Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

An Estimation on Characteristics of SOG Film for Multi layer Structure Application

다층 구조 응용을 위한 SOG 막의 특성 평가

  • 이성준 (서울시립대학교 전자공학과) ;
  • 백승호 (만도기계 중앙연구소 연구 1실) ;
  • 김형동 (서울시립대학교 전자공학과) ;
  • 김철주 (서울시립대학교 전자공학과)
  • Published : 1995.11.01
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Abstract

Keywords