Study on Deposited Film s of SiO$_2$ and Direct Wafer Bonding to Fabricate GaAs/SiO$_2$ /Si Wafers
(GaAs/SiO$_2$ /Si 웨이퍼 제작을 위한 SiO$_2$ 박막 형성과 웨이퍼 직접 접합에 관한 연구)
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- Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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- 2005.02a
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- pp.170-171
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- 2005