References
- 야마기와 카즈야키, 2000 : '반도체 제조프로세스의 물질플로', 윌간 화공기술, 제7월호, pp. 67-72
- 산업폐기물 재활용기술개발 사업단, 2004, 리사이클링 백서, 청문각
- 김대진, 오한상, 김재경, 박병준, 이문용, 구기갑, 2007: '포토레지스트 스트리퍼 폐액으로부터 고순도 유기용제회수', Clean Technolgy, 13(4), pp. 257-265
Resources Recycling (자원리싸이클링)
- Volume 18 Issue 1
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- Pages.58-67
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- 2009
- /
- 2765-3439(pISSN)
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- 2765-3447(eISSN)
Trend on the Recycling Technologies for the waste stripper solution by the Patent Analysis
특허(特許)로 본 스트리핑 공정(工程) 재활용(再活用) 기술(技術) 동향(動向)
-
Park, Myung-Jun
(Korex Co. Ltd.)
;
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Lee, Ho-Kyung
(Korex Co. Ltd.)
;
-
Koo, Kee-Kahb
(Sogang University)
;
-
Kang, Kyung-Seok
(Siontech Co., Ltd.)
;
- Han, Hye-Jung (Siontech Co., Ltd.)
- Published : 2009.02.27
Abstract
The annual requirement of domestic waste photoresist stripper solution is about 1 trillion won level (50,000 tons) depends entirely on imports for its supplies. Nevertheless, there waste strippers which contain the impurities have been recycled or incinerated to a low level of recycle. These days the recycling technologies of the waste stripper solution has been widely studied from the view points of economy and efficiency. In this paper, the recycling technologies on patent of the waste stripper solution were analyzed. The range of search was limited within the open patents of USA (US), European Union (EP), Japan (JP), and Korea (KR) up to september, 2007. Patents have been collected using key-words searching and filtered by filtering criteria. The trends of the patents was analyzed by the years, countries, companies, and technologies.
국내 포토레지스트 스트리퍼의 연간 소요량은 약 1000억원 규모(50, 000톤)로 대부분 전량 수입에 의존하고 있으나, 폐스트리퍼에는 각종 불순물이 함유되어 있어, 소각 또는 낮은 수준으로 재활용되어 오는데 그치고 있다. 최근 경제적 측면과 효율성 측면에서 스트리퍼 폐액의 재활용 기술이 폭넓게 연구되고 있다. 본 논문에서는 스트리퍼 폐액의 재활용에 관한 특허 기술을 분석하였다. 분석범위는 2007 9월까지 미국, 유럽연합, 일본과 한국에서 출원 및 공개된 특허로 제한하였다. 특허들은 전체적으로 검색어를 사용하여 수집되었고, 기준 기술 이외의 것을 여과하였다. 특허기술의 경향은 년도와 국가별, 기업 및 관련기술 분야별로 분석되었다.
Keywords