 주파수영역에 따로 또는 같이 적용될 것이다. AWGN 채널 환경 하에서 시스템의 성능을 분석하며, 단일(다중) 전송률, 다중사용자를 갖는 시간/주파수 영역에서 확산된 MC-DS/CDMA과 비교할 것이다. 이러한 결과로서 기존의 정합검출기에 비해 제안된 시스템의 성능이 향상됨을 알 수 있다.

무선 멀티 홉 비디오 스트리밍을 위한 모니터링 기반의 네트워크 적응적 FEC 코디네이션 (Monitoring-based Coordination of Network-adaptive FEC for Wireless Multi-hop Video Streaming)

  • 최고;유재용;김종원
    • 한국통신학회논문지
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    • 제36권2A호
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    • pp.114-126
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    • 2011
  • 무선멀티홉네트워크(WMNs)는 무선 채널의 페이딩 및 가변적인 대역폭에 의해 패킷 손실 및 전송 지연에 의해 비디오 스트리밍의 성능이 저하된다. 고품질의 비디오 스트리밍의 성능을 보장하기 위해 FEC (Forward Error Correction) 기반의 네트워크 적응적인 비디오 스트리밍 기법이 제안되어 왔다. 종단간 FEC와 홉간의 FEC 기법 등을 사용하는 기존 네트워크 적응 기법들은 제한적인 모니터링 정보에 기반 하므로 스트리밍 경로의 전체적인 상태를 반영하기 힘들다. 본 논문에서는 WMNs 환경에서 모니터링 기반의 네트워크 적응적 FEC 코디네이션을 이용하여 모니터링을 통해 경로 전체의 네트워크 상태를 판별한 후 적응적으로 특정 홉으로부터 종단까지 제어하는 H2E(hop-to-end) FEC 기법을 제안한다. H2E-FEC 기법은 FEC의 시작노드와 중복도(redundancy)를 네트워크 상태에 따라 적절히 결정해야 하며, 이를 위해 중앙집중형 코디네이터를 활용해 획득한 정확한 모니터링 정보를 바탕으로 H2E-FEC를 위한 코디네이션을 적용한다. 제안된 기법은 OMF(Orbit Measurement Framework) 기반의 WMN 테스트베드에서 다수의 실험을 통해 검증하며, 강압적인 네트워크 환경에서 H2E-FEC가 기존의 E2E 및 HbH-FEC 기법에 비해 패킷 복구율 및 전송 지연 시간에 의한 복잡성에서 높은 성능을 나타낸다. 구축된 테스트베드 환경에서 코디네이터를 적용한 후 E2E-FEC 기법에 비해 패킷 복구율이 약 17% 향상됨을 보인다.

포트랜드 시멘트를 이용한 천연 지올라이트 미분의 입단화 (Granulation of Natural Zeolite Powder Using Portland Cement)

  • 김수정;장용선;옥용식;오상은;양재의
    • 한국환경농학회지
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    • 제26권3호
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    • pp.259-266
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    • 2007
  • 천연 지올라이트를 파쇄하여 일정한 크기의 입제를 생산하는 과정에서 부가가치가 낮은 다량의 미분이 부산물로 발생하고 있다. 본 연구에서는 분말의 천연 지올라이트를 토양 개량제나 폐수처리제의 활용성을 증대시키기 위해 포트랜드 시멘트를 접착제로 혼합하고 열처리하여 재입단화 하였다. 본 실험에 사용한 천연 지올라이트는 경북 영일만 일대에서 산출된 것으로 규반비(Si/Al) 4.8, 양이온치환용량(CEC) 68.1 cmol $kg^{-1}$이었고, clinoptilolite, mordenite이 주 광물이었으며, 기타 smectite, feldspar, quartz 등으로 이루어져 있다. 입상 지올라이트는 미분의 천연 지올라이트에 25%의 포트랜드 시멘트를 접착제로 혼합하고 토련기로 성형한 후 입단화 하였다. 이 시료는 $25^{\circ}C$에서 30일간 양생하고 $400^{\circ}C$에서 3시간 동안 열처리하였을 때 가장 효율적으로 나타났다. 입상의 지올라이트를 조제하는 과정에서 비정질의 산화광물이 생성되어 지올라이트 입단의 X-선 회절폭이 넓게 나타났고, 천연 지올라이트에 알칼이와 열처리한 시료에서는 가변전하 특성을 나타났다. 지올라이트 입단의 주요한 광물은 clinoptilolite, mordenite, tobermorite였고 천연 지올라이트와 비교해 볼 때 pH 완충력과 전하밀도가 증가하였다.

해양플랜트 전력시스템의 고조파 비교분석에 관한 연구 (A Comparative Study on Power System Harmonics for Offshore Plants)

  • 김덕기;이원주;김종수
    • 해양환경안전학회지
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    • 제22권7호
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    • pp.900-905
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    • 2016
  • 해양구조물에 전기 안전사고가 급증하면서 전력시스템 고조파 분야가 최근 많은 관심 받고 있다. 이것은 주로 비선형 (또는 고조파 생성) 부하가 일반적인 산업플랜트 전력시스템에서 계속 증가되고 있기 때문이다. 해양플랜트에서는 전력시스템의 안전설계로 인하여 고조파 문제의 발생률은 낮지만, 고조파 문제에 대한 인식은 전력시스템 설계의 신뢰성을 향상시키는데 여전히 도움이 될 수 있다. 전력시스템에 고조파 문제가 드물게 발생되는 경우, 이는 생성된 고조파의 크기 혹은 전력시스템의 공진 때문이다. 이 고조파 비교분석에 관한 연구는 전력부하를 고려한 부유식 액화천연가스 생산 저장 하역 (FLNG) 설비의 하역 운전 시나리오에 대한 전기적인 구성으로 비교분석하였다. 전기적인 네트워크 구성은 전기적인 네트워크 부하 흐름에서 볼 수 있다. 본 연구는 해양플랜트 전력시스템의 안전을 보장하기 위해 전기 모터 시스템의 고조파 효율에 초점을 맞추어 전력시스템 성능을 시뮬레이션을 통해 검증하였다. 또한, 본 연구의 설계분야에서도 운전 및 유지 보수의 향상시키기 위해 FLNG 설비의 전력시스템을 분석하였다.

CMS의 사용자 로그를 이용한 패턴 분석 방법 연구 (A Study on the Pattern Analysis Method using the User Log on the CMS)

  • 문동열;박구락;김동현;정진영
    • 디지털융복합연구
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    • 제14권11호
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    • pp.275-281
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    • 2016
  • 급속히 발전하고 있는 현대사회에서는 다양한 스마트 디바이스의 출현으로 원하는 정보의 획득이 용이해졌으며, 웹을 기반으로 하는 콘텐츠를 이용하는 빈도가 급속히 성장하고 있다. 또한 기업들은 웹 기반 하에서 CMS를 이용하여 콘텐츠를 생산, 수정하는 형태로 바뀌고 있고, 사용자에게 콘텐츠를 제공하는데 있어 매우 중요한 부분이라 할 수 있다. 현재 웹 서비스는 각종 디바이스에 맞게 UI를 설계하고 제공하고 있으며, 이용 편이성을 향상하기 위하여 설문 조사 및 전체 사용자 패턴을 분석하여 서비스를 개선하고 있는 실정이다. 즉 UX를 고려하지 않고 기술적인 측면에서 설계되는 경향이 대부분이라 할 수 있다. 이에 본 논문에서는 전체 사용자의 패턴 분석으로 웹 서비스에 적용하는 한계를 탈피하여 개인 사용자의 이동 패턴 및 사용 패턴을 기반으로 애니메이션을 통하여 비주얼화 하는 시스템을 제안한다. 이러한 융복합을 통하여 웹 관리자 및 기획연구자 측면에서 UX를 사용자 중심으로 변화시킬 수 있을 것으로 기대된다.

디클로로메탄과 초임계 이산화탄소의 혼합용매에서 Simvastatin 약물의 상거동과 초임계 역용매 공정을 이용한 Simvastatin 약물 미세입자의 제조 (Phase Behavior of Simvastatin Drug in Mixtures of Dichloromethane and Supercritical Carbon Dioxide and Microparticle Formation of Simvastatin Drug Usins Supercritical Anti-Solvent Process)

  • 오동준;이병철
    • 청정기술
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    • 제13권1호
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    • pp.34-45
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    • 2007
  • 고지혈증 치료제로 잘 알려져 있는 난용성 약물인 심바스타틴(simvastatin)을 대상으로 디클로로메탄을 용매로 사용하고 초임계 이산화탄소를 역용매로 사용하는 초임계 역용매 재결정법에 의해 약물 미세입자를 제조할 때, 운전 조건을 설정하는데 활용될 수 있는 가이드 라인을 제공하기 위하여 simvastatin/디클로로메탄/초임계 이산화탄소 3성분계 혼합물의 상거동을 연구하였다. 가변부피 투시 셀이 장착된 고압 상평형 장치를 사용하여 여러 가지 조건에서 3성분계 혼합물의 구름점(cloud point)을 측정함으로서 디클로로메탄과 초임계 이산화탄소의 혼합용매에서 simvastatin의 용해도를 온도, 압력, 용매 조성의 함수로 결정하였다. 주어진 온도에서 Simvastatin 약물의 용해도는 디클로로메탄의 조성과 압력이 증가할수록 온도가 감소할수록 증가하였다. 상거동 데이터를 바탕으로 교반기가 설치된 실린더 모양의 고압 용기에서 초임계 역용매 재결정 공정을 이용하여 simvastatin 약물을 미세입자로 제조하는 연구를 수행하였다. 운전 조건인 압력 ($8{\sim}12\;MPa$), 온도(303.15 K, 313.15 K), 이산화탄소 공급 속도, 교반 속도 (최대 3,000 rpm)를 변화시키면서 simvastatin 미세입자를 제조함으로써 재결정되는 약물 입자의 크기와 모양에 미치는 공정 변수들의 영향을 관찰하였다.

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지형학적 순간단위도(GIUH)에 의한 강우-유출해석 (A Study on Rainfall-Runoff Analysis by Geomorphological Instantaneous Unit Hydrograph (GIUH))

  • 최흥식;박정수;문형근
    • 한국방재학회 논문집
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    • 제6권1호
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    • pp.49-58
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    • 2006
  • 본 연구는 미계측이나 자료가 결핍된 유역에서 지리정보시스템을 이용하여 유역의 지형학적 매개변수를 얻어 유도된 지형학적 순간단위유량도에 의한 강우-유출의 특성을 분석하였다. 횡성댐 상류 섬강시험유역에서 얻어진 실측자료를 사용하였고, 직접유출을 분석하기 위하여 가변기울기법을 이용하였다. 아울러 4차 하천유역인 섬강시험유역은 Horton-Strahler의 차수법칙에 따라 일정한 규칙을 가지고 발달한 수계임을 확인하였다. GIUH의 사용에 따른 섬강시험유역의 규모계수 결정식의 변형을 하였고, 유출특성속도는 1.0m/s으로 나타났다. 4차 하천유역인 섬강시험유역의 출구인 매일교수위국과 3차 하천유역의 출구인 소군교와 농거리교수위국에서의 GIUH에 의한 수문곡선은 첨두시간이후의 유역의 저류능에서 약간의 차이를 보이나, 실측값과의 비교에서 잘 일치하였다. 아울러 유역을 보다 세분화하여 적용한 GIUH모형에 의한 수문곡선을 상류유입수문곡선으로 하여 HEC-HMS를 이용하여 수문 추적한 결과가 전체유역을 대상으로 한 GIUH모형에 의한 수문곡선보다 실측치에 잘 일치하였다. 전반적으로 GIUH에 의한 강우-유출해석은 미계측 유역에 사용성이 있는 것으로 평가된다.