Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2010.05a
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Pages.529-530
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2010
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

A study of New W-Gate Stack for Nano scale DRAM device

Nano scale DRAM device 를 위한 New W-Gate Stack 연구

김명곤 (삼성전자 공과대학교) ;
이공수 (삼성전자 공과대학교) ;
차태호 (삼성전자 공정개발팀) ;
김희석 (삼성전자 공정개발팀) ;
문주태 (삼성전자 공정개발팀)

Published : 2010.05.26

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Abstract

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