• 제목/요약/키워드: $TiO_2-SiO_2$

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Surface Modification Reaction of Photocatalytic Titanium Dioxide with Triethoxysilane for Improving Dispersibility

  • Lee, Myung-Jin;Kim, Ji-Ho;Park, Young-Tae
    • Bulletin of the Korean Chemical Society
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    • 제31권5호
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    • pp.1275-1279
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    • 2010
  • We have carried out the surface modification of photocatalytic $TiO_2$ with triethoxysilane through dehydrogenation reaction and characterized the modified photocatalyst by spectroscopic methods, such as FT-IR, solid-state $^{29}Si$ MAS NMR, XPS, and XRF, etc. We also examined photocatalytic activity of the immobilized photocatalytic titanium dioxide with triethoxysilane by decolorization reaction of dyes such as cong red and methylene blue under visible light. Dispersion test showed that the photocatalytic titanium dioxide immobilized with triethoxysilane group has kept higher dispersibility than titanium dioxide itself. No appreciable precipitation takes place even after standing for 24 h in the 4:6 mixture ratio of ethanol and water.

울릉도(鬱陵島) 북부(北部) 알칼리 화산암류(火山岩類)에 대(對)한 암석학적(岩石學的) 연구(硏究) (Petrology of Alkali Volcanic Rocks in Northern part of Ulrung Island)

  • 김윤규;이대성
    • 자원환경지질
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    • 제16권1호
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    • pp.19-36
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    • 1983
  • The study revealed that the sequence of volcanism in Ulrung island can be classified into 5 stages, and the volcanic history is summerized as follow: 1st stage: Eruption of basaltic agglomerates, tuffs and lavas, 2nd stage: Eruption of trachytic and trachyandesitic agglomerates and tuffs, 3rd stage: Eruption of trachyte lavas and their lapilli tuffs, 4th stage: Eruption of trachyte lavas and nepheline phonolites, 5th stage: Eruption of pumice, trachytic ash and lapilli, and plutonic ejecta (fragments of alkali gabbro, monzonite and alkali feldspar syenite) and a subsequent caldera formation. Finally, a small scale eruption of leucite bearing trachyandesite lava in the caldera. Several evidences show that there have been long erosional intervals between the 1st and 2nd stages and between the 4th and 5th stages. A K-Ar age for trachybasalt lava of the 1st stage was determined to be 1.8 Ma, and a $C^{14}$ age, 9300Y. (Machida, 1981) is available for these volcanic events. Therefore, it is considered that volcanic activity of the island above sea level began at least in early Pleistocene, and continued to until 9300 years ago exploding large amount of pumice, prior to pouring out of leucite bearing trachyandesite from the inner caldera. Using solidification index (SI) of Kuno, microscopic texture and mineral composition as criteria of the classification, the volcanic rocks are classified into alkali basalt, trachybasalt, trachyandesite, trachyte and phonolite. These are mostly prophyritic in texture. Main constituent minerals of alkali basalt and trachybasalt are plagioclase, olivine, Ti-augite and magnetite. Principal minerals of trachyandesite are plagioclase, anorthoclase, clinopyroxenes, kaersutite, biotite and magnetite. Trachyte and phonolite consist mainly of anorthoclase, clinopyroxene and magnetite, showing typical trachytic texture in groundmass. In solidification index, alkali basalt ranges from 39 to 27, trachybasalt 17 to 14, trachyandesite 12 to 9 and trachyte 8.15 to 0.72. A trend of compositional variation showing a typical alkali volcanic rock series is revealed on $SiO_2$-oxides and SI-oxides diagrams. In $SiO_2$-total alkali diagram, alkali lime index and An-Ab'-Or diagram, the samples fall into the fields of potassic series of the alkali volcanic rock series, whereas in A-F-M diagram show a trend toward the alkali enrichment with a curve approaching toward the iron apex. In particular, trachybasalt lavas in this island have higher total iron contents which is comparable to alkali rocks in other areas, e. g. as Gough and Tristan volcanic islands located near the Mid-Oceanic ridge in South Atlantic Ocean.

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무전해Ni도금에 의한 선택적 CONTACT HOLE 충진 (Selective Contact Hole Filling by Electroless Ni Plating)

  • 김영기;우찬희;박종완;이원해
    • 한국재료학회:학술대회논문집
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    • 한국재료학회 1992년도 춘계학술발표회
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    • pp.26-27
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    • 1992
  • 반도체 기억소자 contact hole의 선택적 충진의 최적 조건을 연구하기 위하여 무전해Ni도금방법을 채택하여 실리콘의 활성화와 선택적 도금의 공정조건이 Contact Hole 도금피막의 제반 특성에 미치는 영향을 조사하였다. p형 실리콘 100 소지 표면의 활성화 처리는 RCA처리에 의해 먼저 표면을 세척한 다음 온도, PdCl$_2$농도, 시간. 교반의 영향을 조사하였다 전처리의 최적조건은 7$0^{\circ}C$, 0.5M HF, ImM PdCl$_2$, 2mM EDTA, 90second이었다. 무전해도금은 NiS0$_4$.6$H_2O$를 DMAB를 환원제로 하여 온도, DMAB 농도, pH, 도금시간의 영향을 조사하였다. 무전해 도금 피막은 비교적 우수한 접촉저 항을 나타냈다. 1$\mu$m의 도금막을 얻는 데 본 실험조건에서 DMAB의 농도가 8mM일 때 30 분이 소요되었다. 도금막의 표면은 온도가 낮을수록 pH가 높을수록 평활하였고,특히 온도 6$0^{\circ}C$와 pH6.8에서 가장 우수하였다. 미세경도는 600Hv 정도였으며, 결정립의 크기 가 증가할수록 저항과 미세경도가 감소하였다.

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PZT 순수박막과 PZT/PT 교차박막의 적외선 감지 특성 비교 (Pyroelectric Peyformance Evaluation of Pure PZT and Alternately Deposited PZT/PT Thin Films)

  • 고종수;곽병만
    • 대한기계학회논문집A
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    • 제26권6호
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    • pp.1001-1007
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    • 2002
  • To improve the performance of the PZT thin flms, each PZT and PT layer was alternately deposited on a Pt/Ti/Si$_3$N$_4$/SiO$_2$/Si substrate by a modified sol-gel solid precursor technique. For comparison, PZT thin films were also prepared with an identical method under the same conditions. XRD measurement revealed that the diffraction pattern of the multilayer film was due to the superimposition of the PZT and PT patterns. At 1㎑, a dielectric constant of 389 and 558, a dielectric loss of 1.2% and 1.1% were obtained for the PZT/PT and PZT thin films, respectively. If we consider the PT dielectric constant to be 260, it is clear that the dielectric constant of alternately deposited PZT/PT thin films was well adjusted. The PZT/PT thin film showed a low dielectric constant and a similar dielectric loss compared with those of the PZT film. The figures of merit on detectivity for the PZT/PT and PZT thin films were 20.3$\times$10$\^$-6/㎩$\^$-$\sfrac{1}{2}$/, and 18.7$\times$10$\^$-6/㎩$\^$-$\sfrac{1}{2}$/, and the figures of merit on voltage response were 0.038㎡/C and 0.028 ㎡/C, respectively. The high figures of merit for the PZT/PT film were ascribed to its relatively low dielectric constant when compared to the PZT thin films.

임베디드 커패시터의 응용을 위해 다양한 기판 위에 평가된 BMN 박막의 특성 (Characteristics of BMN Thin Films Deposited on Various Substrates for Embedded Capacitor Applications)

  • 안경찬;김혜원;안준구;윤순길
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제20권4호
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    • pp.342-347
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    • 2007
  • $Bi_6Mg_2Nb_4O_{21}(BMN)$ thin films were deposited at various substrates by sputtering system for embedded capacitor applications. BMN thin films deposited at room temperature are manufactured as MIM(Metal/Insulator/Metal) structures. Dielectric properties and leakage current density were investigated as a function of various substrates and thickness of BMN thin films. Leakage current density of BMN thin films deposited on CCL(Copper Clad Laminates) showed relatively high value ($1{\times}10^{-3}A/cm^2$) at an applied field of 300 kV/cm on substrates, possibly due to relatively high value of roughness(rms $50{\AA}$) of CCL substrates. 100 nm-thick BMN thin films deposited on Cu/Ti/Si substrates showed the capacitance density of $300 nF/cm^2$, a dielectric constant of 32, a dielectric loss of 2 % at 100 kHz and the leakage current density of $1{\times}10^{-6}A/cm^2$ at an applied field of 300 kV/cm. BMN capacitors are expected to be promising candidates as embedded capacitors for printed circuit board(PCB).

ECU 커먼레일 디젤기관에 있어서 매연 및 NOX 배출물 동시 저감용 일체형 요소-SCR 촉매필터 시스템의 특성에 관한 연구 (A Study on Characteristics of an Integrated Urea-SCR Catalytic Filter System for Simultaneous Reduction of Soot and NOX Emissions in ECU Common-rail Diesel Engines)

  • 배명환
    • 한국자동차공학회논문집
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    • 제22권4호
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    • pp.111-120
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    • 2014
  • The aim of this study is to develop an integrated urea-SCR catalytic filter system for reducing soot and $NO_X$ emissions simultaneously in diesel engines. In this study, the characteristics of exhaust emissions relative to reactive activation temperature under four kinds of engine loads are experimentally investigated by using a four-cycle, four-cylinder, direct injection type, water-cooled turbo intercooler ECU common-rail diesel engine with the integrated urea-SCR $MnO_2-V_2O_5-WO_3/TiO_2/SiC$ catalytic filter system operating at three kinds of engine speeds. The urea-SCR reactor is used to reduce $NO_X$ emissions, and the catalytic filter system is used to reduce soot emissions. The reactive activation temperature is very important for reacting a reducing agent with exhaust emissions. The reactive activation temperatures in this experiment is applied to 523, 573 and 623 K. The fuel is sprayed by the pilot and main injections at the variable injection timing between BTDC $15^{\circ}$ and ATDC $1^{\circ}$ according to experimental conditions. It is found that the $NO_X$ conversion rate is the highest as 83.9% at the reactive activation temperature of 523 K in all experimental conditions of engine speed and load, and the soot emissions shown by the average reduction rate of approximately 93.3% are almost decreased below 0.6% in all experimental conditions regardless of reactive activation temperatures. Also, the THC and CO emissions by oxidation reaction of Mn, V and Ti are shown in the average reduction rates of 70.3% and 38% regardless of all experimental conditions.

세라믹 한외여과 및 광촉매 혼성공정에 의한 고탁도 원수의 고도정수처리: 2. 광산화와 흡착의 영향 (Advanced Water Treatment of High Turbidity Source by Hybrid Process of Ceramic Ultrafiltration and Photocatalyst: 2. Effect of Photo-oxidation and Adsorption)

  • 고사총;박진용
    • 멤브레인
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    • 제21권2호
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    • pp.201-211
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    • 2011
  • 본 연구에서는 정수처리용 세라믹 한외여과 빛 광촉매의 혼성공정에서 휴믹산 농도 및 광산화, 흡착의 영향을 알아보았다. 휴믹산 농도 각각 2mg/L와 4 mg/L 일 때 UF 단독 공정 및 광촉매를 투입한 공정, UV를 조사한 공정을 막오염에 의한 저항$(R_f)$ 및 투과선속(J), 총여과부피 $(V_{\Upsilon})$ 측면에서 고찰하였다. 휴믹산 농도가 낮아질수록 $R_f$는 급격히 감소하고 J는 증가하여, 휴믹산 농도 2 mg/L에서 $V_{\Upsilon}$는 가장 높았다. 탁도의 평균 처리효율은 휴믹산 농도가 증가할수록 감소하였으나, 4 mg/L에서 휴믹산의 처리효율이 가장 높았다. 이러한 결과는 낮은 휴믹산 농도에서 휴믹산 대부분이 분리막에 의해 제거되고 막을 통과한 일부 휴믹산은 광촉매에 흡착 산화되어, 처리수의 수질이 휴믹산 2 mg/L 와 4 mg/L 에서 거의 같고 원수의 수질은 4 mg/L에서 더 높기 때문이다. 광산화와 흡착의 영향 실험에서 UF + $TiO_2$ + UV 공정의 J가 가장 높게 유지되어, 180분 운전 후 $V_{\Upsilon}$가 가장 높았다. 휴믹산 및 탁도의 처리효율을 비교한 결과, 휴믹산 농도가 2 mg/L 에서 4mg/L로 증가하였을 때 광산화 보다 광촉매 흡착이 더 주요한 역할을 하였다.

국제핵융합실험로(ITER) 시험을 위한 한국형 시험증식블랑켓 개념설계 및 성능해석

  • 이동원;진형곤;이어확;윤재성;김석권;박성대;조아라;안무영;조승연
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2015년도 제49회 하계 정기학술대회 초록집
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    • pp.255-255
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    • 2015
  • 국제핵융합실험로(ITER)의 3대 목표 중 하나는 핵융합로 개발을 위한 삼중수소증식블랑켓 개념을 시험하고 검증하는 것이며, 이를 위해 시험증식블랑켓(TBM, Test Blanket Module) 프로그램을 마련, 각국이 참여할 수 있도록 하고 있다. 한국도 2012년 국가핵융합위원회 결정에 따라, EU, 일본, 중국, 인도와 함께 TBM 프로그램에 참여하고 있으며, 2021년 설치를 목표로 헬륨냉각 고체증식재 개념의 HCCR (Helilum Cooled Ceramic Reflector) TBM을 설계, 개발하고 있다. 한국형 TBM은 총 4개의 서브모듈과 하나의 후벽(Back Manifold, BM) 으로 구성되며, 각 서브모듈은 플라즈마와 대면하는 일차벽(First Wall, FW), 증식재와 증배재, 반사재를 담고 있는 증식영역(Breeding Zong, BZ), 냉각재 매니폴드 및 구조물 역할을 하는 측벽(Side Wall, SW) 등의 기능부품으로 구성되어 있다. 냉각재는 8 MPa, $300-500^{\circ}C$의 고온고압헬륨을 사용하고, Li2SiO4 혹은 Li2TiO4 형태의 Li 세라믹 증식재를 사용하며, 중성자 증배를 위해 Be 증배재 및 흑연 반사재를 사용한다 [1-3]. 2015년 2월 개념설계검토(CDR, Conceptual Design Review)를 위해, TBM-shield를 포함한 TBM-set 설계가 완료되었으며, 열수력, 구조, 지진, 전자기, 복합하중에 대한 평가가 진행되었다. 본 논문에서는 이 중 H/He-phase에 시험될 EM-TBM과 D-T phase에 시험될 INT-TBM에 대한 열수력 성능 결과를 소개하였다[5]. 각각의 열부하 조건은 0.17과 $0.3MW/m^2$이며, 중성자 조사는 D-T phase 에서만 고려되었다. 구조재 및 사용된 기능소재별 온도 요건을 정의하고, 성능해석 결과와 비교하였으며, 이를 통해 모든 온도 요건을 만족함을 최종 확인하였다. 이러한 온도 분포는 열응력 평가를 위해 구조해석 입력자료로 활용되었다.

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Schottky Contact Application을 위한 Yb Germanides 형성 및 특성에 관한 연구

  • 나세권;강준구;최주윤;이석희;김형섭;이후정
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2013년도 제44회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.399-399
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    • 2013
  • Metal silicides는 Si 기반의microelectronic devices의 interconnect와 contact 물질 등에 사용하기 위하여 그 형성 mechanism과 전기적 특성에 대한 연구가 많이 이루어지고 있다. 이 중 Rare-earth(RE) silicides는 저온에서 silicides를 형성하고, n-type Si과 낮은 Schottky Barrier contact (~0.3 eV)을 이룬다. 또한 낮은 resistivity와 Si과의 작은 lattice mismatch, 그리고 epitaxial growth의 가능성, 높은 thermal stability 등의 장점을 갖고 있다. RE silicides 중 ytterbium silicide는 가장 낮은 electric work function을 갖고 있어 n-channel schottky barrier MOSFETs의 source/drain으로 주목받고 있다. 또한 Silicon 기반의 CMOSFETs의 성능 향상 한계로 인하여 germanium 기반의 소자에 대한 연구가 이루어져 왔다. Ge 기반 FETs 제작을 위해서는 낮은 source/drain series/contact resistances의 contact을 형성해야 한다. 본 연구에서는 저접촉 저항 contact material로서 ytterbium germanide의 가능성에 대해 고찰하고자 하였다. HRTEM과 EDS를 이용하여 ytterbium germanide의 미세구조 분석과 면저항 및 Schottky Barrier Heights 등의 전기적 특성 분석을 진행하였다. Low doped n-type Ge (100) wafer를 1%의 hydrofluoric (HF) acid solution에 세정하여 native oxide layer를 제거하고, 고진공에서 RF sputtering 법을 이용하여 ytterbium 30 nm를 먼저 증착하고, 그 위에 ytterbium의 oxidation을 방지하기 위한 capping layer로 100 nm 두께의 TiN을 증착하였다. 증착 후, rapid thermal anneal (RTA)을 이용하여 N2 분위기에서 $300{\sim}700^{\circ}C$에서 각각 1분간 열처리하여 ytterbium germanides를 형성하였다. Ytterbium germanide의 미세구조 분석은 transmission electron microscopy (JEM-2100F)을 이용하였다. 면 저항 측정을 위해 sulfuric acid와 hydrogen peroxide solution (H2SO4:H2O2=6:1)에서 strip을 진행하여 TiN과 unreacted Yb을 제거하였고, 4-point probe를 통하여 측정하였다. Yb germanides의 면저항은 열처리 온도 증가에 따라 감소하다 증가하는 경향을 보이고, $400{\sim}500^{\circ}C$에서 가장 작은 면저항을 나타내었다. HRTEM 분석 결과, deposition 과정에서 Yb과 Si의 intermixing이 일어나 amorphous layer가 존재하였고, 열처리 온도가 증가하면서 diffusion이 더 활발히 일어나 amorphous layer의 두께가 증가하였다. $350^{\circ}C$ 열처리 샘플에서 germanide/Ge interface에서 epitaxial 구조의 crystalline Yb germanide가 형성되었고, EDS 측정 및 diffraction pattern을 통하여 안정상인 YbGe2-X phase임을 확인하였다. 이러한 epitaxial growth는 면저항의 감소를 가져왔으며, 열처리 온도가 증가하면서 epitaxial layer가 증가하다가 고온에서 polycrystalline 구조의 Yb germanide가 형성되어 면저항의 증가를 가져왔다. Schottky Barrier Heights 측정 결과 또한 면저항 경향과 동일하게 열처리 증가에 따라 감소하다가 고온에서 다시 증가하였다.

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낮은 공진 주파수를 갖는 PZT 외팔보 에너지 수확소자의 설계 및 제작 (Design and Fabrication of a PZT cantilever for low resonant frequency energy harvesting)

  • 김문근;황범석;서원진;최승민;정재화;권광호
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2010년도 하계학술대회 논문집
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    • pp.228-228
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    • 2010
  • 본 연구에서는 공진주파수 수식을 이용한 MATLAB과 Modal 해석법을 사용한 ANSYS로 공진주파수 특성을 시뮬레이션 하였다. 외팔보의 시뮬레이션 결과에서는 길이가 길어짐에 따라, 또는 proof mass의 크기가 커짐에따라 공진주파수 특성이 낮아지는 결과가 나타났다. 따라서 본 실험에서의 외팔보는 낮은 공진 주파수를 가지기 위해 Si proof mass를 사용하여 제작하였다. 외팔보 소자는 Silicon-on-insulator wafer를 사용하여 SiO2/Ti/Pt/PZT/Pt 박막을 증착하였고, 마스크를 사용한 식각 공정으로 제작하였다. 이때의 MATLAB, ANSYS 시뮬레이션 결과와 실험에서 제작된 소자는 유사한 공진주파수 특성을 나타내었다.

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