$SiO_2$ , SiNx 절역막에 따른 ITZO 박막 트랜지스터의 게이트 바이어스 스트레스 신뢰성 연구
-
- 한국진공학회:학술대회논문집
- /
- 한국진공학회 2013년도 제45회 하계 정기학술대회 초록집
- /
- pp.242.2-242.2
- /
- 2013