Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

RF-PECVD법과 ECR-PECVD법에 의해 증착된 TiN 박막의 물성에 관한 비교 연구

  • 김종석 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 전병혁 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 이응직 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 이원종 (한국과학기술원 재료공학과)
  • Published : 1995.11.01
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