Journal of the Korean Vacuum Society (한국진공학회지)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Inter-comparison between ultrasonic interferometer manometer and medium vacuum standards by static expansion method

초음파간섭 수은주압력계와 정적법 중진공 국가표준기 상호비교

  • Hong S. S. (Vacuum Center, Korea Research Instituteof Standards and Science) ;
  • Lim I. T. (Vacuum Center, Korea Research Instituteof Standards and Science) ;
  • Shin Y. H. (Vacuum Center, Korea Research Instituteof Standards and Science) ;
  • Chung K. H. (Vacuum Center, Korea Research Instituteof Standards and Science)
  • 홍승수 (한국표준과학연구원 물리표준부 진공센터) ;
  • 임인태 (한국표준과학연구원 물리표준부 진공센터) ;
  • 신용현 (한국표준과학연구원 물리표준부 진공센터) ;
  • 정광화 (한국표준과학연구원 물리표준부 진공센터)
  • Published : 2005.09.01
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Abstract

A new medium vacuum primary standard using the static expansion method was developed in KRISS. In order to evaluate the performance of the equipment, we compared the medium vacuum standard with an ultrasonic interferometer manometer using two capacitance diaphragm gauges, the measuring ranges of which were 133 Pa and 1,333 Pa respectively. The result, Error normalized values, showed that the two standards are coincident each other within the range of combined uncertainty at calibrated pressure of $3pa\;\sim\;100pa$.

정적법을 이용하여 새로운 중진공 국가표준기를 개발하였다. 이 장치의 성능평가를 위해 측정범위가 각각 133pa과 1,333pa인 두 개의 용량혈 진공게이지를 전달표준기로 사용하여 초음파간섭 수은주압력계와 중진공 표준을 상호비교하였다. Error normalized (En) 값으로 분석한 결과 교정압력 $3pa\;\sim\;100pa$에서 두 표준기는 합성불확도 범위 내에서 잘 일치하고 있음을 알 수 있었다.

Keywords

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