Sub-50nm Double Gate MOSFET의 특성 분석

Characteristics analysis of Sub-50nm Double Gate MOSFET

본 논문에서는 50nm 이하의 double gate MOSFET의 특성을 조사하였다. 1.5V의 main gate 전압과 3V의 side gate 전압이 인가될 때 I-V 특성으로부터 IDsat=510$\mu$A/$\mu\textrm{m}$을 얻을 수 있었다. 이때, 전달 컨덕턴스는 111$\mu$A/V, subthreshold slope는 86mV/dec, DIBL값은 51.3mV이다. 그밖에 TCAD tool이 소자 시뮬레이터로서 적합함을 나타내었다.

In this paper, we have investigated characteristics of sub-50nm double gate MOSFET. From I-V characteristics, we obtained =510$\mu$A/${\mu}{\textrm}{m}$ at VMG=VDS=1.5V and VSG=3.0V. Then, the transconductance is 111$\mu$A/V, subthreshold slope is 86mV/dec and DIBL (Drain Induced Barrier Lowering) is 51.3mV. Also, we have presented that TCAD simulator is suitable for device simulation.