Micro Optical Device Imprinting Process Using Tolerance Design based on Six-sigma Method

6 sigma 기반 공차 설계를 이용한 마이크로 광소자 임프린팅 공정 연구

  • 오지인 (부산대학교 인지메카트로닉스공학과) ;
  • 조천수 (부산대학교 지능기계시스템공학과) ;
  • 이태호 (부산대학교 인지메카트로닉스공학과) ;
  • 류진화 (부산대학교 인지메카트로닉스공학과) ;
  • 이문재 (부산대학교 인지메카트로닉스공학과) ;
  • 정명영 (부산대학교 인지메카트로닉스공학과)
  • Published : 2010.05.26