Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)
- 2010.06a
- /
- Pages.201-201
- /
- 2010
A Study on the Design of Optimized Ohmic Contact Structure for Micro Bolometer Monolithic Process
마이크로 볼로미터 어레이의 모놀로식 공정을 위한 ohmic contact 최적화 구조 설계에 대한 연구
- Kim, Bum-June (Department of Energy Semiconductor Engineering Far East University) ;
- Ko, Su-Bin (Department of Energy Semiconductor Engineering Far East University) ;
- Jung, Eun-Sik (Department of Electrical Engineering, Korea University) ;
- Kang, Tae-Young (OCAS) ;
- Kang, Ey-Goo (Department of Energy Semiconductor Engineering Far East University)
- Published : 2010.06.16
Abstract
볼로미터 제작 공정 중 One step via 공정 시 via hole 모양에 의해 정기적 연결 및 구조적 안정성에 문제를 해결하기 위하여 다른 via 식각 방식으로 공정을 진행하였으며 그에 따른 via 공정 차이에 대한 결과를 연구하였다.