• 한국재료학회지
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• 제13권11호
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• pp.737-741
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• 2003

Polycrystalline $Ti_{l-x}$ $Co_{x}$ $O_2$thin films on $SiO_2$ (200 nm)/Si (100) substrates were prepared using liquid-delivery metalorganic chemical vapor deposition. Microstructures and ferromagnetic properties were investigated as a function of doped Co concentration. Ferromagnetic behaviors of polycrystalline films were observed at room temperature, and the magnetic and structural properties strongly depended on the Co distribution, which varied widely with doped Co concentration. The annealed $Ti_{l-x}$ $Co_{x}$ $O_2$thin films with $x\leq$0.05 showed a homogeneous structure without any clusters, and pure ferromagnetic properties of thin films are only attributed to the X$l-x_{l-x}$ $Co_{x}$X$O_2$phases. On the other hand, in case of thin films above x = 0.05, Co-rich clusters formed in a homogeneous $Ti_{l-x}$ $Co_{x}$ $O_2$phase, and the overall ferromagnetic (FM) properties depended on both FMTCO and FMCo. Co-rich clusters with about 10-150 nm size decreased the value of Mr (the remanent magnetization) and increased the saturation magnetic field.

• 한국세라믹학회지
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• 제38권3호
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• pp.280-286
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• 2001

10 이하의 저유전율을 갖는 (1-x)BaWO$_4$-xMg$_2$SiO$_4$(x=0.1~0.9) 세라믹스의 미세구조와 고주파 유전특성을 조사하였다. (1-x)BaWO$_4$-xMg$_2$SiO$_4$(x=0.1~0.9) 세라믹스는 정방정(tetragonal) 구조를 가진다. 0.1BaWO$_4$-0.9Mg$_2$SiO$_4$세라믹스는 BaWO$_4$와 $Mg_2$SiO$_4$의 상들이 공존하는 혼합상을 보였으며, $Mg_2$SiO$_4$가 이차사으로 형성된 것이 관찰되었다. 120$0^{\circ}C$~140$0^{\circ}C$에서 2시간 동안 소결된 (1-x)BaWO$_4$-xMg$_2$SiO$_4$(x=0.1~0.9) 세라믹스는 $\varepsilon$$_{r}$=6.37~8.21, Q.f=15000~99422 그리고 $ au$$_{f}$=73.9~48.9 ppm/$^{\circ}C$의 고주파 유전특성을 가졌다. $\tau$$_{f}$를 보정하기 위해, CaTiO$_3$(1,5 wt%)가 (1-x)BaWO$_4$-xMg$_2$SiO$_4$(x$\geq$0.9) 세라믹스에 첨가되었다. 135$0^{\circ}C$에서 2시간 동안 소결된 0.1BaWO$_4$-0.9Mg$_2$SiO$_4$+CaTiO$_3$(5 wt%) 세라믹스는 $\varepsilon$$_{r}$=7.3, Q.f=30532 그리고 $\tau$$_{f}$=-30 ppm/$^{\circ}C$의 고주파 유전특성을 얻었다. 얻었다.

• ETRI Journal
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• 제31권6호
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• pp.675-679
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• 2009

$Ti_xSi_{1-x}O_y$ (TSO) thin films are fabricated using plasma-enhanced atomic layer deposition. The Ti content in the TSO films is controlled by adjusting the sub-cycle ratio of $TiO_2$ and $SiO_2$. The refractive indices of $SiO_2$ and $TiO_2$ are 1.4 and 2.4, respectively. Hence, tailoring of the refractivity indices from 1.4 to 2.4 is feasible. The controllability of the refractive index and film thickness enables application of an antireflection coating layer to TSO films for use as a thin film solar cell. The TSO coating layer on an Si wafer dramatically reduces reflectivity compared to a bare Si wafer. In the measurement of the current-voltage characteristics, a nonlinear coefficient of 13.6 is obtained in the TSO films.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2002년도 하계학술대회 논문집
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• pp.131-134
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• 2002

The effect of the addition on the densification, low temperature sintering, and microwave dielectric properties of the Ca[($Li_{1/3}Nb_{2/3}$)$_{1-x}$$Ti_{x}$]$O_{3-{\delta}}$/(CLNT) was investigated. $Bi_2O_3$ additives improved the dencification and reduced the sintering temperature from $1150^{\circ}C$ to $900^{\circ}C$ of CLNT microwave dielectric ceramics. As increasing $Bi_2O_3$ contents, the dielectric constants and bulk density were increased. The quality factor, however, was decreased slighty. The temperature coefficients of the resonant frequency shifted positive value as increasing $Bi_2O_3$ contents. The dielectric properties of Ca[($Li_{1/3}Nb_{2/3}$)$_{1-x}$$Ti_{x}$]$O_{3-{\delta}}$ and Ca[($Li_{1/3}Nb_{2/3}$)$_{0.8}Ti_{0.2}$]$O_{3-{\delta}}$ with 5wt% $Bi_2O_3$ sintered at $900^{\circ}C$ for 3h were $\varepsilon_{r}$=20, 35 Q.$f_{0}$=6500, 11,000 GHz, $\tau_{f}$=4, 13 ppm/$^{\circ}C$, respectively.

• 한국세라믹학회지
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• 제40권4호
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• pp.346-349
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• 2003

Microwave dielectric characteristics and physical properties of the new Zr$_{1-x}$ (Bn$_{1}$3/Nb$_{2/3}$)xTi $O_4$ (0.2$\leq$x$\geq$ 1.0) system have been investigated as a function of the amount of Bn$_{1}$3/Nb$_{2/3}$ $O_2$substitution. With increasing Bn$_{1}$3/Nb$_{2/3}$ $O_2$ content (x), two phase regions were observed: $\alpha$-Pb $O_2$ solid solution (x<0.4), mixture of the rutile type Zn$_{1}$3/Nb$_{2/3}$Ti $O_4$ and the $\alpha$-Pb $O_2$ solid solution (x$\geq$0.4). In the$\alpha$-Pb $O_2$solid solution region below x<0.4, the Q.f$_{0}$ value sharply increased and the Temperature Coefficient of the Resonant Frequency(TCF) decreased with increasing Bn$_{1}$3/Nb$_{2/3}$ $O_2$ contents while dielectric constant (K) showed nearly same value. In the mixture region above x$\geq$4, the dielectric constant and TCF increased with increasing Bn$_{1}$3/Nb$_{2/3}$ $O_2$ content. Zr$_{1-x}$ (Zn$_{1}$3/Nb$_{2/3}$)xTi $O_4$ materials have excellent microwave dielectric properties with K=44.0, Q.f$_{0}$ : 41000 GHz and TCF =-3.0 ppm/$^{\circ}C$ at x=0.35.=0.35. x=0.35.=0.35.

• 마이크로전자및패키징학회지
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• 제6권2호
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• pp.75-81
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• 1999

$CaTiO_3$의 유전적 특성의 문제점을 해결하기 위해 $CaTiO_3$에 복합페로브스카이트 구조를 갖는$ La(Mg_{2/3}Ta_{1/3})O_3$를 고용시켜 마이크로파 유전특성을 조사하였다. XRD분석을 통하여 $CaTiO_3$에 $ La(Mg_{2/3}Ta_{1/3})O_3$를 첨가하면 고용체가 형성되며, 구조적으로는 Orthorhombic구조에서 $ La(Mg_{2/3}Ta_{1/3})O_3$의 첨가량이 증가함에 따라 단사정 대칭의 고용체형으로 바뀌어 가는 것을 확인할 수 있었다. (1-x)$CaTiO_3+xLa(Mg_{2/3}Ta_{1/3})O_3$에서 x값이 0.3일 때 유전율 49, 온도계수+$14ppm/^{\circ}C$, $Q \times f_0$ 값은 17000인 재료를 제조할 수 있었다.

• Applied Microscopy
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• 제34권1호
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• pp.61-69
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• 2004

복합 페로브스카이트 (1-x) $(Li_{1/2}Sm_{1/2})TiO_3-x (Na_{1/2}Sm_{1/2})TiO_3$ (LNST) system의 마이크로파 유전특성과 미세구조를 XRD와 SEM을 이용하여 연구하였다. 이 LNST는 산소팔면체의 antiphase tilting 뿐만 아니라, inphase tilting과 양이온의 antiparallel shift를 가지는 구조변화는 보인다. 또한 LNST계는 $0.0{\leq}x{\leq}0.4$에서 양이온($Li^{+1}$)의 휘발이 일어나서 A-site vacancy ordering에 의해 c축으로 cell doubling이 일어난다. 미세구조의 관찰을 통해 전 범위의 조성에서 비정상 입성장 현상을 관찰하였다. LNST계에서 A-site에 $Li^{+1}$을 치환한 LST의 공진주파수 온도계수는 큰 음의 값($-220ppm/^{\circ}C$)을 가지나, $Na^{+1}$을 치환한 NST는 큰 양의 값($+173ppm/^{\circ}C$)을 가진다. x=0.4일때 4 GHz에서 ${\varepsilon}_r=103,\;Q*f_{0}=3,700GHz$ 그리고 $T_{cf}=+50ppm/^{\circ}C$의 좋은 유전특성을 얻었다.

• 대한토목학회논문집
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• 제42권2호
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• pp.163-170
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• 2022

본 연구에서는 다양한 TiO₂ 적용방법이 포러스 콘크리트의 질소산화물 제거성능 및 흡음특성에 미치는 영향을 조사하였다. 포러스 콘크리트 배합과정에서 TiO₂를 단순 혼입하는 방법, 바텀애쉬 골재에 TiO₂를 전처리하고 이를 이용하여 포러스 콘크리트를 제조하는 방법, 마지막으로 제조된 포러스 콘크리트에 TiO₂ 용액을 도포하는 방법으로 TiO₂ 적용 포러스 콘크리트를 제조하였다. 실험결과 TiO₂의 단순 혼입은 TiO₂의 함량이 증가함에 따라 압축강도를 감소시켰으며, 공극률은 증가시키는 것으로 관찰되었다. TiO₂ 함침 바텀애쉬 골재를 이용하는 경우 압축강도는 기존 포러스 콘크리트와 유사하지만 공극률이 감소하는 것으로 나타났다. 마지막으로 표면 도포 방법의 경우 공극률은 유사하였으나 강도가 증가하였다. 질소산화물 제거성능에서 TiO₂를 표면 도포한 샘플이 가장 높은 효율을 보였으며, TiO₂를 단순 혼입한 샘플들보다 바텀애쉬 골재에 전처리한 샘플에서 더 높은 질소산화물 제거성능이 관찰되었다. 흡음성능의 경우 TiO₂를 단순 혼입한 경우 공극률과의 상관관계를 확인할 수 있었지만, 다른 적용방법의 경우 일정한 경향이 발견되지는 않았다.

• 한국결정성장학회지
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• 제26권3호
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• pp.115-120
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• 2016

저온용 SCR 촉매인 $MnO_x$의 촉매 활성을 높이기 위해 $TiO_2$ 지지체와 함께 조촉매로서 $CeO_2$을 사용하였고, 제조된 나노 사이즈의 촉매 특성과 함께 질소산화물 제거 효율에 대해 고찰하였다. $MnO_x-CeO_2/TiO_2$ 촉매 내에서 $CeO_2$ 거동을 확인하기 위해 단일 조성의 $CeO_2$와의 차이점을 미세구조적으로 비교 분석하였다. $MnO_x-CeO_2/TiO_2$ 촉매가 졸겔법을 통해 제조되었으며 낮은 열적 특성으로 인해 평균 $285{\mu}m$ 정도의 큰 입도를 가진 단일 $CeO_2$와는 달리 Ti 지지체와 함께 합성된 촉매의 경우 130 nm 정도로 줄어들었음을 확인하였다. 투과 전자 현경을 이용한 EDS mapping를 통해 Ce-Ti의 강한 interaction이 nano-sized powder 제조의 원인인 것으로 확인하였다. 조촉매 첨가로 인해 $MnO_x/TiO_2$ 촉매에 비해 저온영역에서 20 % 이상의 효율 향상이 있었으며 이는 3성분계 촉매 내에서 $CeO_2$가 나노 사이즈로 잘 분산됨에 따라 촉매 반응에 필요한 산소이온의 교환이 활발히 일어날 수 있었기 때문이다.

• 한국재료학회:학술대회논문집
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• 한국재료학회 2003년도 추계학술발표강연 및 논문개요집
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• pp.171-171
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• 2003

공정기술의 향상으로 DRAM(dynamic random acess memory)의 고집적화가 이루어지고 있으며, 각 개별소자 및 셀 영역의 점유면적의 감소가 요구되어지고 있다. 따라서 기존에 사용하던 NO (Si$_3$N$_4$/SiO$_2$)박막보다 유전율이 높은 고유전물질에 대한 연구가 진행되고 있다. Ta$_2$O$_{5}$, $Y_2$O$_3$, HfO$_2$, ZrO$_2$,Nb$_2$O$_{5}$, BaTiO$_3$, SrTiO$_3$ 및 (BaSr)TiO등이 고유전물질로 연구되고 있는데 그 중 공정의 안정성, 누설전류의 우수성으로 인해 Ta$_2$O$_{5}$이 많이 연구되고 있다. 본 실험에서는 TiO$_2$가 8 mol%가 첨가된 Ta$_2$O$_{5}$의 열처리 온도에 따른 전기적, 유전특성을 살펴보려고 한다살펴보려고 한다