Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference (한국정보통신학회:학술대회논문집)

The Korea Institute of Information and Commucation Engineering (한국정보통신학회)
권호 표지

Comparison of Current-Voltage Characteristics by Doping Concentrations of Nanosheet FET and FinFET

Nanosheet FET와 FinFET의 도핑 농도에 따른 전류-전압 특성 비교

  • Ahn, Eun Seo (Dept. of Electrical, Electronic and Control Engineering, Hankyong National University) ;
  • Yu, Yun Seop (Dept. of Electrical, Electronic and Control Engineering, Hankyong National University)
  • Published : 2022.10.03
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Abstract

In this paper, the device performance with the structure of Nanosheet FET (NSFET) and FinFET is simulated through a three-dimensional device simulator. Current-voltage characteristics of NSFET and FinFET were simulated with respect to channel doping concentrations, and the performance such as threshold voltage and subthreshold swing extracted from the current-voltage characteristics was compared. NSFET flows more drain current and has a higher threshold voltage in current-voltage characteristics depending on channel doping concentration than that of FinFET. The subthreshold voltage swing (SS) of NSFET is steeper than that of FinFET

본 논문은 Nanosheet FET(NSFET)와 FinFET의 구조를 갖는 소자 성능을 조사하기 위해서 3차원 소자 시뮬레이터를 이용하여 시뮬레이션한 결과를 소개한다. NSFET와 FinFET의 채널 도핑 농도에 따른 전류-전압 특성을 시뮬레이션하였고, 그 전류-전압 특성으로부터 추출한 문턱전압, 문턱전압이하 기울기 등의 성능을 비교하였다. NSFET이 FinFET보다 채널 도핑 농도에 따른 전류-전압 특성에서 드레인 전류가 더 많이 흐르며 더 높은 문턱전압을 갖는다. 문턱전압이하 기울기는 NSFET가 FinFET보다 더 가파른 기울기를 갖는다.

Keywords