Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 1995.11a
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- Pages.45-46
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- 1995
Multi-layer-metallization technology by using new pillar formation method and SOG etchback planarization
새로운 Pillar 제조 기법과 SOG etchback 평탄화 기법을 이용한 다층 배선기술
- Kim, Gi-Hong ;
- Park, Min ;
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Park, Jong-Mun
;
- Hyun, Yeong-Cheol ;
- Goo, Jin-Geun
- 김기홍 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
- 박민 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
-
박종문
(한국전자통신연구소 반도체연구단)
;
- 현영철 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
- 구진근 (한국전자통신연구소 반도체연구단)
- Published : 1995.11.01
Abstract
Keywords