초록
본 논문에서는 실시간 안압 모니터링을 위한 안압 센서와 안압에 따른 안압 센서의 공진 주파수를 검출 할 수 있는 외부 코일을 설계 및 구현 하였다. 안압 센서는 3-D EM 시뮬레이션을 통하여 설계 하였고, MEMS 기반 기술로 구현 되었다. 측정 결과로서, 안압 센서의 공진 주파수는 외부 코일의 공진 주파수에 비하여 낮아야 하며, 안압 센서의 공진 주파수가 외부 코일의 공진 주파수에 근접 하게 위치 할 때, 위상 변화량이 높아짐을 확인 하였다. 또한, 안압 센서는 외부 코일과의 거리에 따라 최대위상 변화가 발생하는 지점이 불변하여야 하는데, 설계된 안압 센서는 외부 코일과의 거리가 변화 할 때, 최대위상 변화량 자체는 변화 하지만, 최대위상 변화가 발생하는 지점이 동일함을 확인 하였다.
Interaocular pressure (IOP) sensor and external coil to detect the resonance frequency of the IOP sensor are designed and implemented using MEMS technology. The IOP sensor is designed using 3-D electromagnetic (EM) simulation. The resonance frequency of IOP sensor needs to be lower than that of the external coil. Additionally, the resonance frequency of the IOP sensor needs to be located near the resonance frequency of the coil to get the sufficient amplitude of phase variation. The frequency where the phase peak appears must be constant according to the distance between the IOP sensor and the external coil. From the measurement results, we demonstrated that the designed IOP sensor has the same resonance frequency with various distances between the IOP sensor and the coil.
