한국정보통신학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference)
- 한국해양정보통신학회 2002년도 추계종합학술대회
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- Pages.490-493
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- 2002
나노 구조 Double Gate MOSFET 설계시 side gate의 최적화
Optimization of Side Gate in the Design for Nano Structure Double Gate MOSFET
초록
본 논문에서는 main gate와 side gate를 갖는 double gate MOSFET의 side gate 길이와 side gate 전압에 대한 최적의 값을 조사하였다. main gate 50nm에서 각각의 side gate 길이에 대한 최적의 side gate 전압은 대략 3V이다. 또한, main gate 길이에 대한 최적의 side gate 길이는 대략 70nm이다. 이때, side gate 길이에 대한 전달 컨덕턴스 및 subthreshold slope에 대한 값들을 나타내었다. 이때 소자의 특성 분석을 위해 ISE-TCAD를 사용하여 시뮬레이션 하였다.
In this study, we have investigated optimum value for side gate length and side gate voltage of double gate (DG) MOSFET with main gate and side gate. We know that optimum side gate voltage for each side length is about 3V. Also, we know that optimum side gate length for each main gate length is about 70nm. We have presented the transconductance and subthreshold slope for each side gate length. We have simulated using ISE-TCAD tool for characteristics analysis of device.