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초음파간섭 수은주압력계와 정적법 중진공 국가표준기 상호비교 (Inter-comparison between ultrasonic interferometer manometer and medium vacuum standards by static expansion method)

  • 홍승수;임인태;신용현;정광화
    • 한국진공학회지
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    • 제14권3호
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    • pp.103-109
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    • 2005

  • 정적법을 이용하여 새로운 중진공 국가표준기를 개발하였다. 이 장치의 성능평가를 위해 측정범위가 각각 133pa과 1,333pa인 두 개의 용량혈 진공게이지를 전달표준기로 사용하여 초음파간섭 수은주압력계와 중진공 표준을 상호비교하였다. Error normalized (En) 값으로 분석한 결과 교정압력 $3pa\;\sim\;100pa$에서 두 표준기는 합성불확도 범위 내에서 잘 일치하고 있음을 알 수 있었다.

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