Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

1995.11a
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Pages.10-10
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1995

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

Oxidation behavior of AlN Substrate by Ion-beam at Room Temperature

이온빔에 의한 AlN 기판의 상온산화 거동

김종진 (인하대학교) ;
황진명 (인하대학교) ;
고석근 (한국과학기술연구원) ;
손용배 (한국과학기술연구원)

Published : 1995.11.01

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Abstract

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