Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2010.05a
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Pages.527-528
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2010
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Deposition characteristic with controlling of gas flow in ALD process

기체유동 제어를 통한 ALD 공정의 deposition 특성 연구

서은성 (삼성전자공과대학교 반도체공학과) ;
오정환 (삼성전자 공정개발팀) ;
이공수 (삼성전자 공정개발팀) ;
이광영 (삼성전자 공정개발팀) ;
안병호 (삼성전자 공정개발팀) ;
최경식 (삼성전자 공정개발팀) ;
김승범 (삼성전자 공정개발팀) ;
하상철 (삼성전자 공정개발팀)

Published : 2010.05.26

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