• 전자공학회논문지D
• /
• 제35D권5호
• /
• pp.87-92
• /
• 1998

Ultr shallow p$^{+}$-n junction with Co/Ti bilayer silicidde contact was formed by ion implantation of BF$_{2}$ [energy : (30, 50)keV, dose:($5{\times}10^{14}$, $5{\times}10^{15}$/$\textrm{cm}^2$] onto the n-well Si(100) region and by RTA-silicidation and post annealing of the evaporated Co(120.angs., 170.angs.)/Ti(40~50.angs.) double layer. The sheet resistance of the silicided p$^{+}$ region of the p$^{+}$-n junction formed by BF2 implantation with energy of 30keV and dose of $5{\times}10^{15}$/$\textrm{cm}^2$ and Co/Ti thickness of $120{\AA}$/(40~$50{\AA}$) was about $8{\Omega}$/${\box}$. The junction depth including silicide thickness of about $500{\AA}$ was 0.14${\mu}$. The fabricated p$^{+}$ -n ultra shallow junction depth including silicide thickness of about $500{\AA}$ was 0.14${\mu}$. The fabricated p$^{+}$-n ultra shallow junction with Co/Ti bilayer silicide contact did not show any agglomeration or variation of sheet resistance value after post annealing at $850^{\circ}C$ for 30 minutes. The boron concentration at the epitaxial CoSi$_{2}$/Si interface of the fabricated junction was about 6*10$6{\times}10^{19}$ / $\textrm{cm}^2$./TEX>.

• 한국결정성장학회지
• /
• 제11권4호
• /
• pp.154-159
• /
• 2001

(Li,Al)$MnO_2(OH)_2$:Co 화합물의 합성르 수열법에 의해 행하였다. 출발원료는 $MnO_2$, LiOH.$H_2$O, $Co_3O_4$, $Al(OH)_3$이 사용되었으며, 단일상의 (Li,Al)$MnO_2(OH)_2$:Co 화합물을 얻을 수 있는 최적의 합성조건은 다음과 같았다. 반응온도 : $200^{\circ}C$ 반응시간 ; 3일간, 반응장치 ; 시이소형, 수열용매 ; 3M-KOH, (Li,Al)$MnO_2(OH)_2$:Co 의 원자비 = 1:2.1:2.5~2:0.5~1. 수열합성된 단사의 (Li,Al)$MnO_2(OH)_2$:Co 화합물은 결정성이 우수하였으며, 청색안료로써 천연 오수에 필적하는 발색효과를 나타내었다. 합성된 (Li,Al)$MnO_2(OH)_2$:Co 화합물의 형태는 육각 판싱이였으며, 입자의 크기는 0.5~1 $\mu\textrm{m}$의 미립자이였다.

• 한국농공학회지
• /
• 제41권2호
• /
• pp.104-110
• /
• 1999

This study was performed to evaluate the properties of permeable polymer concrete with fly ash and CaCO3. The following conclusions are drawn. The static modulusof elasticity is in the range of 1.19 $\times$105 ~1.49$\times$105 kgf/$\textrm{cm}^2$, which is approximately 53 ~56% of that of the normal cement concrete. The oission's number of permeable polymer concrete is in the range of 3.95 ~6.53, which is less than that of the normal cement concrete. The dynamic modulus of elasticity is in the range of 1.29$\times$105 ~1.59$\times$105 kgf/$\textrm{cm}^2$, which is approximately less compared to that of the normal cement of the static modulus . Fly ash 50% and CaCO3 50% filled permeable polymer concrete has showed higher dynamic modulus. The water permeability is in therange of 3.971 ~4.393$\ell$ /$\textrm{cm}^2$/h, and it is largely dependent upon the mix design. These concrete can be used to the structures which need water permeability.

• Journal of Welding and Joining
• /
• 제20권1호
• /
• pp.34-40
• /
• 2002

The laser strengthening of $35kgf/\textrm{mm}^2$ grade steel sheet is investigated by using $CO_2$ laser beam irradiation. The increase of tensile strength is dominated by the number of fully penetrated melting lines. Also, the optimal laser irradiation pattern is obtained by 3-point bending test. Local laser strengthening clay be effective for the weight reduction of automobile components where the tailored welded blank can not be applied.

• 한국재료학회지
• /
• 제8권4호
• /
• pp.288-292
• /
• 1998

n-well Si(100) 영역에 $BF_{2}$를 이온주입 [에너지: 30KeV, 주입량 : $5\times10^{15}cm^{-2}$] 하고 Co($120\AA$)/Ti($40\AA$)이중막을 진공증착하여 RTA-silicidation을 통해 Co/Ti 이중막 실리사이드층을 갖는 p+ -n극저접합 다이오드를 제작하였다. 제작된 소자의 이상계수와 비접촉저항 및 누설전류는 각각 1.06, $1.2\times10^{-6}\Omega\cdot\textrm{cm}^2$, $8.6\muA/\textrm{cm}^2$(-3V)로 나타났으며 실리사이드층을 갖는 이미터 영역의 면저항은 약 $8\Omega\Box$로, 실리상이드/실리콘 계면에서 보론 농도는 약 $6\times10^{19}cm^{-3}$으로, 실리사이드 두께(~$500\AA$)를 포함한 접합깊이는 약 $0.14\mu{m}$로 형성되었다. 다이오드 제작에서 Co/Ti 이중막 실리사이드 층의 형성은 소자의 누설전류를 다소 증가시켰으나 이상계수의 개선과 이미터 영역의 면저항 및 비접촉저항의 감소를 가져왔다.

• 한국재료학회지
• /
• 제8권2호
• /
• pp.114-119
• /
• 1998

등방성 피치계 탄소섬유를 Co$_{2}$gas중에서 등온산화시켜 활성탄소섬유를 제조하였다. 산화된 섬유의 비표면적은 BET장치를 이용하여 측정하였다. Burn-off가 증가하여도 반응속도는 크게 감소하지 않았으며, 80$0^{\circ}C$와 90$0^{\circ}C$에서 산화된 섬유의 비표면적은 40%-60%의 burn-off에서 급격히 증가하다가 60%이상에서 감소하였다. 110$0^{\circ}C$에서 산화된 시편은 40%이상 burn-off되어도 비표면적은 크게 증가하지 않고 60%를 지나서도 계속해서 표면적이 증가하는 현상을 나타내었다. 100$0^{\circ}C$에서 60.4%의 burn-off가 일어난 산화섬유의 비표면적은 3,614$m^2$/g로 가장 큰 값이 얻어졌다. 등방성 탄소섬유는 미세한 흑연결정립들이 무질서한 배향을 하고 있으며, 미세기공벽으로 작용할 수 있는 결정립층이 많기 때문에 활성탄소섬유 제조를 위한 원료로 적합하다고 판단된다.

• 한국응용약물학회:학술대회논문집
• /
• 한국응용약물학회 1996년도 춘계학술대회
• /
• pp.238-238
• /
• 1996

각종 동물 및 인체 신장 유래 DHP-I에 의한 DA-1131, imipenem(IPM) 및 meropenem(MEPM)의 속도 상수를 측정한 결과, DA-1131은 동물종에 관계없이 가장 안정성이 큰 결과를 나타내었고, 인체 DHP-I에 대한 Vmax/Km 값이 IPM의 21.9%로 관찰되어 IPM보다 하위 기질인 것으로 확인되었다. DA-1131, IPM/CS 및 MEPM/CS의 20mg/kg투여 후의 혈중농도 반감기(T$_{1}$2/)는 각각 11.4분, 8.9분, 10.3분이었으며, 1$\mu\textrm{g}$/$m\ell$ 이상의 혈중농도룰 유지하는 시간은 66.6 분, 55.9 분, 63.1 분이었다. DA-1131, DA-l131/CS, IPM/CS, MEPM 및 MEPM/CS의 40 mg/kg 투여 후 24시간 동안의 뇨중 배설율은 57.9 %, 61.3%, 22.6 %, 11.3% 및 65.9%이었으며, 각 약물을 40 mg/kg 투여 15분 후 DA-ll3l의 폐중 농도는 11.2$\mu\textrm{g}$/g으로 DA-l131/CS, IPM/CS 및 MEPM/CS와 비슷한 결과를 나타내었으며 T/P ratio도 DA-1131, DA-l131/CS, IPM/CS 와 MEPM/CS 투여군에서 거의 동일한 것으로 확인되었다. 신장중 농도는 DA-1131 과 DA-l131/CS의 경우 29.l$\mu\textrm{g}$/g 및 34.2$\mu\textrm{g}$/g으로 큰 차이를 나타내지 않았으나, IPM/CS, MEPM 및 MEPM/CS 투여군에 비하여는 높은 결과로 나타났고 T/P ratio도 DA-1131과 DA-l131/CS 투여군이 IPM/CS, MEPM 및 MEPM/CS 투여군보다 놓은 것으로 확인되었다.

• 한국광물학회지
• /
• 제16권2호
• /
• pp.125-133
• /
• 2003

삼팔면체형의 스멕타이트계 사포나이트(saponite)를 천연 광물질인 활석을 이용하여 수열법에 의해 합성하였다. 출발물질은 활석에 $Na_2$$CO_3$를 첨가하여 공기중에서 $800^{\circ}C$로 가열한 후, 화학양론적 조성에 맞게 Al($NO_3$)$_3$$.$$9H_2$O 및 Mg($NO_3$)$_2$$.$ $6H_2$O 금속염 수용액를 첨가하였고, pH는 7∼12 범위내로 $NH_4$OH 수용액에 의해 조절하여 제조하였다. 수열반응 조건은 약 1리터의 수열반응 용기에서 $230^{\circ}C$, 압력은 25∼75 kgf/$\textrm{cm}^2$의 범위 내에서 10∼60시간이었다. 실험결과, 반응온도 및 회전속도를 230 $^{\circ}C$와 180 rpm으로 고정시킨 수열조건 하에서 반응시간, 반응압력, pH 조건을 각각 40시간, 25kgf/$\textrm{cm}^2$, 약 10으로 하였을 때, 그리고, 화학조성을 화학양론적 조성에 필요한 $Na_2$O의 양보다 200% 과량 추가하였을 때, 양호한 사포나이트가 합성되었다. 또한 압력을 75 kgf/$\textrm{cm}^2$까지 증가시켜도 결정도에 미치는 영향은 미미하였으며, 반응시간이 길수록 더 좋은 결정도를 나타냈다.

• 한국재료학회지
• /
• 제13권3호
• /
• pp.160-168
• /
• 2003

The co-firing processes for the supported type planar solid oxide fuel cell were investigated. A flat cell of $7.7${\times}$10.8\textrm{cm}^2$ was fabricated successfully by the co-firing process, in which green films were co-sintered in the forms of two layers of anode/electrolyte or of three layers of anode/electrolyte/cathode with gas distributor. A co-fired cell of two layers yielded a power of 200 ㎽/$\textrm{cm}^2$ at 608 ㎷. Its performance loss was mainly due to iR drop in the anodic gas distributor, which was attributed to poor contact between anodic gas distributor and current collector. The performance in the co-fired cell of three layers was much lower than that of two layers, which resulted from the large iR drop and activation overvoltage at the cathodic side. In the co-fired cell of two layers, the impedance analysis indicated that the performance decay during cell operation is due to both anode overvoltage and iR drop at anode side. Also the electrode reaction of the co-fired two layers' cell is considered to be controlled by activation overvoltage within the low current of 50 ㎃.

• 한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집
• /
• 한국반도체및디스플레이장비학회 2004년도 춘계학술대회 발표 논문집
• /
• pp.244-248
• /
• 2004

$C_{2}H_{2}/NH_{3}/H_{2}$ 의 혼합기체를 Ni 및 Co 촉매 금속에 열분해하여 탄소 나노튜브를 성장하여 구조적 특성을 SEM, TEM 및 Ramann으로 분석을 하였는 바, 성장된 탄소 나노튜브의 직경은 40~100nm 이었으며 모양은 구불구불하며 무질서하게 배열되었다. 탄소 나노튜브로부터의 전계 방출 특성은 통상적인 전계 방출기구에 기인됨을 알 수 있었다. 또한 인가 전압의 증가에 따라 탄소 나노튜브로 부터의 방출된 전류밀도와 휘도는 증가하였으며, $2.5 V/\mu\textrm{m}$의 전계에서는 $3.6 mA/\textrm{cm}^2$의 전류밀도 값을 갖고 있었으며, $0.8\textrm{cm}^2$의 면적에 성장된 탄소 나노튜브로부터 $56 cd/\textrm{m}^2$의 발광 강도를 보였다.