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Evaluation of a Wafer Transportation Speed for Propulsion Nozzle Array on Air Levitation System

  • Moon, In-Ho;Hwang, Young-Kyu
    • Journal of Mechanical Science and Technology
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    • 제20권9호
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    • pp.1492-1501
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    • 2006
  • A transportation system of single wafer has been developed to be applied to semiconductor manufacturing process of the next generation. In this study, the experimental apparatus consists of two kinds of track, one is for propelling a wafer, so called control track, the other is for generating an air film to transfer a wafer, so called transfer track. The wafer transportation speed has been evaluated by the numerical and the experimental methods for three types of nozzle position a..ay (i.e., the front-, face- and rear-array) in an air levitation system. Test facility for 300mm wafer has been equipped with two control tracks and one transfer track of 1500mm length from the starting point to the stopping point. From the present results, it is found that the experimental values of the wafer transportation speed are well in agreement with the computed ones. Namely, the computed values of the maximum wafer transportation speed $V_{max}$ are slightly higher than the experimental ones by about $15{\times}20%$. The disparities in $V_{max}$ between the numerical and the experimental results become smaller as the air velocity increases. Also, at the same air flow rate, the order of wafer transportation speeds is : $V_{max}$ for the front-array > $V_{max}$ for the face-array > $V_{max}$ for the rear-array. However, the face-array is rather more stable than any other type of nozzle array to ensure safe transportation of a wafer.

SERKOWSKI'S EMPIRICAL RELATION FOR INTERSTELLAR LINEAR POLARIZATION VIEWED FROM DAVIS-GREENSTEIN ALIGNMENT MECHANISM

  • Hong, Seung-Soo;Lee, Hyung-Mok
    • 천문학회지
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    • 제11권1호
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    • pp.31-36
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    • 1978
  • Although Serkowski used a single value K=1.15 in representing all the observed interstellar linear polarization curves by his empirical relation $p({\lambda})/P_{max}$=exp (-K $1n^2({\lambda}_{max}/{\lambda})$), where $p_{max}$ is the maximum polarization at wavelength ${\lambda}_{max}$, we have noticed a meaningful variation in K from observations of 72 stars. By comparing K's with $P_{max}/E_{B-V}\;and\;with\;{\lambda}_{max}$, we have examined how the shape of the polarization curve is related with the degree of grain alignment on one hand, and with grain sizes on the other. We have shown that correlations between K, $P_{max}/E_{B-V}\;and\;with\;{\lambda}_{max}$, are consistent with the idea of Davis-Greenstein mechanism for grain alignment.

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압전 초음파 전동기의 고정자 구조에 따른 회전 특성 (Revolution Characteristics of Piezoelectric Ultrasonic Motor with Stator Configuration)

  • 박만주;김진수
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 1998년도 추계학술대회 논문집 학회본부 C
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    • pp.749-751
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    • 1998
  • In this study, the wind-mill type ultrasonic motor was fabricated, and then revolution and temperature characteristics of the ultrasonic motor were measured. Brass metal was pressed with umbrella-type using metal mold, then slot of 4 kind was processed in each of thickness. Among sixteen's ultrasonic motors, heat loss on applied voltage was much at stator of the highest resonant point, but heat loss on applied voltage was almost neglected at the lowest resonant point of stator. The thickener thickness of elastic body, revolution speed was decreased. The more slot of elastic body, revolution speed was increased. Applied voltage was changed from $10V_{max}$ to $100V_{max}$. When applied voltage was under $20V_{max}$, ultrasonic motor was not rotated. When applied voltage was over $90V_{max}$, revolution of ultrasonic motor was saturated. Maximum revolution speed was 510[rpm].

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혈액 물류센터 위치 선정 문제 (Facility Location Problem for Blood Logistics Center)

  • 이상운
    • 한국인터넷방송통신학회논문지
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    • 제12권2호
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    • pp.135-143
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    • 2012
  • 요본 논문은 혈액의 총 배송비용 최소화와 배송 허용시간 $T^*$ 조건을 만족시키는 최적의 물류센터 위치를 결정하는 알고리즘을 제안하였다. Zhang과 Yang은 각 지역에서 최대 거리에 위치한 2개 지점의 평균값이 배송제약시간보다 작은 지점의 위치를 이동시키는 방법을 제안하였으나 최단거리 계산 오류로 인해 물류센터 위치를 잘못 선정하였다. 제안된 알고리즘은 지역 간 최단거리 $l_{ij}$를 구하여 $_{max}l_{ij}{\leq}L^*$인 지점과 $l_{ij}>L^*$인 경로 $P_{ij}=v_i,v_k,{\cdots},v_l,v_j$에 대해 ($v_i,v_k$)와 ($v_j,v_l$)로 $l_{ij}-L^*$ 위치를 이동시킨 지점들 중에서 $_{max}l_{ij}{\leq}L^*$인 지점들을 최종 후보 물류센터 위치로 결정하였다. 이들 후보 지점들 중 총 배송비용이 최소가 되는 지점을 최적의 물류센터 지점으로 결정하였다.

소음영 진폐증 환자에서의 등기류용량(Volume of Isoflow)의 변화 (Change of Volume of Isoflow in Pneumoconiosis Patients with Small Opacity)

  • 오상용;김지원;정장영;김경아;윤임중
    • Tuberculosis and Respiratory Diseases
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    • 제40권5호
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    • pp.540-547
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    • 1993
  • 연구배경 : 통상적인 폐기능 검사에 이상이 없는 초기단계의 단순 진폐증 환자들에서 세소기관지의 기능장애를 조기발견하는데 유용한 방법으로 알려진 등기류용량을 측정하여 분진작업에 기인한 세소기도 장해 여부를 알아보고 진폐증 환자들을 조기 관리하는데 등기류용량 측정의 적용에 대한 타당성 여부를 알아보고자 하였다. 방법 : FEV1 80% 이상, FEV1/FVC 75% 이상인 분진폭로군 67명과 분진폭로력이 없는 20명을 대상으로 실내 공기 흡입 및 80% Helium과 20% 산소의 혼합가스 흡입 후 측정한 각각의 최대호출기류량곡선(maximal expiratory flow volume cuve)에서 ${\Delta}V_{max50},\;{\Delta}V_{max75},\;V_{iso}V/VC$을 구하여 진폐증 category 별로 대조군과 비교하였다. 결과: 1) 대조군에 비하여 전체 분진폭로군에서 ${\Delta}V_{max50}$${\Delta}V_{max75}$은 유의한 차이가 없었지만 $V_{iso}V/VC$은 현저하게 (p<0.01)증가되어 $V_{iso}V/VC$이 세소기도의 기능장해를 조기발견하는데 가장 유용한 지수임을 알 수 있었다. 2) 비흡연자를 포함한 분진폭로군과 흡연자만으로 이루어진 분진폭로군에서 $V_{iso}V/VC$의 분석결과가 매우 상이한 것으로 보아 흡연이 세소기관지병변을 초래하는데 중요한 요인으로 작용하였다. 4) 분진폭로군에서 흉부방사선사진상 진폐음의 조밀도가 증가함에 따라 $V_{iso}V/VC$이 증가되었으나 각각의 categry에서는 서로간에 유의한 차이가 없어 진폐음영의 조밀도와 세소기도 장해와는 유의한 연관성이 없었다. 4) 분진작업에 종사한 근무 기간과 $V_{iso}V/VC$의 증가와는 유의한 연관성이 없었다. 결론 : 단순진폐중 환자들에서 통상적인 폐기능검사에 이상소견이 없는 경우 등기류용량($V_{iso}V/VC$)을 측정하여 세소기도의 기능장애를 파악함으로써 진폐증의 조기관리에 도움이 될것으로 생각된다.

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3상 매트릭스 컨버터에 사용되는 옵셋전압 PWM방법과 $V_{max}-V_{mid}$ PWM 방법의 비교분석 (Comparative Analysis of Offset Voltage PWM and $V_{max}-V_{mid}$ PWM Method for 3 Phase Matrix Converter)

  • 차한주;김우중
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 2008년도 제39회 하계학술대회
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    • pp.932-933
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    • 2008
  • 본 논문에서는 매트릭스 컨버터의 두가지 전압 변조 방법을 직관적이고 직접적인 그래픽적 접근을 통해 비교 분석한다. 전압 변조에 있어서 옵셋전압 PWM방법은 캐리어비교를 기본으로 하여 옵셋전압을 더함으로써 전압 변조를 하고, $V_{max}-V_{mid}$ PWM 방법은 샘플링 주기내에서 한상을 고정시키고 나머지 두 상을 온-오프 하는 방식으로 전압 변조를 한다. 이 과정에서 중요한 두가지 특징이 전류 리플과 스위칭 손실이고, 전류 리플과 관련해서 각변조 방법의 고조파 전압을 그래프로 그려 분석한다.먼저 출력지령전압 벡터와 각 스위칭 영역별 벡터간의 차에 의한 고조파 성분을 스위칭 한주기내에서 벡터도를 그리고, 그 다음으로 출력전압 위상각과 전압 변조율을 달리 하여 각각의 고조파 전압 그래프를 그려 비교 분석해 보았다.

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비상 베타선량계의 에너지에 따른 피부 선량평가 알고리즘 개발

  • 조천형;이원근;김종수;윤석철
    • 한국원자력학회:학술대회논문집
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    • 한국원자력학회 1996년도 춘계학술발표회논문집(4)
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    • pp.63-68
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    • 1996
  • 열형광 선량계(TLD)를 사용한 피부 선량평가는 베타선의 에너지를 구분함으로 정확히 평가된다. 이는 차폐체에 의한 감쇄효과를 이용하는 방법으로 본 논문에서는 7개의 두께가 다른 알루미늄 차폐체를 사용하였고, TLD로는 미국 Teledyne Isotopes사의 LiF$_{7}$ 선량계를 채택하였다. 비상 베타 선량계의 베타선에 대한 특성실험을 위해 한국 원자력연구소가 확보 하고 있는 PTB 표준선원인 $^{90}$ Sr/ $^{90}$ Y (E$_{max}$=2.27MeV, E$_{avg}$=0.8MeV), $^{204}$Tl(E$_{max}$=0.76MeV, E$_{avg}$=0.26MeV), $^{147}$ Pm (E$_{max}$= 0.225MeV, E$_{avg}$=0.06MeV)에 대한 조사를 하였다. 이런 결과로 비상 베타 선량계의 표준 베타선원에 대한 보정계수와 소자별 반응비를 구할 수 있었고, 이것을 이용하여 미지의 베타선원에 대하여 정확한 선량평가를 하기위한 알고리즘을 개발하였다.

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Dependence of Halo Properties on Galactic Potentials

  • Kim, Youngkwang;Lee, Young Sun;Beers, Timothy C.
    • 천문학회보
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    • 제42권2호
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    • pp.51.1-51.1
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    • 2017
  • We present the dependence of halo properties on two different Galactic potentials: the $St{\ddot{a}}ckel$ potential and the Milky Way-like potential known as "Galpy". Making use of the Sloan Digital Sky Survey Data Release 12 (SDSS DR12), we find that the shape of the metallicity distribution and rotation velocity distribution abruptly changes at 15 kpc of $Z_{max}$ (the maximum distance of stellar orbit above or below the Galactic plane) and 32 kpc of $r_{max}$ (the maximum distance of an orbit from the Galactic center) in the $St{\ddot{a}}ckel$, which indicates that the transition from the inner to outer halo occurs at those distances. When adopting the $St{\ddot{a}}ckel$ potential, stars with $Z_{max}$ > 15 kpc show a retrograde motion of $V_{\phi}=-60km\;s^{-1}$, while stars with $r_{max}$ > 32 kpc show $V_{\phi}=-150km\;s^{-1}$. If we impose $V_{\phi}$ < $-150km\;s^{-1}$ to the stars with $Z_{max}$> 15 kpc or $r_{max}$> 32, we obtain the peak of the metallicity distribution at [Fe/H] = -1.9 and -1.7 respectively. However, there is the transition of the metallicity distribution at $Z_{max}=25kpc$, whereas there is no noticeable retrograde motion in the Galpy. The reason for this is that stars with high retrograde motion in the $St{\ddot{a}}ckel$ potential are unbound and stars with low rotation velocity reach to larger region of $Z_{max}$ and $r_{max}$ due to shallower potential in the Galpy. These results prove that as the adopted Galactic potential can affect the interpretation of the halo properties, it is required to have a more realistic Galactic potential for the thorough understanding of the dichotomy of the Galactic halo.

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Ascophyllum nodosum and its symbionts: XI. The epiphyte Vertebrata lanosa performs better photosynthetically when attached to Ascophyllum than when alone

  • Garbary, David J.;Miller, Anthony G.;Scrosati, Ricardo A.
    • ALGAE
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    • 제29권4호
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    • pp.321-331
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    • 2014
  • Vertebrata lanosa is an abundant and obligate red algal epiphyte of Ascophyllum nodosum that forms part of a complex and highly integrated symbiotic system that includes the ascomycete, Mycophycias ascophylli. As part of ongoing studies to resolve interactions among species in the symbiosis, we used pulse amplitude modulation fluorimetry of chlorophyll a fluorescence, from photosystem II (PSII), to measure the maximum quantum yield ($F_v/F_m$) of PSII [$QY(II)_{max}$] and relative photosynthetic electron transport rates (rETR), as a function of light intensity, in order to evaluate the photosynthetic capacity of the two algal symbionts in the field and in the laboratory under different treatments. Our primary question was 'Is the ecological integration of these species reflected in a corresponding physiological integration involving photosynthetic process?' In the laboratory we measured changes in $QY(II)_{max}$ in thalli of V. lanosa and A. nodosum over one week periods when maintained together in either attached or detached treatments or when maintained separated from each other. While the $QY(II)_{max}$ of PSII of A. nodosum remained high and showed no significant variation among treatments, V. lanosa showed decreasing performance in the following conditions: V. lanosa attached to A. nodosum, V. lanosa in the same culture, but not attached to A. nodosum, and V. lanosa alone. These results are consistent with observations in which rETR was reduced in V. lanosa maintained alone versus attached to A. nodosum. Values for $QY(II)_{max}$ in V. lanosa measured in the field in fully submerged thalli were similar to those measured in the laboratory when V. lanosa was attached to it obligate host A. nodosum. Our results provide evidence of a physiological association of the epiphyte and its host that reflects the known ecology.

RPCVD를 이용한 실리콘 게르마늄 이종 접합 바이폴라 트랜지스터 제작 및 특성 분석 (Fabrication and characterization of the SiGe HBTs using an RPCVD)

  • 한태현;서광열
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제17권8호
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    • pp.823-829
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    • 2004
  • In this paper, non-self-aligned SiGe HBTs with ${f}_\tau$ and${f}_max $above 50 GHz have been fabricated using an RPCVD(Reduced Pressure Chemical Vapor Deposition) system for wireless applications. In the proposed structure, in-situ boron doped selective epitaxial growth(BDSEG) and TiSi$_2$ were used for the base electrode to reduce base resistance and in-situ phosphorus doped polysilicon was used for the emitter electrode to reduce emitter resistance. SiGe base profiles and collector design methodology to increase ${f}_\tau$ and${f}_max $ are discussed in detail. Two SiGe HBTs with the collector-emitter breakdown voltages ${BV}_CEO$ of 3 V and 6 V were fabricated using SIC(selective ion-implanted collector) implantation. Fabricated SiGe HBTs have a current gain of 265 ∼ 285 and Early voltage of 102 ∼ 120 V, respectively. For the $1\times{8}_\mu{m}^2$ emitter, a SiGe HBT with ${BV}_CEO$= 6 V shows a cut-off frequency, ${f}_\tau$of 24.3 GHz and a maximum oscillation frequency, ${f}_max $of 47.6 GHz at $I_c$of 3.7 mA and$V_CE$ of 4 V. A SiGe HBT with ${BV}_CEO$ = 3 V shows ${f}_\tau$of 50.8 GHz and ${f}_max $ of 52.2 GHz at $I_c$ of 14.7 mA and $V_CE$ of 2 V.