• 제목/요약/키워드: $B_2O_3$

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FHD법에 의한 $B_2O_3-P_2O_5-SiO_2$ 실리카막의 효과적인 $P_2O_5$ 도핑 (The Effective $P_2O_5$ Doping into $B_2O_3-P_2O_5-SiO_2$ Silica Layer Fabrication by Flame Hydrolysis Deposition)

  • 심재기;이윤학;성희경;최태구
    • 한국세라믹학회지
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    • 제35권4호
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    • pp.364-370
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    • 1998
  • 광집적회로용 평면도파로를 구현하기 위한 $B_2O_3-P_2O_5-SiO_2$ 실리카 광도파막을 실리콘 기판위에 FDH(Flame Hydrolysis Depositon)법으로 제조하여 미립자의 미세구조, 실리카막의 굴절률과 조성을 고찰하였다. FHD법에서 도펀트(dopant)물질로, $B_1\;P_1\;Ge$ 등의 산화물이 사용되며, $B_1$ Ge 산화물의 경우 $SiO_2$와의 결합특성이 우수하여 비교적 도핑(doping)이 용이하지만 P의 경우 $P_2O_5$의 낮은 융점에 의한 증발 등으로 효과적인 도핑이 어렵다. 수직형 FHD 토치를 사용하고 화염온도, 기판온도, 토치와 기판간의 거리를 최적화하여 P 농도가 3.3 Wt%이상이고 고밀화 온도가 $1180^{\circ}C$ 이하인 양질의 실리카막을 얻었다. 실리카막의 굴절률은 $1.55\;\mu\textrm{m}$ 파장에서 $1.4480{\pm}1{\times}10^{-1}$로 측정되었으며, $22{\pm}1\;\mu\textrm{m}$의 두께를 보였다.

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$B_2O_3$ 첨가에 따른 $0.96MgTiO_3-0.04SrTiO_3$의 마이크로파 유전특성 (Microwave dielectric properties of $0.96MgTiO_3-0.04SrTiO_3$ ceramics with $B_2O_3$)

  • 김정훈;최의선;이문기;정장호;이영희
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2002년도 하계학술대회 논문집 Vol.3 No.2
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    • pp.682-685
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    • 2002
  • The $0.96MgTiO_3-0.04SrTiO_3$ ceramics with $B_2O_3$(10wt%) were prepared by the conventional mixed oxide method. The structural properties were investigated with sintering temperature by XRD. According to the X-ray diffraction pattern of the $0.96MgTiO_3-0.04SrTiO_3$ ceramics with $B_2O_3$(10wt%), the ilmenite $MgTiO_3$ and perovskite $SrTiO_3$ structures were coexisted and secondary phase of the $MgTi_2O_5$ were appeared. In the case of $0.96MgTiO_3-0.04SrTiO_3+B_2O_3$(10wt%) ceramics sintered $1225^{\circ}C$, dielectric constant, quality factor and temperature coefficient of resonant frequency were 19.82, 62,735GHz, $-2.983ppm/^{\circ}C$, respectively.

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Effect of Additives on the Refractive Index of B2O3-SiO2-Al2O3 Glasses for Photolithographic Process in Electronic Micro Devices

  • Won, Ju-Yeon;Hwang, Seong-Jin;Lee, Jung-Ki;Kim, Hyung-Sun
    • 한국재료학회지
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    • 제20권7호
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    • pp.370-373
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    • 2010
  • In fabricating plasma display panels, the photolithographic process is used to form patterns of barrier ribs with high accuracy and high aspect ratio. It is important in the photolithographic process to control the refractive index of the photosensitive paste. The composition of this paste for photolithography is based on the $B_2O_3-SiO_2-Al_2O_3$ glass system, including additives of alkali oxides and rare earth oxides. In this work, we investigated the density, structure and refractive index of glasses based on the $B_2O_3-SiO_2-Al_2O_3$ system with the addition of $Li_2O$, $K_2O$, $Na_2O$, CaO, SrO, and MgO. The refractive index of the glasses containing K2O, Na2O and CaO was similar to that of the [BO3] fraction while that of the SrO, MgO and Li2O containing glasses were not correlated with the coordination fraction. The coordination number of the boron atoms was measured by MAS NMR. The refractive index increased with a decrease of molar volume due to the increase in the number of non-bridging oxygen atoms and the polarizability. The lowest refractive index (1.485) in this study was that of the $B_2O_3-SiO_2-Al_2O_3-K_2O$ glass system due to the larger ionic radius of $K^+$. Based on our results, it has been determined that the refractive index of the $B_2O_3-SiO_2-Al_2O_3$ system should be controlled by the addition of alkali oxides and alkali earth oxides for proper formation of the photosensitive paste.

P2O5-SnO2계 유리에서 P2O5를 B2O3로 치환첨가 시 구조와 물성에 미치는 영향 (Effects of Substituting B2O3 for P2O5 on the Structure and Properties of P2O5-SnO2 Glass Systems)

  • 최병현;지미정;안용태;고영수;이영훈
    • 한국세라믹학회지
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    • 제45권8호
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    • pp.459-463
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    • 2008
  • $P_2O_5-SnO_2$ system $0.5SnO_2-xP_2O_5-(0.5-x)B_2O_3$(x=0.1, 0.2, 0.3, 0.4, 0.5) glasses have been prepared for Pb-free low temperature glass frit. A investigation about the effect of $B_2O_3$ substitution on properties of $P_2O_5$ glasses, including glass structure properties, thermal properties, and mechanical properties was presented. Substance that is responsible for in moisture absorption existing circumstances supposes by phosphate, and excess moisture tolerance that state funeral's structure is improved breaking does not affect in state funeral bond that only most single bond remains, and can know that does not suffer big impact in boric oxide anomaly present state. This phenomenon estimates that connect with structure change. It is thought according to link this result the phosphoric acid happened structural change. $B_2O_3$ displacement quantity 0.3 mole put out $BO_4$ structures, but above 0.3 mole it changed with the case $BO_3$ structure which it displaces.

$(1-x)(Sr_a.Pb_b.Ca_c)TiO_3-xB_i2O_3.TiO_2$계에서의 $Bi_2O_3.3TiO_2$$MnO_2$첨가에 따른 유전특성에 관한 연구 (The Dielectrical Properties of $(1-x)(Sr_a.Pb_b.Ca_c)TiO_3-xB_i2O_3.TiO_2$ system affected by $Bi_2O_3.3TiO_2$ amounts and $MnO_2$)

  • 박상도;이응상
    • 한국세라믹학회지
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    • 제34권2호
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    • pp.123-130
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    • 1997
  • 본 연구에서는 유전상수가 크고, 유전체 손실이 적으며, 사용온도 범위에서 정전용량 변화율(TCC : tem-perature coefficient of capacitance)이 작고, 고압에 견딜 수 있는 재료를 개발하기 위하여 중고압용 capacitance의 기본재료로써 (Sr.Pb.Ca)TiO3-xBi2O3.3TiO2 계에서 Bi2O3.3TiO2의 mol.%를 5, 6, 7, 8, 9 mol.%로 변화시켰으며, 그 결과 고용한계 함량이 6mol.%이며, 6mol.%이상에서는 침상구조의 증가에 기인하여 유전율이 다시 감소하는 경향을 보였다. dopant로써 SiO2, Nb2O3, MnO2를 선정하여 첨가한 결과, MnO2를 첨가한 것이 유전성질이 가장 우수하였으며, MnO2의 함량이 0, 0.15, 0.3, 0.45 wt.% 증가함에 따라서 유전율의 감소와 동시에, TOC특성의 급격한 향상을 가져왔다.

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$P_2O_5$의 첨가가 $B_2O_3-SiO_2$$Al_2O_3-SiO_2$ 박막의 화학적내구성에 미치는 영향 (Influence on the Chemical Durability of $B_2O_3-SiO_2$ and $Al_2O_3-SiO_2$ Thin Films at the Addition of $P_2O_5$)

  • 황규석;김병훈;최석진
    • 한국세라믹학회지
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    • 제30권8호
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    • pp.615-622
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    • 1993
  • In order to increase chemical durability of thin films in binary system B2O3-SiO2 and Al2O3-SiO2 on the slide glass by the dip-coating technique from TEOS(Tetraethyl Orthosilicate) and boric acid or aluminum nitrate, phosphoric acid(5~20mol%) was added, respectively. Corrosion of acid and alkali of samples treated with 1N, HCl, NaOH and distilled water at 10$0^{\circ}C$ for 15 minute, were measured IR transmittance and variance of transmittance at visible range. Surface structure of thin film was investigated with SEM and formation of crystal phase according to additiion of phosphoric acid was measrued with XRD. In Al2O3-SiO2 system, change of remarkable characteristic was not obtained at the addition of P2O5 but transmittance of thin film was decreased with addition of P2O5 in B2O3-SiO2 system.

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CoO를 함유한 Na2O-B2O3-SiO2 계 유리의 유전적 특성 (Dielectric Properties in Na2O-B2O3-SiO2 Glass Containing CoO)

  • 이찬구;이수대;정맹식
    • 한국안광학회지
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    • 제5권1호
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    • pp.49-53
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    • 2000
  • Sodium borate silicate 유리는 $10Na_2O-39B_2O_3-50SiO_2-CoO$ mol%와 $20Na_2O-14B_2O_3-65SiO_2-CoO$ mol%의 조성비로 혼합한 후 전기로에서 $1210^{\circ}C$ 온도로 2시간 동안 용융하여 공기 중에서 급냉 시켜 제작하였다. 급냉한 유리의 유전적 거동을 조사하기 위하여 온도와 주파수 함수로 유전상수와 비저항을 측정하였다. 유전율 스펙트럼에서 유리전이온도는 $Na_2O$ 20 mol%시료가 낮아졌으며 $Na_2O$ 함량이 증가함에 따라 유전상수는 크게 나타났다. 유리의 비저항 주파수 의존성은 non-Debye형 완화를 보였다.

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$Bi_2O_3$를 첨가하여 소결한 $Y_1Ba_2Cu_3O_{7-y}$ 초전도체의 제조 조건이 초전도 특성에 미치는 영향 (Effects of Preparation Conditions of $Y_1Ba_2Cu_3O_{7-y}$ Sintered with $Bi_2O_3$ on Superconductiog Properties)

  • 김시열;박성;임호빈
    • E2M - 전기 전자와 첨단 소재
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    • 제3권2호
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    • pp.90-98
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    • 1990
  • Y-Bi-Ba-Cu-O계 초전도체를 보통의 ceramic방법과 screen printing과 소결법으로 원판형과 후막형으로 제작하였다. B $i_{2}$ $O_{3}$를 첨가하여 소결한 $Y_{1}$B $a_{2}$C $u_{3}$ $O_{7-y}$의 초전도 성질은 전기저항측정과 자석위에 부상 유무로 조사하였다. 또한 B $i_{2}$ $O_{3}$를 첨가함에 따라 소결된 시편의 미세구조에 어떠한 영향을 주었는지 알아보았다. 전기저항 측정시 Yttrium 대신에 Bi로 부분적으로 치환한 경우인 $Y_{0.85}$B $i_{0.15}$B $a_{2}$C $u_{3}$ $O_{7-y}$의 상온 저항치가 기본조성인 $Y_{1}$B $a_{2}$C $u_{3}$ $O_{7-y}$의 그것보다 향상된 미세구조로 인해 더 작은 값을 나타낸다. 반면 $Y_{1}$B $a_{2}$C $u_{3}$ $O_{7-y}$에다가 초과로 B $i_{2}$ $O_{3}$를 첨가한 경우 오히려 미세구조는 불량하고 상온저항치도 더 높다. 이러한 사실은 입계에 잔류하는 이차상은 전기적 성질에는 크게 영향을 주나 자기적 성질에는 거의 영향을 주지않는 것으로 보인다. 후막으로 Y-Bi-Ba-Cu-O를 제작시 기판에 의해 좌우되는데 단지 magnesia 기판에서 소결시 bulk시편과 유사한 성질을 나타냈다.질을 나타냈다.다.

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4성분 NaBAISi 유리계의 굴절률과 경도 연구 (Studies of Refractive Index and Hardness In Quarternary NaBAISi Glasses)

  • 문성준;황인선
    • 한국안광학회지
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    • 제8권1호
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    • pp.1-5
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    • 2003
  • 4성분 $Na_2O-B_2O_3-Al_2O_3-SiO_2$ 유리들을 $R({\equiv}Na_2O\;mole%/B_2O_3\;mole%)$$K({\equiv}(Al_2O_3\;mole%+SiO_2\;mole%)/B_2O_3mole%)$에 의해 제작하여 유리들의 구조를 굴절률(refractive index)과 vicker's 경도(hardness)의 변화를 측정하여 분석하였다. 먼저, 굴절률의 증가는 유리 내부구조의 분극률을 증가시키는 $Na^+$ 양이온수의 증가에 우선적으로 의존하여 증가하였다. 적은 양의 소듐 산화물($Na_2O$) 이 첨가된 영역에서 굴절률은 소듐 이온 양에 의존하였으며, 많은 양의 소듐 산화물이 첨가된 영역에서는 큰 몰 부피를 갖고 하나의 비가교 산소를 갖는 $BO_3{^-}$ 단위들의 형성으로 유리 구조 내의몰 부피 증가로 유리들의 굴절률의 증가가 둔화되었다. 그리고 알루미늄 산화물($Al_2O_3$)과 규소 산화물($SiO_2$)의 증가에 따라 굴절률의 감소는 $Al_2O_3$$SiO_2$에 의해 형성되어진 $AlO_4$ 단위들과 $SiO_4{^-}$ 단위들이 붕소 산화물($B_2O_3$)에 의해 형성되어진 $BO_4$ 단위들보다 몰 부피의 증가로 감소되어졌다. 또한, 경도의 증가는 유리 망목구조에 형성되어지는 $BO_4$ 단위 수에 의존하였으며, 경도의 감소는 유리 망목구조를 개방화시키는 $BO_3{^-}$ 단위 수에 의존하여 감소함을 알 수 있었다.

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PDP 유전체용 BaO-ZnO-$B_2O_3-V_2O_5$ 유리의 제조 및 특성 변화 (Preparation and properties of BaO-ZnO-$B_2O_3-V_2O_5$ glass for PDP dielectric paste)

  • 손명모;이상근;박희찬
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2003년도 춘계학술대회 논문집 센서 박막재료 반도체 세라믹
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    • pp.295-298
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    • 2003
  • The principal problems in development of dielectric paste materials for PDP(plasma display panel)are PbO free paste and low melting temperature. We prepared PbO free paste from glasses in the system BaO-ZnO-$B_2O_3-V_2O_5$. DTA, XRD and SEM were used to study and characterize BaO-ZnO-$B_2O_3-V_2O_5$ glasses. PbO free paste developed at this paper has thermal expansion of $74{\times}10^{-7}/^{\circ}C$, DTA transformation point of $460^{\circ}C$, and firing condition of $560^{\circ}C$, 10min.

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