• 제목/요약/키워드: $O_2$ partial pressure

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고압 자전 고온반응 합성법에 의한 B4C-Al2O3복합분말 제조 (Preparation of B4C-Al2O3 Composite Powder by Self-propagation High-temperature Synthesis(SHS) Process under High Pressure)

  • 임경란;강덕일;김창삼
    • 한국세라믹학회지
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    • 제40권1호
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    • pp.18-23
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    • 2003
  • 정량의 B$_2$O$_3$/A1/C의 혼합분말을 화학노 대신 고압의 알곤 분위기를 사용하여 SHS 공정으로 B$_4$C-A1$_2$O$_3$ 복합분말을 제조하였다. 2B$_2$O$_3$+4A1+C=B$_4$C-2A1$_2$O$_3$의 반응식에 해당하는 B$_2$O$_3$(-100 메쉬), Al(-200 메쉬), C(-200 메쉬)의 분말을 2시간 건식 볼밀로 혼합한 후, 고온 고압의 SHS 반응기에 넣고 약 10기압의 알곤 분위기에서 점화하여 SHS을 일으켰다. 반응 생성물은 XRD 분석으로 안과 겉이 균일하게 반응이 일어났으며 반응 생성물로 화학노 사용시 동반되는 부산물 AlB$_{12}$C$_2$가 없는 B$_4$C-A1$_2$O$_3$ 복합 분말을 얻었다. 이 복합 분말은 SEM으로 보면 약 0.3~l $mu extrm{m}$ 크기의 결정이 모인 약 60~100$\mu\textrm{m}$ 크기이었다. 그러나 약 15기압을 사용하였을 때는 부분 소결이 일어나 15~25$\mu\textrm{m}$ B$_4$C 분말에 0.1~0.2$\mu\textrm{m}$의 알루미나가 분산되어 있는 고강도의 복합 분말이 생성되었다.

$(Mg_{0.29}-yMnyFe_{0.71})_{3-}\delta$O_4$ 훼라이트계의 상평형 (Phase Equilibria of the Ferrous Ferrite System of $(Mg_{0.29}-yMnyFe_{0.71})_{3-}\delta$O_4$)

  • 채정훈;유한일;강선호;강대석;유병두
    • 한국세라믹학회지
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    • 제32권3호
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    • pp.394-402
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    • 1995
  • Electrical conductivity and thermoelectric power of the ferrous ferrite system of (Mg0.29-yMnyFe0.71)3-$\delta$O4 have been measured as function of the thermodynamic variables, cationic composition(y), temperature(T) and oxygen partial pressure(Po2) under thermodynamic equilibrium conditions at elevated temperatures. On the basis of the electrical properties-phase stability correlation, the stability regions of the ferrite spinel and its neighboring phases have been subsequently located in the log Po2 vs. y and log Po2 vs. 1/T planes in the ranges of 0 y 0.29, 1100 T/$^{\circ}C$ 1400 and 10-14 Po2/atm 1. The stability region, Δlog Po2(y, 1/T), of the ferrite spinel single phase widens with increasing Mn-content(y) and the boundaries of each region are linear against 1/T with negative slopes.

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분광타원법을 이용한 스퍼터된 V2O5 박막의 성장특성 조사 (Investigation of Growth Properties of Sputtered V2O5 Thin Films Using Spectroscopic Ellipsometry)

  • 임성택;강만일;이규성;김용기;류지욱
    • 한국진공학회지
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    • 제16권2호
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    • pp.134-140
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    • 2007
  • [ $V_{2}O_{5}$ ] 박막의 성장특성을 분석하기 위해 RF 스퍼터링 시스템으로 C-Si 기판에 10 %와 0 %의 산소 분압비로 시료를 제작하였다. 구조적 특성의 분석을 위해 SBM과 XRD 측정을 실시하였고, 위상변조방식의 분광타원계를 이용하여 $0.75{\sim}4.0\;eV$ 범위에 걸쳐 타원상수를 측정하였다. 측정된 타원상수 분석을 위해 상용화된 분석용 프로그램인 DeltaPsi2를 이용하여, Double Amorphous 분산관계식으로 최적 맞춤 하였다. SEM과 XRD 측정결과 시료의 표면 및 결정 상태는 비정질임을 확인하였고, 타원상수의 분석에 의해 $V_{2}O_{5}$층의 두께, void비율, 표면 거칠기를 알 수 있었다. 또한 SEM 측정치와 비교한 결과 두 시료의 두께와 표면 거칠기의 결과가 잘 일치함을 확인 하였다.

미립액상 분말에 의한 $YBa_{2}Cu_{3}O_{x}$ 초전도체의 PECVD 증착법 (A study on the $YBa_{2}Cu_{3}O_{x}$ phase deposition by liquid aerosol PECVD)

  • 정용선;오근호
    • 한국결정성장학회지
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    • 제6권2호
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    • pp.229-237
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    • 1996
  • 액상의 미립자를 이용하여 저온 플라즈마 반응로 안에서 $YBa_{2}Cu_{3}O_{x}$ 초전도체상을 MgO 단결정 위에 in-situ 증착하였다. 금속화합물의 용해도, 분해온도와 용매의 증기압이 이공정 방법에서 중용한 인자로 나타났으며, 초전도체상의 증착실험 조건은 산소분압이 0.3에서 2.7 kPa, 증착온도가 $800^{\circ}C$에서 $940^{\circ}C$까지이었다. 초전도체상을 위한 최적의 증착조건은 CuO 상전이선에 근접하게 나타났다.

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제작 온도 및 산소 분압에 의존하는 인듐 주석 산화물의 전기적, 광학적 성질 (Transport and optical properties of indium tin oxide films fabricated by reactive magnetron sputtering)

  • 황석민;주홍렬;박장우
    • 한국광학회지
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    • 제14권3호
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    • pp.343-348
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    • 2003
  • 자체 제작한 고밀도(이론 밀도의 99%) ITO(I $n_2$ $O_3$:Sn $O_2$=90 wt%) 타깃과 직류 마그네트론 스퍼터링 방법을 이용하여 산소분압 $P_{o_{2}}$ (0 $P_{o_{2}}$ $\leq$$10^{-5}$ torr)와 성장 온도 Ts(10$0^{\circ}C$ $T_{s}$$\leq$35$0^{\circ}C$)를 변화시키면서 ITO 박막을 제작하고 전기적, 광학적 특성을 조사하였다. ITO박막의 비저항은 제작 온도가 증가함에 따라 감소하다가 $T_{s}$=30$0^{\circ}C$일 때 최저 비저항값 0.30 mΩ.cm를 나타내었고 $T_{s}$>30$0^{\circ}C$ 이상에서는 약간 증가하였다. $T_{s}$=30$0^{\circ}C$에서 제작한 ITO 박막의 최대 전하 농도는 6.6$\times$$10^{20}$ /㎤이었다. $T_{s}$를 고정하고 ITO 박막 제작 시 사용한 산소분압이 증가함에 따라 전하농도, 전하유동도는 급격하게 감소하여 비저항이 크게 증가하는 것으로 나타났다 ITO박막의 최저 비저항과 최대 전하 유동도는 각각 0.3 mΩ.cm와 39.3 $\textrm{cm}^2$/V.s였다. 또한 가시광 영역 (400~700 nm)에서 ITO박막의 광투과도는 80~90%로 높게 나타났다.나타났다.

Effects of Partial Substitution of W for Ti in Titanium Dioxide

  • Lee, Eun-Seok
    • Transactions on Electrical and Electronic Materials
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    • 제12권2호
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    • pp.68-71
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    • 2011
  • [ $Ti_{1-x}W_xO_{2-y}$ ]solid solutions with compositions of x = 0.01(TW-1), x = 0.02(TW-2), x = 0.03(TW-3) and x = 0.04(TW-4) were prepared at 1,073 K in air under atmospheric pressure. All the solutions exhibited tetragonal symmetries. Nonstoichiometric chemical formulas have been obtained from oxidation-reduction titration and the partial substitution of $W^{6+}$ ions mainly caused the formation of $Ti^{3+}$ ion, rather than oxygen excess. Resistivities of the samples were highly dependent on humidity. The increase of the W amount resulted in an increase of $Ti^{3+}$ content, decrease of resistivity values and finally degradation of photocatalytic activities.

산소량에 따른 $SnO_x$ 박막의 음극 특성 (Anode Characteristics of $SnO_x$ Films with Various Oxygen Contents)

  • 문희수;성상현;김영일;박종완
    • 전기화학회지
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    • 제3권3호
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    • pp.178-181
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    • 2000
  • 본 실험에서는 리튬 이차 박막전지의 음극물질로 주석 산화물 박막을 RF magnetron sputter을 이용하여 증착하였다. RF power와 공정 압력을 각각 $2.5W/cm^2$와 10mTorr로 고정시키고 박막 중의 산소량을 조절하기 위해 산소 분압을 $0\~100\%$까지 조절하여 실험하였으며, 산소량을 더 줄이기 위해 주석 금속 칩을 사용하여 조절하였다. 산소량을 줄여 줌으로써 비가역적으로 형성되는 리튬산화물의 량을 줄이고 고용량의 $SnO_x$음극 박막을 제조하였다. 그 중 $SnO_{1.43}$일 때 가장 큰 가역용량(약$ 500{\mu}Ah/cm^2{\mu}m$) 얻었다.

2축 정렬된 Ni 위에 MOCVD법에 의한 NiO의 증착조건 (Deposition condition of NiO deposited on biaxially textured Ni by a MOCVD process)

  • 선종원;김형섭;지봉기;박해웅;홍계원;박순동;정충환;전병혁;김찬중
    • 한국초전도ㆍ저온공학회논문지
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    • 제4권2호
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    • pp.5-10
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    • 2002
  • Deposition condition of NiO that is one of Possible buffer layers for YBCO coated conductors was studied. NiO was deposited on textured Ni substrates by a MOCVD (metal-organic chemical vapor deposition) method. The degree of texture, and the surface roughness were analyzed by X-ray Pole figure, atomic force microscope and scanning electron microscope. The (111) and (200) textures were competitively developed , depending on an oxygen partial Pressure(PO2) and deposition temperature (Tp). The (200) textured NiO layer was deposited at Tp=450~47$0^{\circ}C$ and PO2= 1.67 Torr Out-of-Plane ($\omega$-scan) and in-plane ($\Phi$-scan) textures of the (200) NiO films were as good as 10.34$^{\circ}$ and 10.00$^{\circ}$ respectively The AFM surface roughness of NiO was in the range of 3~4.5 nm at PO2=0.91~3.34 Torr and at Tp=47$0^{\circ}C$ , and in the range of 3~13 nm at TP=450~53$0^{\circ}C$ and at PO2=1.67 Torr.

Study of Al2O3/ZrO2 (5 nm/20nm) Nanolaminate Composite

  • Balakrishnan, G.;Wasy, A.;Ho, Ha Sun;Sudhakara, P.;Bae, S.I.;Song, J.I.
    • Composites Research
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    • 제26권1호
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    • pp.60-65
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    • 2013
  • A nanolaminate consisting of alternate layers of aluminium oxide ($Al_2O_3$) (5 nm) and zirconium oxide ($ZrO_2$) (20 nm) was deposited at an optimized oxygen partial pressure of $3{\times}10^{-2}$ mbar by pulsed laser deposition. The nanolaminate film was analysed using high temperature X-ray diffraction (HTXRD) to study phase transition and thermal expansion behaviour. The surface morphology was investigated using field emission scanning electron microscopy (FE-SEM). High temperature X-ray diffraction indicated the crystallization temperature of tetragonal zirconia in the $Al_2O_3/ZrO_2$ multilayer-film was 873 K. The mean linear thermal expansion coefficient of tetragonal $ZrO_2$ was $4.7{\times}10^{-6}\;K^{-1}$ along a axis, while it was $13.68{\times}10^{-6}\;K{-1}$ along c axis in the temperature range 873-1373 K. The alumina was in amorphous nature. The FESEM studies showed the formation of uniform crystallites of zirconia with dense surface.

수소세균 Alcaligenes eutrophus ATCC 17697의 배양조건 및 균체성분 (Culture Conditions and Cell Composition of Hydrogen Bacteria Alcaligenes eutrophus ATCC 17697)

  • 함경식;김길환
    • 한국식품과학회지
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    • 제18권3호
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    • pp.210-214
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    • 1986
  • 수소세균을 단세포단백질자원으로 이용하기 위한 기초연구로서 수소를 에너지원으로 이산화탄소를 탄소원으로 하는 autotrophic condition에서 수소세균 Alcaligenes eutrophus ATCC 17697의 배양조건 및 균체성분을 조사하였다. 균체성장을 위한 최적 pH와 온도는 각각 7.0과 $30^{\circ}C$ 이었으며 0.059atm부터 0.27atm까지의 산소분압범위에서 균체성장에 대한 산소분압의 영향을 본 결과 산소분압 0.11atm$(H_2:O_2:CO_2=7\;:\;1\;:\;1)$에서 최대비증식속도 ${\mu}max\;=0.31hr^{-1}$를 보였다. 건조균체의 조단백, 핵산, 회분함량은 각각 69.2%, 17.6%, 3.62%이었다.

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