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소동물 영상을 위한 MicroPET R4스캐너의 특성평가 (Performance Characteristics of MicroPET R4 Scanner for Small Animal Imaging)

  • 이병일;이재성;김진수;이동수;최창운;임상무
    • 대한핵의학회지
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    • 제39권1호
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    • pp.49-56
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    • 2005
  • 목적: 새로운 PET 추적자와 약물 개발, 유전자 및 줄기세포치료 연구 등에 소동물 전용 PET이 유용하게 쓰이고 있으며, 국내에도 최근에 microPET R4 소동물 전용 PET이 설치되어 각종 기초연구에 활발히 이용될 전망이다. 이 연구에서는 국내에 최초로 설치된 microPET R4 스캐너의 물리적 특성(공간분해능, 균일도, 민감도, 산란분획, NECR)을 측정하였다. 대상 및 방법: 내경 0.5 mm의 가는 모세관을 F-18으로 채워 만든 선선원을 이용하여 공간분해능 및 민감도를 측정하였다. 반경방향(radial) 및 접선방향(tangential) 분해능을 측정하기 위하여 60 mm의 선선원(65 ${\mu}Ci$)을 축방향과 나란하게 놓은 후 횡단면상 중앙에서부터 1 mm 간격으로 중심에서 4 cm 벗어난 지점까지 옮겨가며 각 2분간 PET 영상을 얻었다. 축방향(axial) 공간분해능 측정을 위하여서는 선선원을 축방향과 수직으로 놓고 동일한 실험을 반복하였다. PET 영상은 FBP 방법과 OSEM 방법으로 각각 재구성하였으며 가우시안 함수로 곡선정합하여 반치폭값을 구하였다. 축방향 위치에 따른 민감도 측정을 위하여 축방향 시야 길이와 동일한(78 mm) 선선원(16.5 ${\mu}Ci$)을 횡단면 중심에 축방향과 나란하게 위치시키고 불응시간이 1%이하가 됨을 확인한 후 축방향 중심에서 바깥방향으로 39 mm까지 (0.5 mm간격) 이동시키면서 각 4분간 PET 영상을 얻었다. 총동시계수에서 지연계수를 빼고 방사선 붕괴를 보정한 후 민감도를 계산하였다. 지름 60 mm, 길이 150 mm의 원통형 팬텀을 제작하여 NECR과 산란분획을 7반감기 동안 각 20분씩 얻은 데이터로부터 계산하였다. 결과: FBP로 재구성한 영상의 공간분해능은 횡단면 중심에서 각각 1.86 mm(반경 방향), 1.95 mm(접선방향), 1.95 mm(축방향)이었으며 중심에서 2 cm 벗어난 지점에서 각각 2.54 mm, 2.8 mm, 1.61 mm이었다. OSEM 영상의 공간분해능은 중심에서 각각 1.44 mm, 1.36 mm, 1.61 mm이었으며 중심에서 2 cm 벗어난 지점에서 각각 1.86 mm, 2.29 mm, 2.88 mm이었다. 민감도는 축방향 중심에서 2.36%, 축방향 시야길이의 1/4인 18.5 mm 지점에서 2.09%이었다. 산란분획은 20%이었으며, 최대 NECR은 242 kBq/mL에서 66.4 kcps이었다. 생쥐와 백서, 그리고 고양이의 뇌영상을 획득하여 영상의 품질을 확인하였다. 결론: 국내에 설치된 microPET R4의 공간분해능 및 민감도는 기존에 알려진 값들과 거의 유사하였으며, 소동물 PET 영상을 위하여 적합한 것으로 보인다.

물리학 선량법을 이용한 갑상선암의 개인별 최대안전용량 I-131 치료법 개발과 유용성 평가 (Development and Assessment Individual Maximum Permissible Dose Method of I-131 Therapy in High Risk Patients with Differentiated Papillary Thyroid Cancer)

  • 김정철;윤정한;범희승;제갈영종;송호천;민정중;정환정;김성민;허영준;이명호;박영규;정준기
    • 대한핵의학회지
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    • 제37권2호
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    • pp.110-119
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    • 2003
  • 목적: 분화갑상선암 환자에 대한 방사성옥소(I-131) 치료는 재발율과 사망률을 감소시키는 효과적인 치료법이지만, 치료용량을 증가시킴으로써 치료율을 향상시킬 수 있는지에 대해서는 아직 논란이 있다. 본 연구에서는 최대허용선량 치료법의 효용성을 검증하고자 하였다. 대상 및 방법: 임상적 병기가 제3, 4병기이고, 6개월 이후에 I-131 전신스캔(이하 IWBS)과 혈중 thyroglobulin (이하 Tg), anti-thyroglobulin antibody (이하 ATA), 초음파검사(이하 US) 및 F-18 FDG PET 등을 통해 치료여부를 확인할 수 있었던 58명(남:여=9:49, 평균연령 $50{\pm}11$세)의 유두상갑상선암 환자를 대상으로 하였다. 이중 11명은 제4병기, 47명은 제3병기였으며, 43명(남:여=4:39, 평균연령 $50{\pm}11$세)은 7.4 GBq 이하의 고식적인 저용량치료법으로 치료하였고, 9.25 GBq 이상의 고용량 치료를 받은 환자는 15명(남:여=5:10, 평균연령 $50{\pm}12$세)으로 고용량군에서 남자가 더 많았으나 연령의 차이는 없었다. 고용량군 환자 모두에서 추적용량의 방사성옥소(평균 $77{\pm}3MBq$)를 경구 투여한 후 혈중 방사능소실곡선을 통해 최대허용선량(maximum permissible dose, 이하 MPD)을 계산하였으며, 7명에서는 말초혈액림프구의 중기염색 체분석법에 의해 생물학적으로 MPD를 계산하였다. 14명에서는 치료용량의 방사성옥소를 투여한 후 혈중 방사능소실곡선을 통해 MPD를 계산하였다. 완전치유(complete response, 이하 CR)는 IWBS에서 병소가 없어지고, 혈중 Tg치가 1 ng/mL 이하로 감소한 경우로 정의하였으며, 부분치유(partial response, 이하 PR)는 IWBS에서 병소가 없어졌더라도 혈중 Tg, ATA치가 높거나, US 또는 PET 검사에서 병소가 남아있는 경우로 정의하였다. 치료후 IWBS에서 병소가 오히려 증가하거나 변함없는 경우는 없었다. 방사성옥소 치료에 의한 부작용은 입원기간 중 타액선이 현저하게 붓고 통증이 있거나, 구토를 심하게 하는 경우, 그리고 퇴원후 1개월째 백혈구수가 20% 이상 감소한 경우로 정의하였다. 결과: 양 군간에 연속적인 수치변화를 비교하는 경우는 paired t-test를 이용하였으며, 대상군간 치료효과와 부작용의 비교는 chi-square test를 이용하였다. p값 0.05 미만을 통계적으로 유의한 차이로 인정하였다. 고용량군 환자 모두에서 추적용량과 치료용량의 방사성옥소 투여 후 혈액의 피폭선량은 각각 $0.012{\pm}0.3Gy,\;1.66{\pm}25Gy$였으며, 방사성옥소 투여 후 혈액에 전달되는 피폭선량은 추적용량보다 치료용량에서 더 많았고(1.21: 166 rad, p<0.0001), 방사성옥소 1 mCi당 혈액에 전달되는 피폭선량은 차이가 없었다($0.58{\pm}0.1\;vs.\;0.56{\pm}0.1$ rad/37 MBq, p=0.34). 추적용량 방사성옥소 투여 후 구한 MPD는 평균 $13.3{\pm}1.9GBq\;(9.7{\sim}16GBq)$ 이였고, 치료용량 방사성옥소 투여 후 구한 MPD는 평균 $13.8{\pm}2.1GBq(10.4{\sim}16.3GBq)$로 유의한 차이가 얻었으며 (p=0.20), 두 수치간에는 유의한 상관 관계가 있었다(r=0.8, p<0.0001). 7명의 환자에서 말초혈액림프구 중기염색체 분석법으로 MPD를 측정하였는데 혈액의 피폭선량은 $1.78{\pm}0.03Gy$였으며, 같은 환자에서 혈중 방사능소실곡선으로부터 구한 피폭선량은 $1.54{\pm}0.03Gy$로 유의하게 낮았으나 (p=0.01), 두 측 정치 간에는 유의한 상관관계(r=0.86, p=0.01)가 있었다. 저용량 치료군 43명 중 22명(51.2%)에서 완전치유를 보였고 21명(48.8%)에서는 부분치유를 보인 반면, 고용량 치료군 15명 중 12명(80%)에서 완전치유를 보였고 3명(20%)에서만 부분치유를 보여 고용량 치료군에서 유의하게 높은 완전치유를 얻을 수 있었다(p=0.05). 한편 부작용 발생빈도는 저용량 치료군 43명 중 13명(30.2%), 고용량 치료군 15명중 6명(40%)로 양군간에 유의한 차이가 없었다(p=0.46). 임상적인 병기, 연령 및 성별에 따라서는 치유의 차이가 없었다(모두 p>0.05). 결론: 혈중소실곡선으로부터 MPD를 결정하고 이를 토대로 환자 개개인별로 적절한 선량을 선택하여 치료하는 방법은 부작용을 최소화하면서도 치료효과를 높일 수 있는 매우 유용한 치료법이며, 고위험군 분화갑상선 암 환자에게 가장 적절한 치료법이라고 사료되었다.

Physiological Profile of Growing Rats: Effects of Cage Type and Cage Density

  • Yildiz, A.;Hayirli, A.;Okumus, Z.;Kaynar, O.;Kisa, F.
    • Asian-Australasian Journal of Animal Sciences
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    • 제20권2호
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    • pp.263-272
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    • 2007
  • This experiment was conducted to examine the effects of cage type (CT) and cage density (CD) on physiological variables in growing rats. Sprague Dawley rats (n=108) weighing an average of 46 g were housed in metallic cage with woodchip bedding (MCWB), metallic cage with wire mesh (MCWM), and plastic shoebox with woodchip bedding (PCWB) separately by sex at normal ($160-cm^2/rat$, ND) and high ($80-cm^2/rat$, HD) CD from 3 to 10 wks of age. All cages were in dimension of $24{\times}40{\times}20$ cm ($W{\times}D{\times}H$). At the end of the experiment, blood samples were collected and 6 rats from each cage were sacrificed. No death was observed among rats at ND, whereas mortality rate at HD was 22.3% for males and 13.9% for females. Heart weight was affected by CT. Doubling CD caused 23, 11.8, 17.9, 8.6, 6.9, and 16.4% decreases in BW and weights of heart, liver, kidney, testis, and ovary, respectively. Except for adrenal gland, other organs for males were heavier than for females. Liver weight of males and females responded differently to CT and CD. Comparing with females, males had 7.3 and 5.2% heavier and 9.9% lighter liver weights in MCWB, MCWM, and PCWB, respectively. As CD doubled, liver weight for males and females decreased by 22.4 and 13.1%, respectively. Mean adrenal gland weight increased by 8.4% and decreased by 9.7% for males and females, respectively, with doubling CD. CT affected glucose, TG, Ca, and ALP levels. However, CD did not alter blood chemistry. Rats housed in metallic cages had greater neutrophil count and neutrophil:lymphocyte ratio than rats housed in plastic cages. Doubling CD caused a 24.2% increase in lymphocyte count. There were CT by CD, CT by sex, and CD by sex interaction effects on lymphocyte count. Doubling CD caused 0.1% decrease and 49.8 and 26.7% increases in lymphocyte count for rats housed in MCWB, MCWM, and PCWB, respectively. Comparing with females, lymphocyte count for males housed in MCWB, MCWM, and PCWB had 8.9 and 12.9% greater and 30.3% less lymphocyte counts, respectively. Lymphocyte count decreased by 4.12% for males, whereas it increased by 61.0% for females as CD doubled. Doubling CD resulted in 2.5 and 2.3% increases in erythrocyte count and hematocrit value. These data suggest that animals perform better in metallic cages than in plastic cages and that cage density had pronounceable effects on physiological parameters in a cage type and sex dependent-manner.

간호사 이미지에 관한 연구 (A Study on Image of the Nurse)

  • 김형자;김현옥
    • 간호행정학회지
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    • 제7권1호
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    • pp.97-110
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    • 2001
  • An image exists in the thought of every subjective person and it exercises its influence over everything, having a great power in the real world. An positive image of the nurse has an influence on her faith, value and confidence, therefore increasing her job satisfaction, helping to upgrade her level of profession of nursing through qualitative nursing service as a result, considering the necessity of such an image when it comes to improvement of the profession, the confirmation of the image is indispensable to its evaluation of a speciality in nursing. This study is intended to help that improvement of the nursing profession in the present so that the total effort in every field of nursing is made and to offer basic material for developing a strategy to improve the image of nurses. This study is designed to investigate such an image descriptively. The subjects include 105 nurses, 60 doctors, 68 office workers, 88 medical engineers, 127 patients and there protectors with a total of 448 adapted with accidental sampling, who work at Y and W general hospital in Chonju. The measuring instrument consists of 40 question, with the researcher amended and made from on of Inja Song(1993), Donsoon Lee(1995), Ilsim yang(1998), and its Cronbach's alpha coefficient is .95. Data were collected from March 1 2000 to March 20, 2000 using self-reported questionnairs, analyzed with SPSS WIN 7.5 after encoding. The results are as follows: 1. Most of the subjects thinks the nursing as a hard, stressful, always busy job(more than 75%), and consider nurses as good-looking, supportive and responsible to co-workers to above average degree($50.0{\sim}74.9%$), especially it shows the idea that nursing is independently academic job and has come to fasten itself upon the public. But it shows below the everage($25.0%{\sim}49.9%$) in regard to self development as a specialist, affection for there job, an association activity, service to the community, high intelligence level and direct given patient nursing service. It also rated low as a recommendable job, independently nursing accomplishment, social position. 2. The nurses, patients and there protectors expressed more positive opinions than doctors, medical engineers, office workers about the image of the nurse(F=18.80, p=.00). This fact indicates that the former group evaluated the image similarly contrary to lowness of the latter. 3. In the study on what influenced upon the image, it defines to 79.8% by direct contact in the hospital or acquaintance with nurses, and 16.3% by mass media. 67.3% answered that they saw the image in a new light through hospitalization, which suggests an important source for the image management originates from caring for the quality of nursing service. Considering the evaluation of the image above, we need strategies to lead a unique professional knowledge and technological development, insurance of professional self-determination, high social position, participation in group activities, dedication to lifetime job, in order that nursing comes to expand as a professional occupation. Also, as for generating more positive images, we must take the quality of nursing service into account and offer and monitor correct information about the expanded role and function of the nurse continuously so that mass media reflect a more accurate image of nurses in general.

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A Whole Genome Association Study to Detect Single Nucleotide Polymorphisms for Carcass Traits in Hanwoo Populations

  • Lee, Y.-M.;Han, C.-M.;Li, Yi;Lee, J.-J.;Kim, L.H.;Kim, J.-H.;Kim, D.-I.;Lee, S.-S.;Park, B.-L.;Shin, H.-D.;Kim, K.-S.;Kim, N.-S.;Kim, Jong-Joo
    • Asian-Australasian Journal of Animal Sciences
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    • 제23권4호
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    • pp.417-424
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    • 2010
  • The purpose of this study was to detect significant SNPs for carcass quality traits using DNA chips of high SNP density in Hanwoo populations. Carcass data of two hundred and eighty nine steers sired by 30 Korean proven sires were collected from two regions; the Hanwoo Improvement Center of National Agricultural Cooperative Federation in Seosan, Chungnam province and the commercial farms in Gyeongbuk province. The steers in Seosan were born between spring and fall of 2006 and those in Gyeonbuk between falls of 2004 and 2005. The former steers were slaughtered at approximately 24 months, while the latter steers were fed six months longer before slaughter. Among the 55,074 SNPs in the Illumina bovine 50K chip, a total of 32,756 available SNPs were selected for whole genome association study. After adjusting for the effects of sire, region and slaughter age, phenotypes were regressed on each SNP using a simple linear regression model. For the significance threshold, 0.1% point-wise p value from F distribution was used for each SNP test. Among the significant SNPs for a trait, the best set of SNP markers were selected using a stepwise regression procedure, and inclusion and exclusion of each SNP out of the model was determined at the p<0.001 level. A total of 118 SNPs were detected; 15, 20, 22, 28, 20, and 13 SNPs for final weight before slaughter, carcass weight, backfat thickness, weight index, longissimus dorsi muscle area, and marbling score, respectively. Among the significant SNPs, the best set of 44 SNPs was determined by stepwise regression procedures with 7, 9, 6, 9, 7, and 6 SNPs for the respective traits. Each set of SNPs per trait explained 20-40% of phenotypic variance. The number of detected SNPs per trait was not great in whole genome association tests, suggesting additional phenotype and genotype data are required to get more power to detect the trait-related SNPs with high accuracy for estimation of the SNP effect. These SNP markers could be applied to commercial Hanwoo populations via marker-assisted selection to verify the SNP effects and to improve genetic potentials in successive generations of the Hanwoo populations.

제주도 화산회토양의 배추와 양배추에 대한 질소의 시비추천식 설정 (Recommendation of Optimum Amount of Fertilizer Nitrogen Based on Soil Organic Matter for Chinese Cabbage and Cabbage in Volcanic Ash Soils of Cheju Island)

  • 송요성;곽한강;연병열;이춘수;윤정희;문두영;이신찬
    • 한국토양비료학회지
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    • 제35권2호
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    • pp.105-111
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    • 2002
  • 현재 채소류에 대한 질소시비량 추천식은 육지부토양에서 시험한결과를 이용하여 설정된 것으로 이를 화산회토양에서도 활용하는 문제가 있어 이를 검토하기위하여 제주도 토양을 중심으로 1999년에는 pot와 2000년에는 포장에서 몇개의 질소시비량수준을 두고 배추를 재배한 시험결과는 다음과 같다. 1. Pot와 포장시험에서 배추의 질소 최고시비량은 $294{\sim}331kg\;ha^{-1}$이었고 토양의 유기물함량과 최고시비량과의 관계를 이용하여 화산회토양에 알맞는 새로 질소시 비량 추천식을 설정하였다. 2. 배추의 질소시비량시험을 통한 화산회토의 실제 질소시비적량은 기존의 추천식을 이용한 시비량과는 큰차이를 보였고 개선된 질소시비 추천식으로부터 산출된 질소 시비량과는 근소한 차이를 보였다. 3. 수화기 T-N 함량 및 질소흡수량은 질소시비량이 증가할수록 많았으나 질소이용 율은 질소시비량이 증가할수록 낮아지는 경향이었다. 4. 화산회토양에서 재배하는 양배추 대한 토양유기물함량에 따른 질소 시비량은 배추대비 질소흡수량을 흡수량비교 계수로 하고 이를 이용하여 양배추의 새로운 질소시비 추천식을 도출하였다.

한국 연근해 갈치의 자원평가 및 관리방안 연구 2. 한국 연근해 갈치의 자원량 변동 (A Study on the Stock Assessment and Management Implications of the Hairtail, Trichiurus lepturus Linne in Korean Waters 2. Variations in Population Biomass of the Hairtail, Trichiurus lepturus Linne in Korean Waters)

  • 장창익;손명호
    • 한국수산과학회지
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    • 제30권4호
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    • pp.620-626
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    • 1997
  • 본 연구는 한국 연근해 갈치의 연도별 연령별 어획량 자료를 사용하여 생체량을 기초로한 코호트 분석법 (Zhang, 1987)에 의하여 갈치의 $1970\~1988$년 자원량을 추정하였다. 연도별 자원량은 1975년 약 24만톤으로 가장 높은 수준을 보였으며, 1980년부터는 14만톤의 수준으로 떨어졌다. 성어자원량에 있어서는 1978년 약 5.5만톤의 최대수준을 보인 이후, 계속 감소되어 1980년 이후 약 9 천톤의 낮은 수준에 머물러 있다. 연령별 자원량의 경년 변동에 의하면 1970년대와 1980년대의 연령조성은 큰 차이를 나타내었다. 1980년대의 연령조성에서는 4세 이상의 대형어는 거의 나타나지 않고 있으며, $1\~3$세까지의 소형어 수준도 70년대 수준에 크게 못미치고 있다. 또 1973년 연급군이 비교적 탁월연급군으로 나타났다. 코호트 분석에 의해 추정된 1970년대와 80년대의 연도별 순간어획사망계수는 서로 유의성 (P<0.05)을 보여 80년대의 어획사망계수가 증가한 것으로 나타났다. 자원량에 대한 가입량에 있어서는 Ricker curve를 나타내 밀도종속적인 관계를 보여주고 있다.

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차광 및 시비처리에 따른 여러 양치류의 생육반응 (Growth Responses of Various Ferns on Shading and Fertilizer Application)

  • 심명선;김영재;이동석;권영한;김성식;강우창
    • 생물환경조절학회지
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    • 제20권2호
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    • pp.109-115
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    • 2011
  • 본 실험에서는 차광 및 시비처리에 따른 여러 양치류의 생육반응을 구명하여 양치류의 효율적인 재배관리를 위한 광도 및 영양관리에 대한 기초자료를 제시하고자 하였다. 상록성 양치류인 참지네고사리, 도깨비고비, 선바위고사리 등은 차광수준 30~60%에서 생육이 우수한 것으로 나타났다. 이들은 시비량이 많을 수록 생육이 좋아졌으며, 식물의 생육 및 생존율은 전 처리구에서 유지되었다. 이들은 적합한 차광수준에서 시비할 경우 식물의 관상가치가 높아지고(엽색 변화)생육도 향상되었다. 하록성 양치류인 설설고사리는 차광수준 30~60%, 참새발고사리는 60%, 그리고 개고사리는 0~30%에서 생육이 우수한 것으로 나타났다. 이들은 시비에 의한 효과는 부분적으로 보였으나, 일부차광 처리구에서는 시비함에 따라 생존율이 감소하였다. 또한 이들은 모든 처리구에서 생장량도 감소하는 경향을 보여, 생육관리가 쉽지 않은 식물로 판단되었다. 시비 및 광도에 따른 상록성 및 하록성 양치류의 생육반응에 차이를 보였다.

한국(韓國)에 있어서의 요충감염상(蟯虫感染相) (Pattern on Enterobius vermicularis in Korea)

  • 이준상;김규호;유종철;홍경숙;이혜정;임한종
    • 농촌의학ㆍ지역보건
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    • 제3권1호
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    • pp.18-26
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    • 1978
  • Enterobius vermicularis (pinworm) infestation in present day Korea has become one of nationwide problems. But, the incidence of pinworm infestation having been reported by many workers was almostly the data for specific groups. The incidence of pinworm infestation for 208 families of 760(male; 30, female;420) middle class inhabitant of Seoul, 238 subrural inhabitants in Gyeonggi Province and 150(male;77, female;73) rural primary students in three different districts were examined by modified Gralam's scotch-tape swab method. The results are summarized as follows; 1. The incidence of nationwide infestation a. The nationwide incidence of pinworm infestation of the 1,148 specimens examined was 28.7% (male; 27.5%, female; 29.6%). b. The highest incidence was found among 5-14 years of age. c. In comparison of the incidence by the area, the highest incidence was found among subrural area, next among rural area and the lowest among urban area. 2, Urban area a. The incidence of the 760 inhabitants examined was 23.2% (male; 24.1%, female; 22. 3%). b. The incidence of the parents group was 12.2% and children group was 30. 30.3%. c. In the parents who hold one or more pinworm poitive cases among children, the incidence of father group was 13.2% and mother group was 29.7%.3. Subrural area a. The incidence of the 238 inhabitants examined was 42.9% (male, 40.8%, female; 44.4%). b. The cumulative positive rate of anal swabs showed increasing tendency. c. Worm collection rates after chemotherapy of 98 inhabitants were 54, 0%. d. In scotch tape anal swab only one times, diagnostic value was 74.0%. e. Mother group infested with pinworm seemed to play an important role for the high incidence in individual family. f. In comparison of the incidence by the examination method, the highest incidence was found among scotch tape method. 4. Rural area The incidence of the 150 primary students examined was 34. 5% (male ; 24. 7%, female; 43.8%).

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In-situ Synchrotron Radiation Photoemission Spectroscopy Study of Property Variation of Ta2O5 Film during the Atomic Layer Deposition

  • Lee, Seung Youb;Jeon, Cheolho;Kim, Seok Hwan;Lee, Jouhahn;Yun, Hyung Joong;Park, Soo Jeong;An, Ki-Seok;Park, Chong-Yun
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2014년도 제46회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.362-362
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    • 2014
  • Atomic layer deposition (ALD) can be regarded as a special variation of the chemical vapor deposition method for reducing film thickness. ALD is based on sequential self-limiting reactions from the gas phase to produce thin films and over-layers in the nanometer scale with perfect conformality and process controllability. These characteristics make ALD an important film deposition technique for nanoelectronics. Tantalum pentoxide ($Ta_2O_5$) has a number of applications in optics and electronics due to its superior properties, such as thermal and chemical stability, high refractive index (>2.0), low absorption in near-UV to IR regions, and high-k. In particular, the dielectric constant of amorphous $Ta_2O_5$ is typically close to 25. Accordingly, $Ta_2O_5$ has been extensively studied in various electronics such as metal oxide semiconductor field-effect transistors (FET), organic FET, dynamic random access memories (RAM), resistance RAM, etc. In this experiment, the variations of chemical and interfacial state during the growth of $Ta_2O_5$ films on the Si substrate by ALD was investigated using in-situ synchrotron radiation photoemission spectroscopy. A newly synthesized liquid precursor $Ta(N^tBu)(dmamp)_2$ Me was used as the metal precursor, with Ar as a purging gas and $H_2O$ as the oxidant source. The core-level spectra of Si 2p, Ta 4f, and O 1s revealed that Ta suboxide and Si dioxide were formed at the initial stages of $Ta_2O_5$ growth. However, the Ta suboxide states almost disappeared as the ALD cycles progressed. Consequently, the $Ta^{5+}$ state, which corresponds with the stoichiometric $Ta_2O_5$, only appeared after 4.0 cycles. Additionally, tantalum silicide was not detected at the interfacial states between $Ta_2O_5$ and Si. The measured valence band offset value between $Ta_2O_5$ and the Si substrate was 3.08 eV after 2.5 cycles.

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