RF Magnetron sputtering을 이용한 ${Ce_{1-x}}{RE_x}{O_{2-y}}$ 박막성장
(The growth of ${Ce_{1-x}}{RE_x}{O_{2-y}}$ Thin Films by RF Magnetron Sputtering)
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- 한국세라믹학회지
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- 제37권10호
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- pp.1014-1020
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- 2000