Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Characteristics of resist profile in image reversal process using G-line stepper

G선 스테퍼를 이용한 형상반전공정의 감광막 형상 특성

  • 박종문 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 박민 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 현영철 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 김기홍 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 구진근 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 남기수 (한국전자통신연구소 반도체연구단)
  • Published : 1995.11.01
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Abstract

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