• 제목/요약/키워드: $In_2O_3$

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Failure analysis of a turbo molecular pump in semiconductor equipments (반도체 장비에서 터보 분자 펌프의 파손 사례 연구)

  • Jeong, Jin-Yong;Ju, Jeong-Hun;O, Sam-Gyun
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 한국표면공학회 2018년도 춘계학술대회 논문집
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    • pp.120-120
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    • 2018
  • 반도체 소자나 디스플레이 패널 제조 공정에 가장 많이 사용되는 진공 펌프인 터보 분자 펌프는 오일을 사용하지 않고, 설치 방향이 자유로우며 넓은 작동 압력 영역을 가지고 있어서 고가임에도 불구하고 점점 더 사용 영역을 넓혀 가고 있다. 상하의 두 곳에 회전축을 지지하는 베어링이 필요한데, 기계식 금속 베어링을 채용하는 경우에는 반드시 윤활유를 공급해 주어야 하고, 고온, 부식성 또는 산화성 가스의 배기 시에는 퍼지 가스로 비활성인 질소나 알곤등을 이용하여 보호를 해주어야 한다. 반면, 자기 베어링을 채택한 모델은 윤활의 걱정에서 자유로울 수 있기 때문에 채용이 늘어나고 있다. 동일극의 반발력이나 반대극의 인상력을 이용한 구조를 갖게 되는데 갑작스러운 입구 쪽 압력의 증가 시에는 자석 끼리 부딪치는 일이 발생하고 이로 인해서 로터 모듈 전체에 큰 손상을 갖게 되므로 한 곳 정도에 비상용 터치 다운 베어링을 기계식으로 윤활제 없이 설치하기도 한다. 기본적으로 자기 베어링 방식은 로터 모듈의 부상과 제어를 위해서 3축 또는 5축 제어를 하게 되는데 여기에는 전자석의 전류를 미세하게 조정하여 피드백 하는 시스템을 활용하기 때문에 외부에서의 자기장이 일정값 이상 침투하게 되면 제어 회로의 기능에 문제를 일으키게 된다. 또한 축 방향에 수직인 자기장의 강도가 높아지면 고속으로 회전하는 금속 블레이드가 자속을 자르게 되므로 표면에 와전류가 발생하여 문제가 된다. 터보 분자 펌프는 회전자와 고정자 간격이 1 mm 이내로 작아서 약간의 진동이라도 발생하면 회전자와 고정자 간에 충돌이 일어나고 이는 곧 파손으로 이어진다. 그림 1에는 파손 원인 분석을 위한 회전자 모듈의 수치 해석용 모델의 일부를 나타내었고, 그림 2에는 실제로 외부 자기장에 의한 파손이 발생한 사례의 자기 베어링 모듈의 사진을 나타내었다. 본 발표에서는 외부 자기장의 형태에 따라 제어 자기장에 미치는 영향을 CFD-ACE+(ESI corp)를 활용하여 해석하였다.

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Development of the Large-area Au/Pd Transfer-printing Process Applying Both the Anti-Adhesion and Adhesion Layers (접착방지막과 접착막을 동시에 적용한 대면적 Au/Pd 트랜스퍼 프린팅 공정 개발)

  • Cha, Nam-Goo
    • Korean Journal of Materials Research
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    • 제19권8호
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    • pp.437-442
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    • 2009
  • This paper describes an improved strategy for controlling the adhesion force using both the antiadhesion and adhesion layers for a successful large-area transfer process. An MPTMS (3-mercaptopropyltrimethoxysilane) monolayer as an adhesion layer for Au/Pd thin films was deposited on Si substrates by vapor self assembly monolayer (VSAM) method. Contact angle, surface energy, film thickness, friction force, and roughness were considered for finding the optimized conditions. The sputtered Au/Pd ($\sim$17 nm) layer on the PDMS stamp without the anti-adhesion layer showed poor transfer results due to the high adhesion between sputtered Au/Pd and PDMS. In order to reduce the adhesion between Au/Pd and PDMS, an anti-adhesion monolayer was coated on the PDMS stamp using FOTS (perfluorooctyltrichlorosilane) after $O_2$ plasma treatment. The transfer process with the anti-adhesion layer gave good transfer results over a large area (20 mm $\times$ 20 mm) without pattern loss or distortion. To investigate the applied pressure effect, the PDMS stamp was sandwiched after 90$^{\circ}$ rotation on the MPTMS-coated patterned Si substrate with 1-${\mu}m$ depth. The sputtered Au/Pd was transferred onto the contact area, making square metal patterns on the top of the patterned Si structures. Applying low pressure helped to remove voids and to make conformal contact; however, high pressure yielded irregular transfer results due to PDMS stamp deformation. One of key parameters to success of this transfer process is the controllability of the adhesion force between the stamp and the target substrate. This technique offers high reliability during the transfer process, which suggests a potential building method for future functional structures.

Effect of Genistein on the Aryl Hydrocarbon Receptor and Cytochrome P450 1A1 in MCF-7 Human Breast Carcinoma Cells (인체유방암 세포주 MCF-7 세포에서 genistein의 Aryl Hydrocarbon Receptor와 Cytochrome P450 1A1에 대한 영향)

  • Han Eun-Hee;Kim Ji-Young;Jeong Hye-Gwang
    • Environmental Analysis Health and Toxicology
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    • 제21권1호
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    • pp.13-19
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    • 2006
  • 화학적 예방효과가 있는 식물성 에스트로젠은 다양한 환성을 나타내며 여러 세포 수용체와 상호작용한다. Genistein은 isoflavone의 주요물질 중의 하나로 콩류에 존재하며 대표적인 식물성 에스트로젠이다. 본 논문에서는 유방암 세포주인 MCF-7에서 aryl hydrocarbon receptor(AhR)에 의해 매개되는 발암물질 활성화 경로에 대한 genistein의 영향을 살펴보았다. 세포에 genistein을 처리할 경우 cytochrome P450 1A1(CYP1A1) 약물대사효소의 특이적인 효소반응인 7-ethoxyresorufin O-deethylase (EROD) 활성도와 CYP1A1의 유전자 발현이 genistein의 농도 의존적으로 증가하였다. Genistein과 발암물질인 방향족탄화 수소 7, 12-dimethylbenz[a]anthracene(DMBA)를 동시 처리하였을 경우 DMBA에 의해 유도되어 증가된 EROD활성도와 CYP1A1의 유전자 발현이 genistein에 의해 감소하였다. 랫트의 간에서 분리한 세포질을 이용하여 genistein과 AhR의 대표적인 ligand인 2,3,7,8-tetrachlorodibenzo-p-dioxin과 경쟁적 결합에 대한 영향을 조사한 결과 genistein이 AhR에 경쟁적으로 결합함을 알 수 있었다. 이러한 결과들은 genistein이 천연 AhR ligand임을 암시한다. 따라서, 식물성 에스트로젠인 genistein은 AhR경로의 길항제/항진제로 작용할 수 있을 것으로 사료된다.

Effective Extraction of Phytoecdysteroids from Fronds of Matteuccia struthiopteris and Osmunda japonica (청나래고사리와 고비 지상부의 효율적인 phytoecdysteroids 추출조건)

  • Shin, So-Lim;Lee, Cheol-Hee
    • Korean Journal of Plant Resources
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    • 제24권4호
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    • pp.351-357
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    • 2011
  • This study was carried out to investigate the effective extraction condition for increase of phytoecdysteroids from fronds of Matteuccia struthiopteris (FMS) and Osmunda japonica (FOJ). Lyophilizated fronds were mixed with three different solvents (MeOH, 80% EtOH or water) and then extraction was carried out by using six different methods, such as, immersion (room temp.), heating (60$^{\circ}C$), stirring (200 rpm) for 6 h, or sonication in 42 kHz ultrasonic bath for 15, 30 and 45 minutes. Contents of 20-hydroxyecdysone (20E) and ponasterone A (PonA) were measured by using HPLC after purification of the extracts by $C_{18}$ cartridge. Altogether, our results indicate that the extraction using sonication with MeOH as a solvent (for 30 minutes) was the most effective condition for 20E and PonA from both MFS and FOJ. Resulting contents of 20E from FMS and FOJ were 66.76 and 104.48 ${\mu}g{\cdot}g^{-1}$ and PonA were 53.43 and 43.82 ${\mu}g{\cdot}g^{-1}$, respectively.

Correlation between Clinical Characteristics and Apnea-Hypopnea Index with Obstructive Sleep Apnea Syndrome (폐쇄성수면무호흡증후군 환자의 무호흡-저호흡지수와 임상양상간의 상관성)

  • Jin, Bok-Hee;Park, Sun-Young;Chang, Kyung-Soon
    • Korean Journal of Clinical Laboratory Science
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    • 제38권3호
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    • pp.212-217
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    • 2006
  • Obstructive sleep apena syndrome (OSAS) is accompanied by the following symptoms: apnea caused by upper respiratory tract obstruction while sleeping, repetitive lowering of $SpO_2$, severely affected excessive daytime sleepiness (EDS), suffocation/frequent awakeness while sleeping, daytime lethargy, and lack of concentration. OSAS was investigated with sex, age, body weight, body mass index (BMI), neck circumference and snoring sound as clinical characteristics and the anticipating factors of OSAS were studied in relation with the apnea-hypopnea index (AHI). The subjects were 42 people (male 34/female 8) who visited the clinic due to snoring and had polysomnography evaluation. AHI was differenciated into normal (less than 0~5/hr), mild (5~15/hr), moderate (15~30/hr) and severe (more than 30/hr). As the apnea-hypopnea index (AHI) gets higher, the snoring sound was louder (p<0.01), neck circumference was thicker (p<0.05) and also there were relative correlations with body weight (p<0.01), body mass index (p<0.05), snoring sound (p<0.01) and neck circumference (p<0.01). Since the snoring sound and neck circumference explained 32.8% of the AHI distribution, if the patient was severely snoring or had a thick neck circumference due to obesity, the apnea-hypopnea index showed a predisposition to the obstructive sleep apnea syndrome.

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Preparation and Characterization of Ni-Co Bimetallic Catalyst for Methanation (메탄화 반응을 위한 Ni-Co 이원 금속 촉매의 제조와 특성 분석)

  • Yia, Jong-Heop;Kanga, Mi-Yeong;Kim, Woo-Young;Cho, Won-Jun
    • Journal of the Korean Institute of Gas
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    • 제13권5호
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    • pp.33-38
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    • 2009
  • Synthetic natural gas was producd by the reaction of carbon monoxide and hydrogen via methanation. Ni-Co bimetallic catalyst supported on $Al_2O_3$ for methanation was prepared using deposition-precipitation method. For the comparison, Ni, Co monometallic catalyst was prepared using the same method. The prepared catalysts were characterized by TEM, XRD and TPR and applied to methanation reaction. The catalysts prepared using deposition-precipitation method showed the high metal dispersion. The activity of Ni-Co bimetallic catalyst was higher than that of Ni, Co monometallic catalyst. TPR measurements indicated that Ni-Co bimetallic catalyst had more active hydrogen species than Ni, Co monometallic catalyst due to the synergetic effect in the presence of Ni and Co.

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A Case Study on Military Modeling and Simulation for SBA'sEffectiveness Estimation (SBA 효과도 분석을 위한 국방 모의 실험 사례분석)

  • Choi, Dal-Nim;Kim, Hyung-Jong
    • Journal of Software Engineering Society
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    • 제24권3호
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    • pp.91-99
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    • 2011
  • The weapon system acquisition for national defense is too costly, risky and requires high quality result. Because of these characteristics of the weapon system acquisition, the modeling and simulation is a prerequisite process for enhancing the effectiveness and efficiency of weapon system acquisition. We call the process as SBA (Simulation Based Acquisition). However the modeling and simulation entails costs of model development, execution and analysis. Thus, the SBA's effectiveness analysis is needed. Especially, we developed 4 types of index which represent the effectiveness thoroughly and we applied them to various weapon systems' acquisition process. This work presents the necessity of SBA by showing the application of suggested effectiveness index in various defense weapon system acquisition cases.

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Flora changes on Pasture in forest composition and analysis of Useful Plant Resources (임간초지 조성에 관한 식물상 변화와 자원식물의 유용도 분석)

  • Han, Gyu-Il;Kim, Se-Chang;Son, Yong-Hwan;Park, Seong-Ho;Seo, Han-Na;Park, Wan-Geun
    • Proceedings of the Plant Resources Society of Korea Conference
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    • 한국자원식물학회 2019년도 춘계학술대회
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    • pp.60-60
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    • 2019
  • 지속가능한 개발이 주목받고 남북 평화의 시대를 맞이하여 임업분야와 농업 축산분야가 결합된 혼농임업(Agroforestry)이 주목받고 있다. 혼농임업(Agroforestry)은 식량, 과실, 풀사료, 땔감, 목재 등을 생산하고 토양보전을 실천하여 지속농업을 가능케 하는 복합영농의 한 형태이며, 북한 산지의 경우 황폐화된 산지가 많아 경제성과 산림녹화를 동시에 해결할 수 있어 많은 관심을 받고 있다. 본 연구는 강원도 하늘목장을 시범목장으로 선정하여 조사를 실시하였고, 연구조사지의 총 면적은 2.4ha로 백두대간과 오대산국립공원이 인접한 지역으로 다양한 식물상을 파악할 수 있는 지역이다. 그러므로 외래종침입에 따른 생태적 교란을 방지하기 위하여 완충지대를 설정하고 식물상 조사를 실시하였다. 그리고 조사지내의 대표 수종으로 선정된 모수만 남기고 벌채를 실시하여 변화양상을 모니터링 하였다. 2014년~2017년 총 3개년 계절별 조사를 통해 임간초지의 식물상 정보를 파악하였고 임간초지의 관속식물상을 조사한 결과 92과 250속 323종 4아종 43변종 6품종으로 총 376분류군이 조사되었다. 자원식물의 유용도 분석한 결과 식용자원(E)이 160분류군으로 가장 많은 비율을 차지하고 있었으며, 약용(M) 141분류군, 관상용(O) 45분류군으로 나타났으며, 용도미상(U) 식물도 73분류군이 분포하고 있는 것으로 나타났다. 또한 연구 대상지역의 특성을 고려하여 조성된 초지 내에서 조사료로 사용할 수 있는 식물 종을 파악하였다. 나아가 미비한 임간초지 식생의 DB를 구축하고, 지속가능한 녹색성장을 모색하여야 할 것이다.

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Transgenic cucumber expressing the 54-kDa gene of Cucumber fruit mottle mosaic virus is highly resistance and protect non-transgenic scions from soil infection

  • Gal-On, A.;Wolf, D.;Antignus, Y.;Patlis, L.;Ryu, K.H.;Min, B.E.;Pearlsman, M.;Lachman, O.;Gaba, V.;Wang, Y.;Yang. J.;Zelcer, A.
    • Proceedings of the Korean Society of Plant Pathology Conference
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    • 한국식물병리학회 2003년도 정기총회 및 추계학술발표회
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    • pp.148.2-149
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    • 2003
  • Cucumber fruit mottle mosaic tobamovirus (CFMMV) causes severe mosaic symptoms with yellow mottling on leaves and fruits, and occasionally severe wilting of cucumber plants. No genetic source of resistance against this virus has been identified. The genes coding for the coat protein or the putative 54-kDa replicase were cloned into binary vectors under control of the SVBV promoter. Agrobacterium-mediated transformation was peformed on cotyledon explants of a parthenocarpic cucumber cultivar with superior competence for transformation. R1 seedlings were evaluated for resistance to CFMMV infection by lack of symptom expression, back inoculation on an alternative host and ELISA. From a total of 14 replicase-containing R1 lines, 8 exhibited immunity, while only 3 resistant lines were found among a total of 9 CP-containing lines. Line 144 homozygous for the 54-kDa replicase was selected for further resistance analysis. Line 144 was immune to CFMMV infection by mechanical and graft inoculation, or by root infection following planting in CFMMV-contaminated soil. Additionally, line 144 showed delay of symptom appearance following infection by other cucurbit-infecting tobamoviruses. Infection of line 144 plants with various potyviruses and cucumber mosaic cucumovirus did not break the resistance to CFMMV. The mechanism of resistance of line 144 appears to be RNA-mediated, however the means is apparently different from the gene silencing phenomenon. Homozygote line 144 cucumber as rootstock demonstrated for the first time protection of a non-transformed scion from soil inoculation with a soil borne pathogen, CFMMV.

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Prediction of rainfall-induced runoff considering infiltration of water in both unsaturated and saturated porous media (불포화 및 포화 투수층에서의 침투를 고려하여 강우 유출 해석)

  • Changhoon Lee;Minh Thang Tran
    • Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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    • 한국수자원학회 2023년도 학술발표회
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    • pp.62-62
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    • 2023
  • 강우가 지표면 아래로 침투할 때 초기에는 투수층이 불포화 상태이어서 부압이 작용하면서 침투할 것이다. Richards 식(Richards, 1931)을 써서 불포화 투수층의 침투를 모의할 수 있다. 강우가 지속되는 동안 하상 아래 어느 구간은 포화 상태가 되어 Richards 식을 더 이상 사용할 수 없다. 하지만 현재까지의 연구는 Richards 식을 사용하여 침투를 모의하는 오류를 범하고 있다. 강우에 의한 침투를 예측할 때 지표면에서의 침투율 qb 가 필요한 데 현존하는 연구에서는 Horton 식(Horton, 1941)을 사용하여 초기 침투율 fo 와 장시간 후 침투율 fc 와 시간에 따라 지수함수로 감소하는 계수 k 의 3가지 계수값을 실험이나 현장 관측값에서 찾아서 쓰고 있다. 그런데, 이 계수값은 강우강도 ri 가 클수록 침투율 q 가 커지는 물리 현상을 반영하지 못하는 한계가 있다. 본 연구에서 먼저 포화 투수층에서의 침투를 모의하는 식을 개발하였다. 지표면 아래에서 불포화 투수층에는 Richards식을 사용하고 포화 투수층에는 개발한 식을 사용하여 침투를 모의하였다. 또한 지표면에서의 침투율 qb 를 구하는 공식을 개발하였다. 하상에서의 침투율의 최대값은 $q_{bmax}=-{\lambda}{\sqrt{2g(s-b)}}$ 일 것이다. 여기서 λ 는 투수층의 공극율, s 는 유출수면의 위치, b 는 지표면의 위치이다. 지표면에서의 침투율의 최소값 qbmin 은 지표면 바로 아래 지점에서의 침투율일 것이다. 지표면에서의 침투율 qb 로 qbmax 와 qbmin 사이의 적절한 값을 선택한다. 강우강도를 ri 라고 하면 지표면 위 유출수의 연속방정식은 다음과 같다: $s-b={\int}(r_i-{\mid}q_b{\mid})dt$. 즉, 유출수면의 위치 s 는 강우강도 ri 가 클수록 또는 지표면에서의 유출율의 크기 |qb| 가 작을수록 크다. 또한 지표면에서의 침투율 qb 와 지표면 아래에서의 침투율 q 는 s - b 가 클수록 크다. 따라서, 강우강도 ri 가 클수록 침투율 qb, q 가 큰 현상이 잘 반영되었다. 강우-침투-유출 모형실험을 수행하여 강우강도에 따라 침투율과 유출량이 다른 현상을 관측하여 수치실험 결과와 비교·검증하였다.

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