Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Improvement of PECVD $SiO_2$ thin films by using argon sputtering method

아르곤 스퍼터링 방법을 이용한 PECVD 실리콘 산화막의 특성 향상

  • 박민 (한국전자통신연구소 단위공정연구실) ;
  • 박종문 (한국전자통신연구소 단위공정연구실) ;
  • 현영철 (한국전자통신연구소 단위공정연구실) ;
  • 구진근 (한국전자통신연구소 단위공정연구실)
  • Published : 1995.11.01
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Abstract

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