• 한국전기전자재료학회논문지
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• 제18권6호
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• pp.550-553
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• 2005

[ $Pb(Zr_{0.2}Ti_{0.8})O_3$ ] powders, prepared by the sol-gel method, were mixed with an organic vehicle and the PZT thick films were fabricated by the screen-printing techniques on Pt/alumina substrates. The structural and dielectric properties were examined as a function of sintering temperature. The particle size distribution of the powder is bimodal with the mean particle size of about $1.2\;{\mu}m$. The average grain size of the PZT thick films sintered above $1000^{\circ}C$ was about $3.1\;{\mu}m$ and the thickness of the specimens was approximately $41\;{\mu}m$. The relative dielectric constant and dielectric loss of the thick films sintered at $1050^{\circ}C$ were 337 and $1.24\%$, respectively.

• 대한전자공학회논문지SD
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• 제37권4호
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• pp.7-14
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• 2000

Bi/sub 4/Ti/sub 3/O/sub 12/ (BIT) 박막을 acetate 계 precursor 를 이용한 sol-gel 법으로 제작한 후, 구조적 및 전기적 특성을 조사하여 NVFRAM (Won-Volatile Ferroelectric RAM)으로의 응용가능성을 조사하였다. DT-TG (Differential Thermal-Thermal Gravimetric) 분석으로 drying 온도와 annealing 온도가 각각 400℃ 와 650℃ 인 BIT 박막의 열처리조건을 확립하였다. Pt/Ta/Sio/sub 2//Si 기판 위에 제작된 BIT 박막은 완전한 orthorhombic perovskite상을 가지며, 입자크기가 약 100nm 이고 표면 거칠기는 약 70.2Å 으로 비교적 치밀한 형상을 나타내었다. 10㎑ 의 주파수에서 비유전률과 유전손실은 각각 176 과 0.038 이었으며, 100 ㎸/cm 의 전기장에서 누설전류밀도는 4.71㎂/㎠ 이었다. ±250㎸/㎝ 에서 이력곡선을 측정한 결과, 잔류분극 (Pr)과 항전계 (Ec)는 각각 5.92μC/㎠ 과 86.3㎸/㎝ 이었다. BIT 박막에 ±5V 의 사각펄스를 인가하여 피로특성을 측정한 결과, 잔류분극은 초기값 5.92μC/㎠ 에서 10/sup 9/회에서는 3.95μC/㎠ 로 약 33% 감소하였다.

• 한국자기학회지
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• 제17권6호
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• pp.226-231
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• 2007

나노결정질 비정질 리본 표면에 졸-겔법에 의해 제조된 $TiO_2$ 및 $SiO_2$ 졸을 딥 코팅법을 이용하여 절연막을 형성시킴으로써 전기 비저항의 증가를 통한 고주파 손실을 제어하고자 하였다. 졸-겔법에 의한 슬러리 제조에서, 금속 알콕사이드의 혼합조건 및 절연층 형성용 슬러리의 제조조건을 확립하였고, 비정질 합금 리본 표면에 균일하고 우수한 점착력을 가지는 절연층을 형성시킬 수 있었다. 그리고 표면 절연층이 형성된 나노 결정질 합금 재료를 이용하여 제조한 자심재료는 전기 비저항의 증가로 인해 코어 손실을 약 40% 이상 감소시킬 수 있었다. 또한 표면 절연층을 형성시킨 자심재료를 이용하여 제조한 비접촉식 커플러는 코어 손실의 감소로 인해 삽입손실의 감소 효과가 나타났으며, 삽입손실의 감소효과는 주파수 증가에 따라 증가하였다.

• 대한화학회지
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• 제9권1호
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• pp.16-22
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• 1965

Sodium alginate-$CaSO_4{\cdot}$1/2 $H_2O$의 gel에 미치는 alkali鹽의 遲延효果를 Miyake date와 比較하고, Schwedoff法을 改良한 連續的 測定方法을 써서, 金屬酸化物의 添加에 依한 彈性 gel의 生成速度 및 彈性의 變化를 硏究하였다. 즉 (1) sample의 張力變化를 連續的으로 測定하여, sodium alginate와 $CaSO_4{\cdot}$1/2 $H_2O$ aqueous sol의 gel化 過程을 觀察하였다. (2) 彈性 gel의 生成速度에 미치는 $Na_3PO_4$의 遲延효果는 $Na_2CO_3$보다 크다는 點에서는 Miyake 報告와 一致하였으나, Miyake date처럼 兩者間에 그리 큰 差가 없었다. (3) 金屬酸化物이 彈性 gel生成速度에 미치는 影響에 어떤 規則性은 없었지마는 $SiO_2$와 MgO는 比較的 큰 速度增大효果를 나타내고 ZnO는 比較的 적었다. 그러나 $Al_2O_3$, $Sb_2O_3$와 $TiO_2$는 速度低下효果를 나타냈다. 結果的으로 酸化物의 種類나 그 添加量에 따라 어떤 明確한 規則性을 觀察하지 못하였다. (4) 彈性率과 生成速度에 미치는 효果사이에 比例關係는 없없으나 金屬酸化物을 添加하면 一般的으로 彈性率이 增加하였다. 이들 酸化物 中에서 彈性率增大효果가 가장 큰 것은 MgO였다.

• 센서학회지
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• 제7권3호
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• pp.188-196
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• 1998

$WO_{3}$계 n-형 반도체 가스센서의 검지특성 및 전기적 특성을 조사하였다. 공기중에서 결합제가 첨가되지 않은 $WO_{3}:TiO_{2}$(4 wt. %) 센서의 낱알경계에서의 전위장벽의 크기는 0.26 V로 나타났으며, 결합제로서 $Al_{2}O_{3}$, PVA (polyvinyl alcohol ), silica sol이 첨가된 센서의 경우는 전위장벽이 각각 0.17, 0.22, 0.26 V로 관측되었다. 이들 시료를 $NO_{x}$가 120 ppm 첨가된 분위기에 노출시켰을 때, 결합제가 첨가되지 않은 센서의 경우는 낱알경계에서의 전위장벽이 0.59 V로 증가하였으며, 결합제로서 $Al_{2}O_{3}$, PVA, silica sol이 첨가된 경우는 전위장벽이 각각 0.43, 0.66, 0.52 V로 나타나, PVA가 첨가된 센서에서 전위장벽의 변화가 가장 높아 감도가 우수하게 되는 것을 알 수가 있었다. 한편 센서 최적 작동온도 이상의 온도에서 나타나는 감도의 감소는 흡착가스 입자의 탈착보다는 공기중에서 다결정이 보이는 저항의 온도 의존성에 따라 나타남이 판명되었다. 또한 결합제가 첨가되지 않은 센서와 결합제로서 Pt가 첨가된 센서의 경우, CO가 250 ppm 존재할 때까지도 전위장벽의 크기가 약 0.2 V로 공기중에서와 비슷한 크기를 나타내어, CO와 $NO_{x}$가 혼합된 분위기에서 $NO_{x}$만을 선택적으로 검지하는데 유리함이 밝혀졌다.

• 청정기술
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• 제21권4호
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• pp.271-277
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• 2015

본 연구에서는 효율적인 광 전기화학적 수소제조를 위하여 광촉매로써 상용화 촉매인 P25-티타니아와 합성한 Ag_xO를 적정 질량비로 혼합한 촉매를 사용하였다. Ag_xO는 일반적인 솔-젤법으로 합성하였으며, 은 용액의 안정화를 위해 합성과정 중에 수산화테트라메틸암모늄을 첨가하고 열처리 온도를 -5, 25, 50 ℃로 다양화시켜 세 가지 형태의 산화은을 얻었다. 합성한 Ag_xO의 물리화학적 특성은 X-선 회절분석법(XRD), 주사전자현미경(SEM), 자외선-가시선 분광광도계(UV-Visible spectroscopy), X-선 광전자 분광법(XPS)을 이용하여 확인하였다. 물/메탄올(무게 비 1:1) 혼합용액을 광분해 한 결과, 순수 P25-티타니아보다 Ag_xO가 첨가된 혼합촉매에서 현저히 높은 양의 수소가 발생하였다. 보조 산화제로써 H₂O₂를 첨가한 경우 그리고 Ag_xO의 합성온도가 50 ℃일 때 가장 높은 수소 제조효율을 나타내었다. 특히, 0.9 g의 P25-티타니아와 0.1 g의 Ag_xO (50 ℃)를 혼합한 촉매를 사용하였을 때 8시간 반응하는 동안에 13,000 μmol의 수소가 발생하였다.

• Transactions on Electrical and Electronic Materials
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• 제16권1호
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• pp.1-4
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• 2015

(111)-oriented and random oriented $Pb_{0.8}Ba_{0.2}ZrO_3$ (PBZ) perovskite relaxor ferroelectric thin films were fabricated on Pt(111)/$TiO_x$/$SiO_2$/Si substrate by sol-gel method. Nano-scaled antiferroelectric and ferroelectric two-phase coexisted in both (111)-oriented and random oriented PBZ thin film. High dielectric tunability (${\eta}=75%$, E = 560 kV/cm) and figure-of-merit (FOM ~ 236) at room temperature was obtained in (111)-oriented thin film. Meanwhile, giant electrocaloric effect (ECE) (${\Delta}T=45.3K$ and ${\Delta}S=46.9JK^{-1}kg^{-1}$ at $598kVcm^{-1}$) at room temperature (290 K), rather than at its Curie temperature (408 K), was observed in random oriented $Pb_{0.8}Ba_{0.2}ZrO_3$ (PBZ) thin film, which makes it a promising material for the application to cooling systems near room temperature. The giant ECE as well as high dielectric tunability are attributed to the coexistence of AFE and FE phases and field-induced nano-scaled AFE to FE phase transition.

• Transactions on Electrical and Electronic Materials
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• 제10권2호
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• pp.49-52
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• 2009

Barium strontium calcium titanate powders were prepared with the sol-gel method. Ferroelectric $(Ba_{0.54}Sr_{0.36}Ca_{0.1})TiO_3$(BSCT) thick films were fabricated by the screen-printing method on alumina substrate. Then we investigated the structural and dielectric properties of the BSCT thick films at different sintering temperatures. The thermal analysis showed that the BSCT polycrystalline perovskite phase formed at around $660^{\circ}C$. The X-ray diffraction analysis showed a cubic perovskite structure with no second phase present in all of the BSCT thick films. The average grain size and the thickness of the specimens sintered at $1450^{\circ}C$ were about $1.6{\mu}m$ and $45{\mu}m$, respectively. The relative dielectric constant increased and the dielectric loss decreased as the sintering temperature was increased; for BSCT thick films sintered at $1450^{\circ}C$ the values of the dielectric constant and the dielectric loss were 5641 and 0.4%, respectively, at 1 kHz.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2001년도 춘계학술대회 논문집 반도체재료
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• pp.42-45
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• 2001

The high permittivity are applied to DRAM and FRAM. (Ba,Sr)$TiO_3$ (EST) thin films were prepared by Sol-Gel method. BST solution was made and spin-coated on $Pt/SiO_2/Si$ substrate at 4000 [rpm] for 10 seconds in a time coating. Coated specimens were dried at $90[^{\circ}C]$ for 5 minutes. Coating process was repeated from 3 times to 5 times and then sintered at $750[^{\circ}C]$ for 30 minutes. Each specimen was analyzed structure and electrical characteristics. Thickness of BST ceramics thin films are about 2600-2800[$\AA$] in 3 times. Dielectric constant of thin films was little decreased at 1[KHz]~1[MHz]. Dielectric constant and loss to frequency were 250 and 0.02 in BST3. The property of leakage current was stable When the applied voltage was 0~3[V] Leakage current was $10^{9}\sim10^{11}$[A] at 0~3[V].

• 한국전기전자재료학회논문지
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• 제16권6호
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• pp.460-464
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• 2003

The barium strontium titannate ((Ba,Sr)TiO$_3$:BST) thin films were etched in an inductively coupled plasma (ICP) as a function of CF$_4$/Ar gas mixing ratio. Under CF$_4$(20%)/Ar(80%), the maximum etch rate of the BST films was 400 $\AA$/min. Etching products were redeposited on the surface of BST and then the nature of crystallinity were varied. Therefore, we investigated the etched surface of BST by X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) and atomic force microscopy (AFM). The plasma damages were evaluated in terms of leakage current density by Agilent 4145C and dielectric constant by HP 4192 impedance analyzer. After the BST thin films exposed in the plasma, the leakage current density and roughness increases. After annealing at 600 $^{\circ}C$ for 10 min in $O_2$ ambient, the leakage current density, roughness and nonvolatile etch byproducts reduced. From this results, the plasma induced damages were recovered by annealing process owing to the relaxation of lattice mismatches by Ar ions and the desorption of metal fluorides in high temperature.