A Study on the Fabrication of Silicon Field Emission tip Array

실리콘 전계방출 팁 어레이 형성에 관한 연구

  • 이진호 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 강성원 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 김용민 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 김종대 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 조경익 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 유형준 (한국전자통신연구소 반도체연구단)
  • Published : 1995.11.01