• 제목/요약/키워드: 가공 온도

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Cu CMP에서 온도가 재료 제거율에 미치는 영향 (Effects of Temperature on Removal Rate in Cu CMP)

  • 박인호;이다솔;정선호;정해도
    • 한국기계가공학회지
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    • 제17권6호
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    • pp.91-97
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    • 2018
  • Chemical mechanical polishing(CMP) realizes a surface planarity through combined mechanical and chemical means. In CMP process, Preston equation is known as one of the most general approximation of the removal rate. Effects of pressure and relative speed on the mechanical property of Cu CMP has been investigated. On the other hand, The amount of abrasion also increased with changes in pressure and speed, resulting in a proportional increase of temperature during CMP. Especially this temperature is an important factor to change chemical reaction in a Cu CMP. However, when the slurry temperature became higher than $70^{\circ}C$, the removal rate went lower due to abrasives aggregation and scratching occurred on the Cu film. Therefore, it was found that the slurry temperature should not exceed $70^{\circ}C$ during Cu CMP. Finally, authors could increase the pressure, speed and slurry temperature up to a ceratin level to improve the removal rate without surface defects.

초고압 가공처리의 가열 효과

  • 홍석인
    • 식품기술
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    • 제15권2호
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    • pp.107-111
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    • 2002
  • 초고압 가공처리는 별동의 화학 보존제를 사용하지 않고도 저온에서 식품유래 미생물을 사멸시킬 수 있기 때문에 식품분야에서 주목받는 새로운 가공기술이다. 이러한 초고압 처리의 장점 덕분에 관능적 특성이 우수하고 영양성분이 그대로 보존되는 고품질 식품의 제조도 가능하다. 고압 조건에서의 미생물 사멸정도를 측정하기 위해서는 흔히 실험실 규모의 장비(그림 1)을 사용하여 소량의 미생물 접종액을 처리함으로서 대량 처리시(그림 2)의 양상을 예측할 수 있다. 초기에 개발된 실험실 귬의 초고압 처리장비에는 일반적으로 고압용기 내부에 온도감지 장치가 부착되어 있지 않아, 압력 조건 하에서의 압축발열 및 순간 감압냉각 효과가 제대로 보고되지 않았다. 그러나 가열효과를 고려하지 않으면 초고압 처리기 특유의 가압 특성 대문에 실험 결과의 재현성을 얻기가 힘들고, 특히 대용량 생산설비의 경우 더욱 그러하다. 이론적으로 초고압 처리는 매우 예측 가능한 공정이다. 즉 고압요기 내부에서는 어느 지점이던 간에 압력이 고르게 분포되고, 가열 확산에 근거한 처리공정과는 달리 압력이 모든 지점에 순간적으로 공정상 불균일이 야기될 소지가 있는 부분은 오직 압축에 다른 발열과 열 전달에 의한 온도 편차에 기인한다. 실제로 처리 대상 제품과 압력 전달매체의 압축시 발열정도 차이와 시료, 매체, 고압용기 간의 열 손실 또는 열 흡수 대문에 고압처리 공정에서 온도가 일정하지 않을 수 있다.

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원적외선 가공

  • 이영희;김문식
    • 한국염색가공학회지
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    • 제8권2호
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    • pp.71-77
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    • 1996
  • 최근 원적외선에 대한 붐이 일고 있다. 그 원인은 다양하게 생각할 수 있지만 주요한 원인은 무엇보다도 불황을 타개하려는 기업의 신규사업이다. 특히 섬유 업계에 있어서는 종래의 제품만으로는 발전이 없고, 그 존속마저도 위태로운 상황이다. 이와 같은 배경 아래 섬유 관련 업계에서는 새로운 기능을 부여한 상품의 개발에 여념이 없다. 이들 기능성 섬유의 하나가 원적외선 섬유이다. 원적외선은 1800년 독일 과학자 하셀이 태양광을 스펙트럼으로 나누는 연구 중 눈에 보이는 파장중 적색의 외측에서도 한온계에 감지되는 열선이 있는 것을 발견했다. 그 열선은 눈에는 보이지 않지만 적색광보다는 한온계의 온도 상승이 큰 것을 알았다. 적색광 외측에 있는 열선으로 다른 사람들은 이것을 적외선이라 불렀지만 맥스웰에 의해서 적색광도 적외선과 같은 전자파로서 이론 체계를 붙이게 되었다.

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대형 베벨기어의 3차원 단조공정 및 단조 금형 설계

  • 정덕진;김정환;이종억;박세군
    • 한국추진공학회:학술대회논문집
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    • 한국추진공학회 1999년도 제12회 학술강연회논문집
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    • pp.26-26
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    • 1999
  • 가장 오래된 금속성형법 중의 하나인 열간 단조는 재결정온도-고상선(강재의 경우, 일반적으로는 1,200-l,28$0^{\circ}C$)의 온도로 재료를 가열하여 간단한 형상의 소재로부터 하나 또는 둘 이상의 공정을 통하여 최종제품을 생산해내는 소성가공법이며, 이것은 절삭 가공에 비하여 재료의 손실이 적으며, 생산속도가 빠르고 또한 단류선(flow line)의 방향으로 인장강도, 충격강도 등의 기계적 강도가 커야 할 필요가 있는 제품의 대량 생산에 적합한 가공법이다.

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기계 공작유의 첨가제에 관한 고찰

  • 강석춘
    • Tribology and Lubricants
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    • 제5권2호
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    • pp.32-41
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    • 1989
  • 기계 공작의 목적은 금속을 필요에 따라 새로운 형태로 가공하려는 것이다. 보통 이 과정은 공구와 가공물의 두 고체간 접촉에 의해서 이루어지게 된다. 이때 상호접촉은 금속의 소성유동이나 필요 없는 부분을 제거(절삭 가공)하도록 하므로써 새로운 형태로 만드는 과정을 의미한다. 새로운 모양을 만드는데는 높은 마찰과 높은 온도 및 공구의 마모를 동시에 수반한다. 따라서 기계공작유는 이러한 작업 과정의 효과적인 수행과 전반적인 능률에 영향을 미치게 된다. 소성 가공과정에서는 금속의 연성에 의해서 재료가 파괴됨 없이 가공물을 변형 하므로써 모양을 변화 시킨다. 여기에는 연속 과정과 불연속 상태 과정으로 구분되고 그에 따라 윤활의 목적이 다르게 된다. 기계 공작유에 관한 참고 서적은 많이 있으나, 공작유 첨가제의 화학작용과 그 기능에 관한 것은 거의 없고, 부분적인 논문은 많이 있으나 정리된 것은 많지 않아서 이 모든 자료에 의해 가공융의 첨가제에 관련된 화학 작용등 중요 사항을 구체적으로 살펴 보기로 한다.

보리의 Extrusion 가공적성 (Properties of Barley for Extrusion Processing)

  • 이동선;라조균;서기봉
    • Applied Biological Chemistry
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    • 제25권3호
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    • pp.119-125
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    • 1982
  • 피스톤형의 extruder를 사용하여 조건별 보리의 extrusion 가곡적성을 검토하였다. 비교 검토된 가공조건으로서는 원료 보리가루의 수분함량 15, 25, 35%, 겉보기 전단속도 118, 534, $1169sec^{-1}$, extrusion 온도 90, 120, 150, $180^{\circ}C$가 조합되어 사용되었다. extrusion에서의 보리가루의 물성적 특성과 가공된 제품의 품질을 측정하였다. 사용된 전단속도 범위에서 보리가루는 평균유동계수 0.28을 갖는 의가소성의 물성적 특성을 보여주고 있었다. 제품의 종합적 외관, 다이 팽윤(die swell), 밀도, 가수복원성, 복원시 팽윤, 호화도등을 고려하고, 실제의 extrusion가공시 전단속도의 조정을 감안한다면 수분함량 $25{\sim}35%$$120^{\circ}C$ extrusion 온도 조건이 국수류와 같은 제품에 적합한 가공조건이었고, 수분함량 25%와 $150^{\circ}C$ extrusion온도 조건이 스넥이나 후레이크 제품의 가공에 좋은 것으로 나타났다. 고온의 고수분함량에서의 extrusion시 extrusion제품의 수분함량은 에너지수지로부터 상당히 잘 예측될 수 있었다.

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Stress Relaxation Behavior of Cold-worked and Annealed Zircaloy-4 Tubing

  • Rheem, K.S.;Choi, C.B.;Park, W.K.
    • Nuclear Engineering and Technology
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    • 제8권4호
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    • pp.203-207
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    • 1976
  • 질칼로이-4에 있어서 flow stress strain rate 의존성을 냉간가공 및 소둔된 시편에 대해 20$0^{\circ}C$-45$0^{\circ}C$ 온도 구간에서 응력이완 실험으로 조사하였다. 전체 실험온도에서 In-3-ln i 관계식은 $10^{-5}$-$10^{-3}$ sec$^{-1}$ strain rate의 구간에 걸쳐 선형관계를 보였다. 냉간 가공된 질칼로이 -4의 strain rate sensitivity, m값은 30$0^{\circ}C$에서 최소값을 보인 반면, 소둔된 시편의 경우 30$0^{\circ}C$와 45$0^{\circ}C$에서 최소값들을 보였다. 최소값의 m이 나타나는 온도는 가공시효값이 극대값을 보이는 온도와 일치한다는 사실이 확인되었다. m값의 감소는 활동자유전위들이 산소원자에 의해 pinning된 결과로 유발되는 가공 시효와 관련된 것으로 고려된다. 그리고 소둔된 시편이 45$0^{\circ}C$에서 가지는 최소 m값은 철 원자들로 인한 가공 시효에서 기인된 것으로 생각된다.

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가스터빈 부품 단조 기술 (Hot Forging of Gas Turbine Components)

  • 박노광;염종택;나영상;김인수
    • 한국소성가공학회:학술대회논문집
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    • 한국소성가공학회 1999년도 단조 심포지엄
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    • pp.51-64
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    • 1999
  • 가스터빈에 사용되는 소재는 여타 금속소재에 비하여 고온 기계적 특성은 우수한 반면 상대적으로 단조성이 떨어지기 때문에, 금속소재의 단조성에 대한 이해와 단조 공정별 장단점을 파악하여 단조공정 설계에 반영하여야 한다. 가스터빈용 Ni합금의 경우 고온기계적 성질은 결정립 크기에 크게 의존한다. 결정립 크기는 기계적 성질에 직접적으로 영향을 미치는데, 동적재결정의 경우 초기 결정립크기, 변형률, 변형속도, 온도 뿐만 아니라 결정립계에 석출된 제2상에 의해서 크게 영향을 받기 때문에 이들 상의 고용온도를 파악하여 단조공정 설계에 반영하여야 한다. 유한요소법으로 변형률과 온도분포를 해석함으로써 단조품 내의 결정립 분포를 효과적으로 예측할 수 있다. 다단계 단조 경우, 최종 단조품의 결정립 크기는 단계별 단조 온도 및 변형률 배분 등에 따라 변하므로 이를 고려하여야 한다.

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