Physical Characterization of $GaAs/Al_{x}Ga_{1-x}As/GaAs$ Heterostructures by Deep Level Transient Spectroscopy

DLTS 방법에 의한 $GaAs/Al_{x}Ga_{1-x}As/GaAs$ 이종구조의 물성분석에 관한 연구

  • 이원섭 (수원대학교 전자재료공학과) ;
  • 최광수 (수원대학교 전자재료공학과) ;
  • 최영환 (대우고등기술연구원)
  • Published : 1995.11.01